EN
Vienkanāla dzesētāji
Temperatūras stabilitāte : ±0,1℃
Temperatūras diapazons : -40 °C～+80 °C
Dzesēšanas spēja : -40 °C@6 kW/20 °C@25 kW
Ar funkciju invertoru bāzēta temperatūras kontrole , šis sistēma paaugstina enerģijas izmantošanas efektivitāti, samazinot patēriņu. Nodrošina ±0,1 °C stabilitāti precizitāti kritiskām lietojumprogrammām, tostarp:
Pusvadītāju ķīmiskās apstrādes rīki un CMP (ķīmiskā mehāniskā polierēšana)
Laboratorijas ierīces un augstas precizitātes testēšanas aprīkojums
Estētiskās medicīnas ierīces un cietvielu lāzeri
Formas temperatūras kontroles sistēmas
- Pārskats
- Ieteiktie produkti
Tehniskais apraksts:
Lingheng vienkanāla dzesētāji nodrošina mērķtiecīgu siltuma vadību ar integrētu kompaktas konstrukcijas dizainu.
Izstrādāts priekš precīzu atsevišķu iekārtu dzesēšanu , mūsu vienībās ir ±0,1 ℃ PID kontrole un
invertora kompresoru tehnoloģija kritiskām lietojumprogrammām, tostarp:
Pusvadītāju metrolģijas rīki
Lāzera apstrādes sistēmas
Medicīniskie analizatori
Iestatījumi testa stendā
Izolēta šķidruma ķēde novērš krustu kontamināciju, bet bez PCW konstrukcijas samazina uzstādīšanas izmaksas par 30%.
Galvenās priekšrocības:
Kriogēnās izcilības : Darbojas pie -40℃ ar <3 minūtes temperatūras pāreju
Cirkulācija bez zudumiem : Lāzeru metinātas caurules ar <0,1% šķidruma zudumu gadā
Invertera efektivitāte : 35% enerģijas ietaupījums salīdzinājumā ar pastāvīgas ātruma modeļiem (SERTIFIKĀTS SEMI S23)
Dinamiskā rampas veiktspēja : Sasniedz ±5℃/min temperatūras izmaiņu ātrumu
Vairāku protokolu integrācija : SECS/GEM & OPC-UA gatavs ASML/TEL/LAM rīku integrācijai 
Galvenie komponenti un darbība
Komponents |
TEHNOLOĢIJA |
Kompresors |
Hermetisks invertora kompresors ar šķidruma pārplūdes aizsardzību (±0, 1℃ kontrole) |
Kondensators |
Nerūsējošais tērauds, <5% siltuma zudumi |
Izšķīdinātājs |
Plāksnes tips, 35% lielāka efektivitāte, ≤55 dB troksnis |
Sildītājs |
Iegremdētais tiešās sildīšanas princips, ±0,3 ℃ vienmērīgums |
Pletņas vērtis |
Elektroniskā vārsta ar ±1 ℃ pārkarstuma kontroli |
Pumps |
Magnētiskās piedziņas sūknis (fluorēta šķidruma versija), <2% plūsmas svārstības |
Dzesēšanas princips
Adaptīvais PID dzesēšanas cikls :
1️⃣ Kompresija → Ledinātāja pārspiediens
2️⃣ Kondensācija → Siltuma izkliede un šķidrināšana
3️⃣ EEV aizbīdņa regulēšana → Zema spiediena izveide
4️⃣ Izgarošana → Precīza siltuma uzsūkšana no iekārtas
5️⃣ Invertoru plūsmas kontrole → Uztur ±0. 1℃ stabilitāti
| VS100/407/020 produkta parametri | |||
| Produkta modelis | VS100-W-32 | VS020-W-32 | VS407-W-33 |
| Dzesēšanas metode | Ūdens-dzesējums | ||
| Kontroles režīms | PID kontrole | ||
| Temperatūras kontroles diapazons | -20℃~+80℃ | -40℃~+80℃ | |
| Precizitāte | ±0.1℃ | ||
| Dzesēšanas jauda |
-20℃@2 KW -10℃@4 KW 0℃@6 KW 20℃@10 KW 80℃@10 KW |
-20℃@5 kW -10℃@10 kW 0℃@15 kW 20℃@25 kW 40℃@25 kW |
-40℃@6 kW -20℃@12 kW 0℃@25 kW 20℃@25 kW 40℃@25 kW |
| Jauda | 3KW | ||
| Tvertne | 20L | 25L | |
| Cirkulējošā šķidruma plūsmas ātrums | 20L/min（0.75Mpa） | 20 L/min (0,7 MPa) | |
| PCW satiksme | 15 L/min@15~25℃ | 30 L/min @15~25℃ | 50 L/min @15~25℃ |
| Temperatūras diapazons | 5~35℃ | ||
| Cirkulējošā šķidruma veidi | Etilēnglikola maisījums, destilēts ūdens, fluorēta šķidrā viela | Tīrs ūdens, Etilēnglikola maisījums, Dabisks ūdens, Fluorēta šķīduma | Etilēnglikola maisījums, fluorēta šķidruma |
| Ohrinants | R410A | / | / |
| Cirkulējošā šķidruma pieslēgums | Rc3/4“ | ||
| PCW pieslēgums | Rc1/2” | Rc3/4" | Rc1-1/4" |
| Ārējie izmēri (mm) | 380W*900D*1300H | 420W*900D*1250H | 500W*1150D*1500H |
| Ievades enerģijas avots | 3Ph,208-220V,50Hz | 3Ph,208-220V,50Hz | 3Ph,380-400V,50Hz |
| Mašīnas spēks | 8KW | 9,7 kW | 14kw |
| neto svars | 200KG | 210KG | 360kg |
| Projektēšanas standarti | Semi | ||
