เครื่องทำความเย็นแบบช่องเดียว

คำอธิบายทางเทคนิค:

เครื่องทำความเย็นแบบช่องเดียว Lingheng ให้การจัดการความร้อนเฉพาะจุดด้วยการออกแบบที่กะทัดรัดแบบบูรณาการ

ออกแบบมาสำหรับ การระบายความร้อนอย่างแม่นยำของอุปกรณ์แบบสแตนด์อะโลน , หน่วยของเราสามารถควบคุมอุณหภูมิด้วยระบบ PID ที่ ±0.1℃ และ
เทคโนโลยีคอมเพรสเซอร์อินเวอร์เตอร์สำหรับการใช้งานที่สำคัญ ได้แก่

เครื่องมือวัดค่าเซมิคอนดักเตอร์

ระบบประมวลผลด้วยเลเซอร์

เครื่องวิเคราะห์ทางการแพทย์

ชุดติดตั้งสำหรับทดสอบ
วงจรของไหลแบบแยกส่วน ป้องกันการปนเปื้อนข้ามกัน ในขณะที่การสร้างแบบไม่ใช้ PCW ช่วยลดค่าใช้จ่ายในการติดตั้งลง 30%

จุดเด่นหลัก:

ความเชี่ยวชาญด้านความเย็นระดับ cryogenic : ทำงานที่ -40℃ ด้วยการเปลี่ยนอุณหภูมินานน้อยกว่า 3 นาที

การหมุนเวียนแบบไม่มีการสูญเสีย : ท่อที่เชื่อมด้วยเลเซอร์ มีการสูญเสียของเหลวต่อปีน้อยกว่า 0.1%

ประสิทธิภาพของอินเวอร์เตอร์ : ประหยัดพลังงานได้ 35% เมื่อเทียบกับรุ่นความเร็วคงที่ (รับรองตามมาตรฐาน SEMI S23)

ประสิทธิภาพการทดสอบบนพื้นเอียงแบบไดนามิก : ให้อัตราการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิ ±5℃/นาที

การผสานรวมหลายโปรโตคอล : รองรับ SECS/GEM และ OPC-UA สำหรับการเชื่อมต่อกับเครื่องมือ ASML/TEL/LAM

องค์ประกอบหลักและการทำงาน

หลักการทำความเย็น

วงจรทำความเย็นแบบปรับตัว PID :

1️⃣ การอัดอากาศ → การเพิ่มแรงดันสารทำความเย็น
2️⃣ การควบแน่น → การระบายความร้อนและการกลั่นตัว
3️⃣ การลดแรงดัน EEV → การสร้างแรงดันต่ำ
4️⃣ การระเหย → การดูดซับความร้อนอย่างแม่นยำจากอุปกรณ์
5️⃣ การควบคุมการไหลแบบอินเวอร์เตอร์ → รักษาความเสถียร ±0. 1℃