เครื่องให้ความร้อน UPW
ความมั่นคงของอุณหภูมิ : ±0.1℃
ช่วงอุณหภูมิ : -20˚C~+80˚C
กำลังให้ความร้อน :48KW-192KW
โมดูลทำความร้อนน้ำอัลตราเพียว (UPW) , ออกแบบมาเพื่อควบคุมอุณหภูมิอย่างแม่นยำในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ที่สำคัญ ระบบทำความร้อนขั้นสูงนี้ใช้หลอดฮาโลเจนที่หุ้มด้วยควอตซ์ความบริสุทธิ์สูงสำหรับการให้ความร้อนแบบไม่สัมผัส เพื่อให้แน่ใจว่าไม่มีการปนเปื้อนจากโลหะทุกชนิด
- ภาพรวม
- สินค้าที่แนะนำ
ขอบเขตการใช้งาน
การผลิตเซมิคอนดักเตอร์ : การทำความสะอาดแผ่นซิลิคอนหรือวัสดุผสม
อุตสาหกรรมแบตเตอรี่ลิเธียมและโซลาร์เซลล์ : ระบบทำความสะอาดสายการผลิต
อุตสาหกรรมแผงจอภาพ : การทำความสะอาดแผ่นแก้วซับสเตรตของ LCD
ทางเลือกที่เป็นมิตรต่อสิ่งแวดล้อม : ใช้สารละลายจากน้ำบริสุทธิ์สูงแทนการใช้สารฟรีออนในการทำความสะอาด
ลักษณะสําคัญ
สร้างจากวัสดุดีเด่น
องค์ประกอบทำความร้อนจากควอทซ์ความบริสุทธิ์สูง
ระบบท่อแบบฟลูโอโรเรซิน
เทคโนโลยีการให้ความร้อนด้วยหลอดฮาโลเจนแบบไม่สัมผัส
ดีไซน์ที่ปรับให้เหมาะสมสำหรับพื้นที่
ดีไซน์บางเฉียบช่วยลดพื้นที่การติดตั้ง
การควบคุมอุณหภูมิอัจฉริยะ
หลอดฮาโลเจนกำลังสูงให้การให้ความร้อนที่รวดเร็ว
ปรับอุณหภูมิโดยอัตโนมัติตามการเปลี่ยนแปลงของอัตราการไหลแบบเรียลไทม์
สมรรถนะและความปลอดภัย
ประสิทธิภาพการให้ความร้อน ≥95.8%
ระบบป้องกันครบวงจร พร้อมแจ้งเตือนเมื่อเกิด:
การทำงานผิดปกติของอัตราการไหล
อุณหภูมิสูงเกินกำหนด
การป้องกันการให้ความร้อนขณะไม่มีน้ำไหลผ่าน
การตรวจจับการรั่ว
เซ็นเซอร์ขัดข้อง
ข้อผิดพลาดของวงจรฮีตเตอร์
| รุ่น | SWH-48 | SWH-72L | SWH-96L | SWH-144L | SWH-192L | |
| วิธีการทําความร้อน | ใช้วิธีการให้ความร้อนด้วยรังสีอินฟราเรด | |||||
| ประสิทธิภาพ | พลังงาน | 48kw | 72kw | 96kw | 144KW | 192kW |
| อัตราการไหลมาตรฐาน (△T55℃) | 12LPM | 18LPM | 24LPM | 36LPM | 48LPM | |
| อัตราการไหลต่ำสุดสำหรับการให้ความร้อน | 4-6 ลิตร/นาที | 8-12 ลิตร/นาที | ||||
| ช่วงอุณหภูมิที่ตั้งไว้ | 20-100℃ | |||||
| ความแม่นยำในการควบคุมอุณหภูมิ | ±1℃ (ขึ้นอยู่กับสภาพแวดล้อม) | |||||
| ช่วงการแสดงผลการไหล | 0-60LPM | |||||
| ส่วนประกอบ | ฮีตเตอร์ | หลอดฮาโลเจน วิธีการให้ความร้อนแบบอ้อมโดยไม่สัมผัสของเหลว | ||||
| วัสดุของเครื่องให้ความร้อน | ควอทซ์ใส่ความบริสุทธิ์สูง | |||||
| ชิ้นส่วนที่สัมผัสกับของเหลวและวัสดุท่อ | ควอทซ์ใส่ความบริสุทธิ์สูงและท่อ PFA ความบริสุทธิ์สูง | |||||
| ฟังก์ชันตอบสนองด้านความปลอดภัย | การไหลผิดปกติ อุณหภูมิสูง การเผาแห้ง การรั่วไหล การเซ็นเซอร์ขาด ไส้หลอดฮาโลเจนละลาย เป็นต้น | |||||
| ฟังก์ชันการสื่อสารภายนอก | RS-232C、RS-485、Modbus TCP/IP | |||||
| ฟังก์ชันอินพุต/เอาต์พุตภายนอก | สัญญาณอินพุต 8 ช่อง สัญญาณเอาต์พุต 14 ช่อง | |||||
| อื่น ๆ | ขนาดภายนอก ((มม) | 450W*900D *1625H | 450W*1000D *1725H | 700W*1000D *1725H | 700W*1000D *1850H | 800W*1000D *2000H |
| การให้พลังงาน | AC 380V 50/60Hz ไฟสามเฟสห้าสาย | |||||