Бир каналдуу чиллерлер

Температуранын стабилдиги : ±0,1°C

Температура диапазону : -40˚C～+80˚C

Куулуш ыгыймы : -40℃@6 кВт/20℃@25 кВт

Эрекшеленет инвертордук температура контролүнө негизделген бул системалар энергия эффективдүүлүгүн арттырып, электр току чыгымын кемитет. Берет ±0,1℃ туруктуулугу төмөнкүлөрдү камтыйт:

Жартылай өткөргүчтүн эрозиялык куралдары жана CMP (химиялык-механикалык полировка)

Лабораториялык приборлор жана жогорку тактагы сыноо куралдары

Эстетикалык медициналык куралдар жана кылдат лазерлер

Калыптын температуралык контрол системалары

Көрүнүш
Таксымаланган товарлар

Техникалык түшүнүк:

Лингхенгдин бир каналдуу чиллерлери интеграцияланган компактты долу конструкциясы менен так жылуулук менеджментин сунуш кылат.

Конструирован для жеке тургун курулган жабдуктардын так түрдө туңузтуу , биздин блоктор ±0.1℃ PID башкаруусу жана инвертор компрессор технологиясына ээ жана критикалык колдонуулар үчүн:
инвертор компрессор технологиясы критикалык колдонуулар үчүн:

Жартылай өткөргүчтүн өлчөө куралдары

Лазер иштетүү системалары

Медициналык анализаторлор

Сыноо-стенддик орнотмолор
Текститүүсүз суюктук контуру чайкап кетүүнү баса турган, ал эми PCW-баштапкы курулган конструкция орнотуу чыгымдарын 30% кысат.

Негизги Алатынтар:

Криогендик өнөрбап : -40℃ температурада иштейт, температураны өзгөртүүгө 3 мүнөт кетет

Жоголтуусуз циркуляция : Лазер менен дароо куймаланган түтүктөр жылына 0,1% суюктук жоголтот

Inverter Efficiency : Убакыт билдирүүчү моделдорго салыштырмалуу 35% энергия утурат (SEMI S23 белгиленген)

Динамикалык рампа иштөөчү : ±5℃/мин температура өзгөрүү тездигин алат

Көп-протоколдун интеграциясы : ASML/TEL/LAM куралдарынын интеграциясы үчүн SECS/GEM & OPC-UA даяр

图1(b5fe4dcf69).png

Негизги компоненттер жана иштетүү

Компонент	Технология
Компрессор	Суюктук слагга каршы коргонуу менен жабык инвертор компрессор (±0. 1℃ контролдук)
Конденсатор	Нержи болот, жылуулук жоготуу 5% төмөн
Буулоочу	Пластинкалык конструкция, 35% бийик эффективдүүлүк, ≤55dB шуу
Куушу алып кылуучу	Түгөл түрдө кыздыруу, ±0,3℃ бирдейлик
Көшөрдөрдүн кийиши	Электрондук клапан ±1℃ тайыз кызуу контролдук
Пумпа	Магниттik насос (фторланган суюктуу версия), <2% агымдын талашы

Түншатуу принципи

Адаптивдүү PID тузгуч цикли :

1️⃣ Компрессия → Тузгучтун басымын көтөрүү
2️⃣ Конденсация → Жылу чачылтуу жана суюлтуу
3️⃣ EEV чектөө → Төмөнкү басымды түзүү
4️⃣ Булануу → Техникалык жабдуктардан так жылуу соруу
5️⃣ Инвертордук агымды башкаруу → ±0,5 сактоо 1℃ тактуулугу

V系列简图_英(c796e1b1d0).png

VS100/407/020 продукт параметрлери
Продукциянын модели	VS100-W-32	VS020-W-32	VS407-W-33
Сууктоо ыкмасы	Суу менен муздатуу
Башкаруу режими	Управление PID
Температурaning башкаруу аралыгы	-20℃~+80℃		-40℃~+80℃
ДUKтуктуулучулук	±0.1℃
Тузалоо Мүмкүнчүлүгү	-20℃@2 KW -10℃@4 KW 0℃@6 KW 20℃@10 KW 80℃@10 KW	-20℃@5 KW -10℃@10 KW 0℃@15 KW 20℃@25 KW 40℃@25 KW	-40℃@6 KW -20℃@12 KW 0℃@25 KW 20℃@25 KW 40℃ @25 KW


Күч	3КВт
Танк	20 литр		25л
Айланып жаткан суюктык агымынын ылдамдыгы	20L/мин（0.75МРа）	20L/мин(0.7МРа)
PCW трафиги	15L/мин@15~25℃	30L/мин@15~25℃	50 L/мин@15~25℃
Температура диапазону	5~35℃
Айлануучу Суюктуктун Түрлөрү	Этиленгликолдун аралашы, таза суу, фторланган суюктык	Таза суу, Этиленгликолдун аралашы, таза суу, Фторланган эрүүчү	Этиленгликолдун аралашы, фторланган суюктуу
Муздаткыч	R410a	/	/
Айлануучу суюктук интерфейси	Rc3/4“
PCW интерфейс	Rc1/2”	Rc3/4"	Rc1-1/4"
Сырткы өлчөмдөр（мм）	380W900D1300H	420W900D1250H	500W1150D1500H
Киргизилген энергия майлысы	3Ph,208-220V,50Hz	3Ph,208-220V,50Hz	3Ph,380-400V,50Hz
Машина түшүмү	8КВ	9.7кВт	14KW
таза салмак	200 кг	210KG	360KG
Проекттун стандарттары	Семи