EN
Hladnjaci sa CO2
Temperaturna stabilnost : ±0,1℃
Opseg temperature : -20˚C～+80˚C
Mogućnost hlađenja : -20℃@2 KW/20℃@10 KW
Osigurava preciznu termalnu kontrolu putem kompaktnih hladnjaka sa kompresorom za :
Izradu i testiranje poluvodičkih pločica
Validaciju baterija/pogona za novi oblik energije
Hlađenje precizne opreme
Zračno hlađenje specifično za testove
- Prikaz
- Preporučeni proizvodi
Tehnički opis:
Lingheng CO₂ Ultra-čisti hladnjak
Korištenjem prirodni rashladni sredstvo (GWP=1, ODP=0) da dostavi tačno upravljanje temperaturom ±0,1℃ za napredne poluprovodničke procese. Omogućava rad u širokom opsegu od -40℃ do +100℃ putem tehnologije transkriticnog ciklusa, kompatibilan s aplikacijama ključnim za misiju:
Fotolitografija
Trawenje
Depozicija atomskog sloja (ALD)
Potpuno zaptivena cijevna mreža odgovara standardima čistih prostorija klase 100, dok Konstrukcija bez F-gasa smanjuje izloženost porezu na CO2 — postižući istovremeno izvrsnost procesa i usklađenost s ESG standardima.
Ključne prednosti:
Ekološka održivost:
GWP=1 - Potpuno usklađeno s globalnim klimatskim ciljevima, smanjuje izloženost porezu na CO2
Prirodni rashladni sredstva - Uklanja potrebu za oporavkom/odlaganjem fluoriranih gasova
Nula ODP - U skladu sa međunarodnim propisima (npr. Kišinau amandman)
±0,1℃ precizno upravljanje - Omogućava napredne čvorove (TSMC 5nm fluorinis hladnjak koji se ne koristi u skladu sa amandmanom)
Pogon bez kontaminacije - CO₂ ostatak <1ppb, certificiran za čistu sobu klase 1000
30% viši COP - Invertorska tehnologija transcritičnog ciklusa (potvrđeno u odnosu na LIAT 1.0 bazni nivo)
Sigurnosna performansa:
Bez otrova i nepodložan zapaljenju - Uklanja rizik od curenja fluoriranih rashladnih sredstava
Smanjenje fabričkih rizika - 68% niži indeks ekološke opasnosti (prema SEMI S10)
Glavne komponente i rad:
Sastojci |
Tehnologija |
Kompresor |
Hermetički kompresor sa tečnim hlađenjem i zaštitom od tečnog udara (±0,5℃ kontrola) |
Kondenzator |
Nehrđajući čelik, <5% gubitka topline |
Evaporator |
Titanijumska ploča, 35% veća učinkovitost, buka ≤55dB |
Grejač |
Potopljeno direktno zagrijavanje, ±0,3℃ jednolikost |
Ventil ekspanzije |
Elektronski ventil sa ±1℃ kontrolom pregrijavanja |
Pumpa |
Pumpa s magnetnim pogonom (verzija za fluorirane tečnosti), <2% fluktuacija protoka |
Princip hlađenja:
1. Kompresija → Povećanje tlaka rashladnog sredstva
2. Kondenzacija → Rasipanje topline i tečnjenje
3. EEV regulacija → Stvaranje mlaza pri niskom tlaku
4. Isparanje → Precizno upijanje topline od opreme
5. Inverter protok kontrola → Održava ±0. 1℃ stabilnost
| GVS010 Parametri proizvoda | GVS405 Parametri proizvoda | ||
| Model proizvoda | GVS010-W-32F | GVS405-W-32F | GVD010-W-32F |
| Metoda hlađenja |
Hlađenje tipa vodenog hlađenja |
||
| Način kontrola |
PID kontrola |
||
| Opseg upravljanja temperaturom | -20℃~+90℃ | -40℃~+90℃ | -20°C do +90°C |
| Preciznost |
±0.1℃ |
||
| Hlađeni kapacitet |
-20℃@2 KW -10℃@4 KW 0℃@6 KW 20℃@10 KW 80℃@10 KW |
-40℃@4KW |
4kW@-10°C 10 kW @+20°C |
| Snaga | 3kw | 3kw | |
| Tank | 20L | 20L | |
| Protok cirkulišućeg fluida | 20L/min（0.75Mpa） | s druge strane, za upotrebu u proizvodnji električne energije, mora se upotrebljavati: | S druge strane, za sve proizvode koji sadrže supstance za proizvodnju goriva, primjenjuje se presmerni sistem. |
| PCW saobraćaj | 15 L/min@15~25℃ | s druge strane, za sve proizvode koji sadrže supstancu za proizvodnju, upotrebljava se metoda za proizvodnju supstanca za proizvodnju supstanca za proizvodnju supstanca za proizvodnju supstanca za proizvodnju supstanca za proizvodnju supstanca za proizvodnju supstanca za proizvodnju supstanca za proizvodnju supstanca za | |
| Opseg temperature | 5~35℃ | ||
| Vrste cirkulirajućeg fluida | Mješavina etilen glikola, čista voda, fluorirana otopina | ||
| Hlađaj | R744（CO2） | ||
| Cirkulišuća tečna interfejs |
Rc3/4” |
||
| PCW interfejs | Rc1/2” | Rc1-1/4 | Rc1/2” |
| Vanjske dimenzije (mm) | 380W*900D*1250H | 500W*1160D*1650H |
svaka vrsta električne energije |
| Ulazna snaga | 3Ph,208-220V,50Hz | 3Ph,208-220V,50/60Hz | |
| Snaga stroja | 8KW | 15,4 kW | |
| neto težina | 200kg | ||
| Standardi dizajna | SEMI | SEMI | S2, F47 |
