EN
Hladnjaci sa CO2
Temperaturna stabilnost : ±0,1℃
Opseg temperature : -20˚C～+80˚C
Mogućnost hlađenja : -20℃@2 KW/20℃@10 KW
Osigurava preciznu termalnu kontrolu putem kompaktnih hladnjaka sa kompresorom za :
Izradu i testiranje poluvodičkih pločica
Validaciju baterija/pogona za novi oblik energije
Hlađenje precizne opreme
Zračno hlađenje specifično za testove
- Prikaz
- Preporučeni proizvodi
Tehnički opis:
Lingheng CO₂ Ultra-čisti hladnjak
Korištenjem prirodni rashladni sredstvo (GWP=1, ODP=0) da dostavi tačno upravljanje temperaturom ±0,1℃ za napredne poluprovodničke procese. Omogućava rad u širokom opsegu od -40℃ do +100℃ putem tehnologije transkriticnog ciklusa, kompatibilan s aplikacijama ključnim za misiju:
Fotolitografija
Trawenje
Depozicija atomskog sloja (ALD)
Potpuno zaptivena cijevna mreža odgovara standardima čistih prostorija klase 100, dok Konstrukcija bez F-gasa smanjuje izloženost porezu na CO2 — postižući istovremeno izvrsnost procesa i usklađenost s ESG standardima.
Ključne prednosti:
Ekološka održivost:
GWP=1 - Potpuno usklađeno s globalnim klimatskim ciljevima, smanjuje izloženost porezu na CO2
Prirodni rashladni sredstva - Uklanja potrebu za oporavkom/odlaganjem fluoriranih gasova
Nula ODP - U skladu sa međunarodnim propisima (npr. Kišinau amandman)
±0,1℃ precizno upravljanje - Omogućava napredne čvorove (TSMC 5nm fluorinis hladnjak koji se ne koristi u skladu sa amandmanom)
Pogon bez kontaminacije - CO₂ ostatak <1ppb, certificiran za čistu sobu klase 1000
30% viši COP - Invertorska tehnologija transcritičnog ciklusa (potvrđeno u odnosu na LIAT 1.0 bazni nivo)
Sigurnosna performansa:
Bez otrova i nepodložan zapaljenju - Uklanja rizik od curenja fluoriranih rashladnih sredstava
Smanjenje fabričkih rizika - 68% niži indeks ekološke opasnosti (prema SEMI S10)
Glavne komponente i rad:
Sastojci |
Tehnologija |
Kompresor |
Hermetički kompresor sa tečnim hlađenjem i zaštitom od tečnog udara (±0,5℃ kontrola) |
Kondenzator |
Nehrđajući čelik, <5% gubitka topline |
Evaporator |
Titanijumska ploča, 35% veća učinkovitost, buka ≤55dB |
Grejač |
Potopljeno direktno zagrijavanje, ±0,3℃ jednolikost |
Ventil ekspanzije |
Elektronski ventil sa ±1℃ kontrolom pregrijavanja |
Pumpa |
Pumpa s magnetnim pogonom (verzija za fluorirane tečnosti), <2% fluktuacija protoka |
Princip hlađenja:
1. Kompresija → Povećanje tlaka rashladnog sredstva
2. Kondenzacija → Rasipanje topline i tečnjenje
3. EEV regulacija → Stvaranje mlaza pri niskom tlaku
4. Isparanje → Precizno upijanje topline od opreme
5. Inverter protok kontrola → Održava ±0. 1℃ stabilnost
| GVS010 Parametri proizvoda | |
| Model proizvoda | GVS010-W-32F |
| Metoda hlađenja | Hlađenje tipa vodenog hlađenja |
| Način kontrola | PID kontrola |
| Opseg upravljanja temperaturom | -20℃~+80℃ |
| Preciznost | ±0.1℃ |
| Hlađeni kapacitet |
-20℃@2 KW -10℃@4 KW 0℃@6 KW 20℃@10 KW 80℃@10 KW |
| Snaga | 3kw |
| Tank | 20L |
| Protok cirkulišućeg fluida | 20L/min（0.75Mpa） |
| PCW saobraćaj | 15 L/min@15~25℃ |
| Opseg temperature | 5~35℃ |
| Vrste cirkulirajućeg fluida | Mješavina etilen glikola, čista voda, fluorirana otopina |
| Hlađaj | R744（CO2） |
| Cirkulišuća tečna interfejs | Rc3/4” |
| PCW interfejs | Rc1/2” |
| Vanjske dimenzije (mm) | 380W*900D*1250H |
| Ulazna snaga | 3Ph,208-220V,50Hz |
| Snaga stroja | 8KW |
| neto težina | 200kg |
| Standardi dizajna | SEMI |
