Dvokanalni hladnjak

Tehnički opis:

Lingheng hladnjaci sa dva kolača omogućavaju dvostruko nezavisno upravljanje temperaturom u jednoj jedinici.
Izdvajajući ±0,1℃ stabilnost po kruhu , ovi sistemi su konstruirani za:

Sinkronizovano hlađenje PVD/CVD komora

Upravljanje toplotom u više zona u alatom za vrezanje
Sa 40% manjom zauzetom površinom i dokazanom kompatibilnošću u industriji (AMAT/LAM/TEL), oni ponovno definišu precizno hlađenje uz optimalnu iskoristivost prostora.

Ključne prednosti:

Efikasnost dva u jedan
» Zamjenjuje dva hladnjaka sa nezavisnim kolačima
→ 40% manje prostora za čišćenje + 30% smanjenje investicija

Precizno dvostruko upravljanje
» ±0,1℃ stabilnost po kolu (ΔT<0. 2℃)
→ Obezbeđuje <3% varijaciju debljine filma u CVD/PVD procesima

Fab-Ready integracija
» Protokoli preuzeti iz AMAT/LAM/TEL
→ 90% kompatibilnost sa 300mm alatom, 65% manje vremena nedostupnosti

Energy TwinDrive™
» 35% manja potrošnja energije u poređenju sa konvencionalnim parovima
→ SEMI S23 certificiran, >$18k godišnje uštede

Nula unakrsne kontaminacije
» Prilagodljivi tokovi medija  + zavarivanje laserskim zrakom
→ Kompatibilan sa UPW/fluorinert/EGW

Glavne komponente i rad:

Sastojci	Tehnologija
Kompresor	Hermetički kompresor invertora sa zaštitom od tekućeg udara (±0. 1℃ kontrola)
Kondenzator	Nehrđajući čelik, <5% gubitka topline
Evaporator	Pločasti dizajn, 35% veća učinkovitost, buka ≤55 dB
Grejač	Potopljeno direktno zagrijavanje, ±0,3℃ jednolikost
Ventil ekspanzije	Elektronski ventil sa ±1℃ kontrolom pregrijavanja
Pumpa	Pumpa s magnetnim pogonom (verzija za fluorirane tečnosti), <2% fluktuacija protoka

Princip hlađenja:

Adaptivni PID rashladni ciklus :
1️⃣ Komresija → Povećanje tlaka rashladnog sredstva
2️⃣ Kondenzacija → Odvođenje topline i curenje
3️⃣ EEV regulacija → Stvaranje niskog tlaka
4️⃣ Evaporacija → Precizno upijanje topline iz opreme
5️⃣ Invertorska kontrola protoka → Održava ±0. 1℃ stabilnost