Sa mga proseso tulad ng pagmamanupaktura ng 5 nm na chip at 2.5D/3D na pagpopondo, napakahalaga ng ultra-mababang kontrol sa temperatura para sa kalidad at kita ng produkto. Ang ultra-mababang temperature na chiller para sa semiconductor ay mga pangunahing kagamitan na nagbibigay at nagpapanatili ng kinakailangang katatagan at kontrol sa temperatura, na naiimpluwensyahan ang pagkakasunod-sunod at kahusayan ng produksyon. Sa may higit sa 12 taon ng karanasan, eksperto ang LIAT sa pagmamanupaktura ng ultra-mababang temperature na chiller para sa semiconductor at iba pang teknolohiya sa kontrol ng temperatura. Kasama ang mga kliyente sa Estados Unidos, Russia, Australia, at iba pang bansa, pinagsasama ng LIAT ang teknolohiya at kontrol sa kalidad upang magbigay ng katiyakan at mapanatili ang pagganap. Tinalakay sa artikulong ito ang mga salik na tumutulong sa paghahatid ng ganitong uri ng pagganap ng mga chiller ng LIAT.
Ang paggawa ng mga semiconductor ay isang mahabang, patuloy na operasyon. Dapat manatiling matatag ang ultra low temperature chillers para sa mga semiconductor, o maaari itong magdulot ng thermal instabilities. Maaaring mangyari ang porosity defects, at sa 5nm nodes, kahit isang ±1°C na pagbabago sa temperatura ay maaaring magresulta sa 40% na pagkawala ng yield. Bukod sa mataas na antas ng depekto sa pagmamanupaktura ng semiconductor, ang mga production downtime ay lubhang nagkakahalaga rin. Dahil sa mataas na kahalagahan ng katatagan, inilalabas ng LIAT ang katatagan sa disenyo ng bawat isang ultra low temp chiller para sa semiconductor upang matugunan ang mataas na pamantayan ng industriya ng semiconductor.
Ang exceptional na istabilidad ng sistema ng LIAT’s semiconductor ultra low temp chillers ay nakamit gamit ang control technology ng industry sophistication. Upang matugunan ang semiconductor industry chillers temperature control, ang precision na ± 0.1°C ay ibinibigay sa buong temperatura mula -100°C hanggang +200°C. Ang PLC control system ay nagpapahusay sa operational stability ng chillers habang nagbibigay din ng mahusay na EMI sa target environment ng sistema. Ang energy-saving inverter technology ay nagsisiguro na ang sistema ay tumatakbo sa ninanais na cooling capacity habang pinapanatili ang steady-state operation, kahit may pagbabago sa load. Ang operasyonal na istabilidad ng ultra low temp chillers ay maisasama sa mga sistema na may mas mataas na manufacturing complexity.
Ang pagiging maaasahan ng mga chilled unit na gumagamit ng semiconductor machinery ay nagmumula sa kombinasyon ng mga de-kalidad na bahagi at mahigpit na pamantayan sa paggawa. Halimbawa, ang LIAT's semiconductor ultra low temp chiller ay gawa sa buong metal na panel, tinitiyak na ito ay hindi malolobo at nagpapataas ng kabuuang katatagan nito. Ang mga pangunahing sangkap tulad ng compressor at heat exchanger ay galing sa mapagkakatiwalaang mga supplier; sinisiguro ng kumpanya na masusing sinusuri ang mga bahaging ito bago isama sa mga yunit. Ang paggawa ay isinasagawa sa isang pasilidad na walang kontaminasyon at Class 100 cleanroom upang ganap na mapawi ang anumang dumi na maaaring magdulot ng problema sa pagganap. Hindi binabale-wala ng LIAT ang kalidad. Bawat ultra low temp chiller ay dumaan sa batch testing, sinusukat ang pagganap at mga pagbabago ng temperatura upang matiyak ang katatagan.
Mayroong mahigit 40 miyembro sa larangan ng teknolohiya sa R&D team ng LIAT na nagtutulungan para mapanatili ang kahusayan ng mga semiconductor ultra low temp chillers. Ang mga bagong prototype ng chiller ay dumaan sa paulit-ulit na pagsusuri upang masukat ang buong saklaw ng kanilang kahusayan sa kontrol ng temperatura, kasama ang katatagan ng operasyon sa mas mahabang panahon. Ang mga pagsusuring ito ay ginagawa upang suportahan ang mga pag-optimize sa disenyo at matiyak na ang mga chiller ay gumagana nang maayos kahit sa matinding kapaligiran. Tinitiyak din ng mga pagsusuring ito na ang mga bahagi ay gagana nang tama kasama ang 2.5D at 3D integrations gayundin kasama ang iba pang kagamitan mula sa mga semiconductor OEM. Ang lahat ng pagsusuring ito ang siyang nagtatayo ng pundasyon para sa katiyakan at kalidad ng mga semiconductor ultra low temp chillers ng LIAT.
Isa sa mga dahilan kung bakit ang ultra-low-temperature na chillers ay may ganap na katatagan ay ang kakayahang matugunan ang mga pangangailangan ng mga proseso. Nagbibigay ang LIAT ng mga pasadyang solusyon tulad ng variable communication ports at circulators upang masakop ang tiyak na pangangailangan sa pagmamanupaktura ng semiconductor. Ang dual model ay nag-aalok ng space-efficient na dual-path integration na idinisenyo para sa advanced etching applications kung saan mahalaga ang matatag na ultra-low temperature control. Maging sa mga linya ng semiconductor fabrication o sa pagsusuri ng mga bagong komponente ng enerhiya, maaaring baguhin ang ultra-low temperature na mga chiller upang bawasan ang panganib ng mga isyu sa operasyon habang nananatiling maaasahan.
Ang katatagan at suporta sa serbisyo ay bahagi rin ng pilosopiya sa disenyo. Ang pambansang network ng serbisyo ay nagbibigay ng saklaw sa pitong punto ng serbisyo sa Tsina at nag-aalok ng serbisyo at suporta upang matugunan ang mga pangangailangan ng network ng serbisyo. Para sa mga internasyonal na kustomer, nagbibigay ang LIAT ng suporta pagkatapos ng pagbebenta at mabilis na paghahatid ng mga parte o lokal na serbisyo at suporta upang malutas ang mga isyu. Nakabuo ang LIAT ng matatag na pakikipagsosyo sa mga nangungunang semiconductor fabs at pinaindor ang disenyo ng mga ultra-mababang temperatura na chiller para sa semiconductor batay sa feedback upang makalikha ng isang walang sagabal na sistema ng suporta, na nagbibigay-daan sa mga ultra-mababang temperatura na chiller na gumana nang maayos sa buong haba ng kanilang operasyonal na buhay.
Balitang Mainit
EN
