ระบบฮีตเตอร์แจ็คเก็ต

คำอธิบายทางเทคนิค:

การประยุกต์ใช้แจ็คเก็ตทำความร้อน :

1. ท่อส่งก๊าซ

ก๊าซอันตรายที่ใช้ในกระบวนการผลิต :
โบรมไตรคลอไรด์ (BCl₃), คลอรีนไตรฟลูโอไรด์ (ClF₃), เตตราอีทิลออร์โธซิลิเกต (TEOS)
ไดคลอโรซิเลน (DCS/SiH₂Cl₂), ทังสเตนเฮกซาฟลูโอไรด์ (WF₆)
การตรวจสอบความถูกต้องของกระบวนการ - การทำความร้อนท่อส่งก๊าซ เพื่อควบคุมจุดน้ำค้างและป้องกันการควบแน่น

2. กระบวนการ CVD

การเคลือบด้วยปฏิกิริยาเคมีในสภาพความดันต่ำ (LPCVD)
การเคลือบด้วยปฏิกิริยาเคมีโดยใช้พลาสมาเสริม (PECVD)
หน้าที่: การควบ stabilizer อุณหภูมิไอระเหยของสารตั้งต้น (±1℃)

3. การกัดกร่อนโลหะ

ระบบการแกะสลักพลาสมา :
การกัดกร่อนอลูมิเนียม (Cl₂/BCl₃ chemistries)
การกัดกร่อนทังสเตน (SF₆/WF₆ สารผสม)
หน้าที่: รักษาความสม่ำเสมอของปฏิกิริยาเคมีของก๊าซ

ข้อดีของแจ็คเก็ตทำความร้อน:

ประเภทของข้อดี	ลักษณะทางเทคนิค
การควบคุมความแม่นยํา	±0.5℃ ความเสถียรผ่านตัวควบคุม PID (รับรองตามมาตรฐาน ISO 15805)
การรับประกันความปลอดภัย	ระบบล็อกความปลอดภัยแบบคู่: • เทอร์โมสแตต KSD30 • ฟิวส์ความร้อน (เป็นไปตามมาตรฐาน IEC 60691)
ฉนวนประหยัดพลังงาน	ชั้นฉนวนที่ปราศจากสารพีเอฟเอเอส (PFAS-free): • การสูญเสียความร้อน <5% (ISO 8301) • ตัวเครื่องออกแบบเรียวยาวจากสแตนเลสสตีล
การติดตามที่ฉลาด	การตรวจสอบกระแสไฟฟ้าแบบเรียลไทม์: • ค่ากระแสไฟฟ้าต่อโซน → HMI/SCADA • การบันทึกข้อมูลแบบ MODBUS-TCP

ตัวควบคุมอุณหภูมิแบบ PID

ระบบฮีตติ้งแจ็คเก็ต (Heating Jacket) ใช้ตัวควบคุมอุณหภูมิแบบ PID เพื่อควบคุมอุณหภูมิอย่างแม่นยำ โดยตัวควบคุมแต่ละตัวทำงานบนส่วนของบัส RS485 ที่แยกจากกันและมีการกำหนดที่อยู่เครือข่ายเฉพาะ ตัวควบคุม PID เหล่านี้สามารถทำงานเป็นโมดูลควบคุมแบบสแตนด์อะโลน หรือจะใช้งานแบบผสานรวมเป็นโหนดหนึ่งในสถาปัตยกรรมเครือข่ายแบบกระจายก็ได้ โดยใช้โปรโตคอล Modbus RTU ผ่านทางอินเทอร์เฟซ RS485 ตัวควบคุมทั้งหมดสามารถสื่อสารแบบสองทางกับตู้ควบคุม HMI กลาง เพื่อให้สามารถจัดการอุณหภูมิแบบหลายโซนพร้อมกันและรวบรวมข้อมูลแบบเรียลไทม์ โดยไม่จำเป็นต้องใช้ PLC ตัวกลาง

Hmi control panel

การติดตั้งแจ็คเก็ตทำความร้อนแบบ Blanketed และตัวควบคุมอุณหภูมิแบบ PID บนท่อสุญญากาศหรือท่อแก๊สนั้นมีการกระจายตัวค่อนข้างสูง ทำให้ไม่สามารถตรวจสอบอุณหภูมิแบบเรียลไทม์และสถานะการทำงานของแจ็คเก็ตทำความร้อนทั้งหมดพร้อมกันได้อย่างมีประสิทธิภาพ เพื่อให้สามารถตรวจสอบสภาพของแจ็คเก็ตทำความร้อนทั้งหมดแบบเรียลไทม์ เราได้ใช้แผงควบคุม HMI ที่รวบรวมแจ็คเก็ตทำความร้อนทั้งหมดเข้าไว้ในแพลตฟอร์มเดียว เพื่อให้เกิดการควบคุมแบบรวมศูนย์และการจัดการการสื่อสาร

ระบบตรวจสอบแบบรวมศูนย์

อินเตอร์เฟซทั้งหมด ได้แก่ หน้าจอตรวจสอบ หน้าจอแสดงการแจ้งเตือนแบบเรียลไทม์ บันทึกการแจ้งเตือนในอดีต บันทึกประวัติเหตุการณ์ แผนภูมิวิเคราะห์แนวโน้ม และรูปแบบรายงาน สามารถตั้งค่าได้บนระบบหลัก (โดยใช้แพลตฟอร์ม SCADA เช่น InTouch หรือ iFix) เพื่อการตรวจสอบระบบแจ็คเก็ตทำความร้อนแบบครอบคลุม