Эки каналдуу чиллер

Техникалык түшүнүк:

Лингхенгдин эки тутумдуу түткүрүүчүлөрү бир бирдикте эки башкаргыч температураны башкарууну камсыз кылат.
Эрекшеленет ±0,1℃ тактыгы тармакка , бул системалар төмөндөгүлөр үчүн жасалган:

PVD/CVD камераларынын синхрондошкон түткүрүүсү

Түрмө түзгүчтөрдө эки зоналык термалдык башкаруу
40% кичине аянт жана өнөр жайынын далилденген ылайыкташтыгы (AMAT/LAM/TEL) менен алар көп жер талап кылбаган так түткүрүүнү кайрадан аныктайт.

Негизги Алатынтар:

Эки бирге эффективдүүлүк
» Эки түткүрүүчүнү башкаргыч контурлар менен алмаштырат
→ 40% чисто бөлмөнүн ордун энчү + 30% CAPEX азайт

Төгүлмө Дагы Контролдун тактыгы
» ±0,1℃ тармак ылдыйында туруктуулук (ΔT<0. 2℃)
→ CVD/PVD ичинде 3% түбүт калындыктарын камсыз кылат

Даяр интеграциялоо
» Баштапкы AMAT/LAM/TEL протоколдору
→ 90% 300мм курал менен уюштуруу, 65% аз эмгек күрөө

Энергия TwinDrive™
» 35% аз энергия, көп жуптар менен салыштырмалуу
→ SEMI S23 белгиленген, $18k жылдык уруксат

Нөлдөн чегара туурасында загрязнение
» Өзгөртүлгөн агым жолдору  + лазер менен дароо күйгүзүлгөн баш кошулгандар
→ UPW/фторинерт/ЭГ суу менен уюштуруу мүмкүн

Негизги компоненттер жана иштөө:

Компонент	Технология
Компрессор	Суюктук слагга каршы коргонуу менен жабык инвертор компрессор (±0. 1℃ контролдук)
Конденсатор	Нержи болот, жылуулук жоготуу 5% төмөн
Буулоочу	Пластинкалык конструкция, 35% бийик эффективдүүлүк, ≤55dB шуу
Куушу алып кылуучу	Түгөл түрдө кыздыруу, ±0,3℃ бирдейлик
Көшөрдөрдүн кийиши	Электрондук клапан ±1℃ тайыз кызуу контролдук
Пумпа	Магниттik насос (фторланган суюктуу версия), <2% агымдын талашы

Тузгучтун принциби:

Адаптивдүү PID тузгуч цикли :
1️⃣ Компрессия → Тузгучтун басымын көтөрүү
2️⃣ Конденсация → Жылу чачылтуу жана суюлтуу
3️⃣ EEV чектөө → Төмөнкү басымды түзүү
4️⃣ Булануу → Техникалык жабдуктардан так жылуу соруу
5️⃣ Инвертордук агымды башкаруу → ±0,5 сактоо 1℃ тактуулугу