เครื่องทำความเย็นแบบช่องสามช่อง

คำอธิบายทางเทคนิค:

จุดเด่นหลัก:

การผสานการทำงานแบบ TripleSync™
» 3 วงจรที่แยกจากกันภายในชุดเดียว
→ ลดพื้นที่ห้องสะอาดลง 55%

ความแม่นยำระดับคลัสเตอร์
» ความเสถียร ±0.1℃ พร้อมความต่างของอุณหภูมิระหว่างวงจรต่ำกว่า ±0.03℃
→ ทำให้กระบวนการในหลายห้องทำงานประสานกันได้

การปรับสมดุลโหลดแบบไดนามิก
» การจัดสรรระบบระบายความร้อนอัจฉริยะ (กำลังรวม 30 กิโลวัตต์)
→ ประหยัดพลังงานลง 28% ภายใต้ภาระงานที่เปลี่ยนแปลงได้

ความเข้ากันได้หลายเครื่องมือ
» เสียบเชื่อมต่อและใช้งานได้ทันทีกับเครื่องมือคลัสเตอร์ ASML/AMAT/TEL
→ รองรับโรงงานผลิตเวเฟอร์ขนาด 300 มม. และสายการผลิต PV TOPCon

ระบบนิเวศน์ไทเทเนียมอัลตร้าคลีน
» ทางเดินของระบบสามารถปรับแต่งได้ พร้อมการปิดผนึกแบบโมดูลาร์
→ สารตกค้างในของเหลว <0.1ppt (เป็นไปตามมาตรฐาน Class 10)

ชิ้นส่วนหลักและการทำงาน:

หลักการทำงานระบบทำความเย็น:

วงจรทำความเย็นแบบปรับตัว PID :
1️⃣ การอัดอากาศ → การเพิ่มแรงดันสารทำความเย็น
2️⃣ การควบแน่น → การระบายความร้อนและการกลั่นตัว
3️⃣ การลดแรงดัน EEV → การสร้างแรงดันต่ำ
4️⃣ การระเหย → การดูดซับความร้อนอย่างแม่นยำจากอุปกรณ์
5️⃣ การควบคุมการไหลแบบอินเวอร์เตอร์ → รักษาความเสถียร ±0. 1℃