EN
Jednokanalni hladnjaci
Temperaturna stabilnost : ±0,1℃
Opseg temperature : -40˚C～+80˚C
Mogućnost hlađenja : -40℃@6 KW/20℃@25 KW
Izdvajajući kontrola temperature zasnovana na frekvencijskom regulatoru , ovaj sistem poboljšava energetsku efikasnost i smanjuje potrošnju energije. Omogućava ±0,1℃ stabilnost za primjene koje zahtijevaju visoku preciznost, uključujući:
Alati za hemijsko brisanje poluvodiča i CMP (hemijsko-mehaničko poliranje)
Laboratorijska instrumentacija i test oprema visoke preciznosti
Estetski medicinski uređaji i laserski sistemi sa čvrstim stanjem
Sistemi za kontrolu temperature kalupa
- Prikaz
- Preporučeni proizvodi
Tehnički opis:
Lingheng jednokanalni hladnjaci pružaju ciljanu termalnu kontrolu uz integrisani kompaktni dizajn.
Konstruisano za precizno hlađenje samostalne opreme , naši uređaji imaju ±0,1 ℃ PID kontrolu i
tehnologiju kompresora sa inverterom za kritične primjene uključujući:
Alati za metrologiju poluvodiča
Laserski sistem za obradu
Medicinski analizatori
Postavke testne ploče
Izolovani fluidni krug sprječava međusobno kontaminiranje, dok konstrukcija bez rashladne vode smanjuje troškove instalacije za 30%.
Ključne prednosti:
Kriogensko izvrsnost : Radi na -40℃ sa <3 minute prijelaza temperature
Cirkulacija bez gubitka : Cijevi zavarane laserom sa <0,1% godišnjim gubitkom tekućine
Efikasnost invertora : 35% uštede energije u poređenju sa modelima fiksne brzine (certifikovano prema SEMI S23)
Dinamički performans rampe : Postiže brzinu promjene temperature ±5℃/min
Integracija višestrukih protokola : SECS/GEM & OPC-UA spreman za integraciju alata ASML/TEL/LAM 
Osnovne komponente i rad
Sastojci |
Tehnologija |
Kompresor |
Hermetički kompresor invertora sa zaštitom od tekućeg udara (±0. 1℃ kontrola) |
Kondenzator |
Nehrđajući čelik, <5% gubitka topline |
Evaporator |
Pločasti dizajn, 35% veća učinkovitost, buka ≤55 dB |
Grejač |
Potopljeno direktno zagrijavanje, ±0,3℃ jednolikost |
Ventil ekspanzije |
Elektronski ventil sa ±1℃ kontrolom pregrijavanja |
Pumpa |
Pumpa s magnetnim pogonom (verzija za fluorirane tečnosti), <2% fluktuacija protoka |
Princip hlađenja
Adaptivni PID rashladni ciklus :
1️⃣ Komresija → Povećanje tlaka rashladnog sredstva
2️⃣ Kondenzacija → Odvođenje topline i curenje
3️⃣ EEV regulacija → Stvaranje niskog tlaka
4️⃣ Evaporacija → Precizno upijanje topline iz opreme
5️⃣ Invertorska kontrola protoka → Održava ±0. 1℃ stabilnost
| VS100/407/020 Parametri proizvoda | |||
| Model proizvoda | VS100-W-32 | VS020-W-32 | VS407-W-33 |
| Metoda hlađenja | Hlađenje vodom | ||
| Način kontrola | PID kontrola | ||
| Opseg upravljanja temperaturom | -20℃~+80℃ | -40℃~+80℃ | |
| Preciznost | ±0.1℃ | ||
| Hlađeni kapacitet |
-20℃@2 KW -10℃@4 KW 0℃@6 KW 20℃@10 KW 80℃@10 KW |
-20℃@5 KW -10℃@10 KW 0℃@15 KW 20℃@25 KW 40℃@25 KW |
-40 ℃ @ 6 KW -20℃@12 KW 0℃@25 KW 20℃@25 KW 40℃ @25 KW |
| Snaga | 3kw | ||
| Tank | 20L | 25L | |
| Protok cirkulišućeg fluida | 20L/min（0.75Mpa） | 20L/min (0,7 Mpa) | |
| PCW saobraćaj | 15 L/min@15~25℃ | 30L/min@15~25℃ | 50 L/min@15~25℃ |
| Opseg temperature | 5~35℃ | ||
| Vrste cirkulirajućeg fluida | Mješavina etilen glikola, destilovana voda, fluorirana tečnost | Čista voda, Mješavina etilen glikola, Destilovana voda, Fluorirana otopina | Mješavina etilen glikola, fluorirana tečnost |
| Hlađaj | R410a | / | / |
| Cirkulišuća tečna interfejs | Rc3/4“ | ||
| PCW interfejs | Rc1/2” | Rc3/4" | Rc1-1/4" |
| Vanjske dimenzije (mm) | 380W*900D*1300H | 420W*900D*1250H | 500W*1150D*1500H |
| Ulazna snaga | 3Ph,208-220V,50Hz | 3Ph,208-220V,50Hz | 3Ph,380-400V,50Hz |
| Snaga stroja | 8KW | 9,7 kW | 14 kW |
| neto težina | 200kg | 210kg | 360kg |
| Standardi dizajna | SEMI | ||
