EN
CO2 чиллерлери
Температуранын стабилдиги : ±0,1°C
Температура диапазону : -20˚C～+80˚C
Куулуш ыгыймы : -20℃@2 KW/20℃@10 KW
Компакттуу компрессор чиллер аркылуу так термалдык баскынын берилүүсү :
Жарым өткөргүч пластинкаларды даярдоо жана сыноо
Жаңы энергия аккумулятору/электр моторун текшерүү
Так жабдыкты суутундуруу
Атайын аба менен суутундуруу боюнча сыноолор
- Көрүнүш
- Таксымаланган товарлар
Техникалык түшүнүк:
Lingheng CO₂ Ультратаза чиллер
Көлөгөнө алып келүү табигый тосмолук (GWP=1, ODP=0) жеткизүү ±0,1℃ так термалдык башкаруу жогорку жартылай өткөргүч процесстер үчүн. Мүмкүнчүлүк берет -40℃ ден +100℃ чейинки кенен диапазондо иштетүү транскритикалык цикл технологиясы аркылуу, миссиялык-критикалык колдонууларга ылайык
Фотолитография
Эчинг
Атомдык катмардык чөккүн (ALD)
Толук жабык агым жолу class 100 таза бөлме стандарттарына ылайык келет, ал эми F-газсыз долбоор көмүртек салыгын төлөө тобокөрүлүгүн азайтат — процесстин өнүгүшү менен эле ESG талаптарына ылайык келет.
Негизги артыкчылыктар：
Көркөмдүү-жакшы орто:
GWP=1 - Глобалдык климаттык максаттарга толук ылайык келет, көмүртек салыгын төлөө тобокөрүлүгүн азайтат
Табигый түндүргүч - Фторлошкон газдын иреттео/тарактоо талаптарын жок кылат
Нөл ОБП - Эл аралык келишимдерге ылайык (мисалы, Кигали өзгөртүүсү)
±0,1℃ так башкаруу - Ири түйүндөрдү колдоно (TSMC 5нм фторлошкон түткүчтүн фазалоо-чыгарууга ылайык)
Киргизүүсүз иштетүү - CO₂ калдыгы 1ppb ден аз, Class 1000 таза бөлмөлөргө сертификатталган
30% жогорку COP - Транскритикалык цикл инвертордук технологиясы (LIAT 1.0 негизине салыштырмалуу текшерилген)
Коопсуздук иштөөсү:
Ууланбайт, жанбайт - Фторсүз булган бузгундук кетүү коркунучун жок кылат
Fab коркунучун азайтуу - 68% төмөнкү айлана-чөйрө коркунуч көрсөткүчү (SEMI S10 боюнча)
Негизги компоненттер жана иштөө:
Компонент |
Технология |
Компрессор |
Суюк шлагга каршы коргоо менен герметикалык инвертор компрессору (±0,5℃ башкаруу) |
Конденсатор |
Нержи болот, жылуулук жоготуу 5% төмөн |
Буулоочу |
Титан пластинкалуу, 35% жогорку эффективдүүлүк, ≤55dB шугу |
Куушу алып кылуучу |
Түгөл түрдө кыздыруу, ±0,3℃ бирдейлик |
Көшөрдөрдүн кийиши |
Электрондук клапан ±1℃ тайыз кызуу контролдук |
Пумпа |
Магниттik насос (фторланган суюктуу версия), <2% агымдын талашы |
Тузгучтун принциби:
1. Басым көбөйтүү → Бузгундуктун басымын көтөрүү
2. Конденсация → Жылуулук чачындыруу жана суюлтуу
3. EEV чектөө → Төмөнкү басымдуу булут генерациясы
4. Булантуу → Техникалык жабдуктан так жылуулук жутуу
5. Инвертордук окуу контролү → ±0 болуп сакталат. 1℃ тактуулугу
| GVS010 Өнім параметрлері | GVS405 өнөрөттүк параметрлери | ||
| Продукциянын модели | GVS010-W-32F | GVS405-W-32F | GVD010-W-32F |
| Сууктоо ыкмасы |
Су менен түтүндүрүү түрү |
||
| Башкаруу режими |
Управление PID |
||
| Температурaning башкаруу аралыгы | -20℃~+90℃ | -40℃~+90℃ | -20℃ден +90℃ге чейин |
| ДUKтуктуулучулук |
±0.1℃ |
||
| Тузалоо Мүмкүнчүлүгү |
-20℃@2 KW -10℃@4 KW 0℃@6 KW 20℃@10 KW 80℃@10 KW |
-40℃@4KW |
4 кВт@-10℃ 10 кВт@+20℃ |
| Күч | 3КВт | 3КВт | |
| Танк | 20 литр | 20 литр | |
| Айланып жаткан суюктык агымынын ылдамдыгы | 20L/мин（0.75МРа） | 20 л/мин (0,5 МПа) | 20 л/мин (0,7 МПа) |
| PCW трафиги | 15L/мин@15~25℃ | 15 л/мин@15–25℃, 0,3–0,4 МПа | |
| Температура диапазону | 5~35℃ | ||
| Айлануучу Суюктуктун Түрлөрү | Этиленгликолдун аралашы, Таза суу, Фторланган эрүү | ||
| Муздаткыч | R744（CO2） | ||
| Айлануучу суюктук интерфейси |
Rc3/4” |
||
| PCW интерфейс | Rc1/2” | Rc1-1/4” | Rc1/2” |
| Сырткы өлчөмдөр（мм） | 380W*900D*1250H | 500 W × 1160 D × 1650 H |
600W*900D*1300H (мм) |
| Киргизилген энергия майлысы | 3Ph,208-220V,50Hz | 3 фазалуу, 208–220 В, 50/60 Гц | |
| Машина түшүмү | 8КВ | 15,4 кВт | |
| таза салмак | 200 кг | ||
| Проекттун стандарттары | Семи | Семи | SEMI S2, F47 |
