Жылыту жилет системасы

Техникалык түшүнүк:

Кыздыруу жакетинин колдонулушу :

1. Газ таратуу магистралдары

Курктуу технологиялык газдар :
Бор трихлорид (BCl₃), Хлор трифторид (ClF₃), Тетраэтил ортосиликат (TEOS)
Дихлорсилан (DCS/SiH₂Cl₂), Вольфрам гексафторид (WF₆)
Процессин текшерүү конденсация болбошу үчүн нымдуулук чегине башкаруу менен газ линиясын иситүү

2. CVD процесстер

Төмөнкү басымда химиялык бурун көбөйтүү (LPCVD)
Плазма менен түрткүлөнгөн CVD (PECVD)
Функция: Буу температурасын стабилизациялоо (±1℃)

3. Металлды чычкандатуу

Плазма чычкандатуу системалары :
Алюминий чычкандатуу (Cl₂/BCl₃ химиясы)
Вольфрам чычкандатуу (SF₆/WF₆ карышканда)
Функция: Газ реакцияга түшүүнүн бирделигин сактоо

Иситүү жакет артыкчылыктары:

Артыкчылык категориясы	ТЕХНИКАЛДЫК ХАРАКТЕРИСТИКАЛАР
Тактык менен башкаруу	±0.5℃ стабилдуулук PID контроллерлери аркылуу (ISO 15805 билдирүүсү менен)
Таңу тууралуу ташиялар	Эки тараптуу коопсуздук блоктолушу: • KSD30 термостат • Термиялык балкыткыч (IEC 60691 талаптарына ылайык)
Эко-изоляция	PFAS эмес изоляция катмары: • Термиялык жоголтуу <5% (ISO 8301) • Белгилүү эмес болоттон жасалган жалбырак түрдөгү корпус
Акылдук Көздөө	Токту түз эле мониторингдоо: • Аймак боюнча токтун маанилери → HMI/SCADA • MODBUS-TCP архивдөө системасы

PID температура контроллерлери

Жылытуу жакет системасы так термиялык башкаруу үчүн PID температура контроллерлерин колдонот, ар бир контроллер уникалдуу тармак дареги бар айырым RS485 шина сегментинде иштейт. Бул PID бирдиктери автономдуу башкаруу модулдери катары жана тармакталган түзүлүштүн бир бөлүгү катары иштейт. RS485 интерфейстер аркылуу Modbus RTU протоколун колдонуп, бардык контроллерлер борбордук HMI башкаруу шкафы менен эки тараптуу аралашып, борбордук PLC кереги жок көп аймактуу температураны башкаруу менен синхрондоо жана түз эле маалда маалыматты топтоо мүмкүнчүлүгүн берет.

HMI Башкаруу панели

Бактык жеңдери менен PID температура контролдөөчүлөрдү колдонуу вакуум же газ өткөрүү жолуна түгөйлөп орнотулган, бул бардык жылыткыч жеңдердин температурасын жана иштөө абалын убактылы көзөмөлдөөнү кыйыншылыкка келтиреди. Бардык жылыткыч жеңдердин абалын убактылы көзөмөлдөө үчүн, биз бардык жылыткыч жеңдерди бир платформага бириктирип, борборлошкон башкаруу менен байланышты башкаруу системасын ишке киргиздик.

Борборлошкон көзөмөл системасы

Бардык интерфейстер – көзөмөл экрандары, убактылуу сигнализация көрсөткүчтөрү, өткөн сигнализация журналы, окуялар тарыхы, тенденция анализ диаграммалары жана долбоор формалары – SCADA платформалары (мисалы, InTouch же iFix) колдонуу менен негизги системага күзөтүлүп турган жылыткыч жең системасынын жалпы көзөмөлүн аткаруу үчүн конфигурацияланат.