เครื่องทำความเย็นแบบสองช่อง

คำอธิบายทางเทคนิค:

ชิลเลอร์วงจรคู่ Lingheng มอบการควบคุมอุณหภูมิสองระบบอิสระในหน่วยเดียว
ที่มี ±0.1℃ ต่อวงจร ระบบที่ออกแบบมาเพื่อ:

การระบายความร้อนแบบซิงโครไนซ์สำหรับห้อง PVD/CVD

การจัดการความร้อนแบบหลายโซนในเครื่องมือกัด
ด้วยขนาดเล็กลง 40% และการรองรับที่ได้รับการพิสูจน์แล้วในอุตสาหกรรม (AMAT/LAM/TEL) ช่วยกำหนดนิยามใหม่ของการควบคุมอุณหภูมิที่แม่นยำและประหยัดพื้นที่

จุดเด่นหลัก:

ประสิทธิภาพแบบ Two-in-One
» แทนที่เครื่องทำความเย็นแบบคู่ด้วยวงจรอิสระ
→ พื้นที่ห้องสะอาดประหยัดได้ 40% + ลด CAPEX 30%

การควบคุมแบบคู่แม่นยำ
» ความเสถียร ±0.1℃ ต่อวงจร (ΔT<0. 2℃)
→ รับประกันความแปรปรวนของความหนาฟิล์ม <3% ในกระบวนการ CVD/PVD

การผนวกรวมแบบ Fab-Ready
» โปรโตคอล AMAT/LAM/TEL ติดตั้งล่วงหน้า
→ ความเข้ากันได้กับเครื่องมือ 300 มม. 90%, ลดเวลาหยุดทำงานลง 65%

Energy TwinDrive™
» พลังงานต่ำลง 35% เมื่อเทียบกับคู่แบบเดิม
→ ได้รับการรับรอง SEMI S23 ประหยัดรายปีมากกว่า 18,000 ดอลลาร์

ไม่มีการปนเปื้อนข้ามใดๆ
» เส้นทางการไหลที่ปรับแต่งได้  + รอยต่อเชื่อมด้วยเลเซอร์
→ เข้ากันได้กับ UPW/fluorinert/EGW

ชิ้นส่วนหลักและการทำงาน:

ชิ้นส่วน	เทคโนโลยี
เครื่องบด	คอมเพรสเซอร์อินเวอร์เตอร์แบบปิดผนึกพร้อมการป้องกันของเหลวปะทะ (±0. 1℃ การควบคุม)
เครื่องปรับความหนา	สแตนเลสเหล็กกล้า, การสูญเสียความร้อนต่ำกว่า 5%
ตัวระเหย	ดีไซน์แบบแผ่น ประสิทธิภาพสูงขึ้น 35%, เสียงรบกวน ≤55dB
ฮีตเตอร์	การให้ความร้อนโดยตรงแบบจุ่ม ความสม่ำเสมอ ±0.3℃
วาล์วขยาย	วาล์วอิเล็กทรอนิกส์ ควบคุมความร้อนส่วนเกิน ±1℃
ปั๊ม	ปั๊มแม่เหล็กขับเคลื่อน (รุ่นสารละลายฟลูออรีน) การเปลี่ยนแปลงการไหลต่ำกว่า 2%

หลักการทำงานระบบทำความเย็น:

วงจรทำความเย็นแบบปรับตัว PID :
1️⃣ การอัดอากาศ → การเพิ่มแรงดันสารทำความเย็น
2️⃣ การควบแน่น → การระบายความร้อนและการกลั่นตัว
3️⃣ การลดแรงดัน EEV → การสร้างแรงดันต่ำ
4️⃣ การระเหย → การดูดซับความร้อนอย่างแม่นยำจากอุปกรณ์
5️⃣ การควบคุมการไหลแบบอินเวอร์เตอร์ → รักษาความเสถียร ±0. 1℃