ชิลเลอร์ CO2

คำอธิบายทางเทคนิค:

เครื่องทำน้ำเย็น Lingheng CO₂ Ultra-Clean
การใช้งาน สารทำความเย็นธรรมชาติ (GWP=1, ODP=0) เพื่อส่งมอบ ควบคุมอุณหภูมิได้แม่นยำ ±0.1℃ สำหรับกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์ขั้นสูง ช่วยให้ -40℃ ถึง +100℃ การทำงานในช่วงกว้าง ผ่านเทคโนโลยีวงจรเปลี่ยนผ่าน เข้ากันได้กับการใช้งานที่มีความสำคัญสูงสุด:

การถ่ายภาพด้วยแสง

การแกะสลัก

การสะสมชั้นบางแบบอะตอม (ALD)
ทางเดินของไหลแบบปิดสนิท เป็นไปตามมาตรฐานห้องสะอาดระดับ 100 ในขณะที่ การออกแบบที่ไม่ใช้ก๊าซเรือนกระจก ลดความเสี่ยงจากภาษีคาร์บอน — บรรลุทั้งความเป็นเลิศในการดำเนินการและข้อกำหนด ESG

จุดเด่นหลัก：

ความยั่งยืนทางสิ่งแวดล้อม

GWP=1 - สอดคล้องอย่างเต็มที่กับเป้าหมายสภาพภูมิอากาศระดับโลก ลดความเสี่ยงจากภาษีคาร์บอน

สารทำความเย็นธรรมชาติ - ไม่จำเป็นต้องกำจัดหรือกู้คืนก๊าซฟลูออรีน

ศูนย์ ODP - เป็นไปตามข้อบังคับสากล (เช่น การแก้ไขข้อตกลงคิก้าลี)

ความเหนือกว่าทางเทคนิค:

ควบคุมความแม่นยำ ±0.1℃ - รองรับ advanced nodes (TSMC 5nm เป็นไปตามข้อกำหนดการเลิกใช้สารทำความเย็นฟลูออรีน)

การดำเนินงานปราศจากมลพิษ - ตกค้างของ CO₂ <1ppb รับรองมาตรฐานห้องสะอาด Class 1000

cOP สูงกว่า 30% - เทคโนโลยีอินเวอร์เตอร์วงจรทรานสคริติคอล (ตรวจสอบแล้ว เทียบกับค่าอ้างอิง LIAT 1.0)

สมรรถนะความปลอดภัย:

ไม่มีพิษและไม่ติดไฟ - ลดความเสี่ยงจากการรั่วของสารทำความเย็นฟลูออรีน

ลดความเสี่ยงในโรงงาน - ดัชนีความเสี่ยงต่อสิ่งแวดล้อมต่ำลง 68% (ตามมาตรฐาน SEMI S10)

ชิ้นส่วนหลักและการทำงาน:

หลักการทำงานระบบทำความเย็น:

1. การอัดอัดอากาศ → การเพิ่มแรงดันสารทำความเย็น
2. การควบแน่น → การระบายความร้อนและการกลายเป็นของเหลว
3. การปรับลดแรงดันด้วย EEV → การผลิตฝอยละอองภายใต้แรงดันต่ำ
4. การระเหย → การดูดซับความร้อนจากอุปกรณ์อย่างแม่นยำ
5. การควบคุมการไหลแบบอินเวอร์เตอร์ → รักษาความเสถียรที่ ±0. 1℃