Triple Channel Chiller

Katatagan ng temperatura : ±0.1℃

Saklaw ng temperatura : -40˚C～+80˚C

Kapasidad ng paglamig : -40℃@6 KW /20℃@25 KW
Industrial-grade na compressor chiller may kasamang mga compressor ng premium-brand para sa sobrang katatagan. Nagbibigay ng ±0.1℃ na katatagan ng temperatura sa outlet para sa mahahalagang aplikasyon kabilang ang:

Pagpapalamig ng kagamitan sa Photolithography/etching

Pamamahala ng temperatura ng PVD/CVD tool

Pamamahala ng temperatura ng reaktor sa kemikal at pharmaceutical

GMP-compliant na pagproseso ng pharmaceutical na pagpapalamig

Buod
Mga Inirerekomendang Produkto

Teknikal na paglalarawan:

Lingheng Triple-Circuit Chillers nagbibigay ng multi-load na tumpak na paglamig (±0.1℃) sa isang yunit. May mga configurable na output para sa matatag na kapaligiran, nagbibigay ito ng:
✅ MATALINHANG KONTROL : Naka-iskedyul na operasyon, awtomatikong kompensasyon, self-diagnostics
✅ Triple na Kaligtasan : Masyadong mainit/overload/kakulangan ng tubig na mga alarma
✅ Konektibidad sa Industriya : I/O, RS232/RS485, Ethernet/IP
Dinisenyo para sa semiconductor cluster tools at PV production lines na may 30% na paghem ng enerhiya.

原理图5-英.png

Mga Pangunahing Bentahe:

TripleSync™ na Pag-integra
» 3 independiyenteng circuit sa isang chassis
→ 55% na pagbawas ng cleanroom footprint

Presyon na Kasingkahulugan ng Cluster
» ±0.1℃ na kaligtasan na may <±0.03℃ inter-circuit gradient
→ Nagpapagana ng multi-chamber process synchronization

Dynamic Load Balancing
» Smart cooling allocation (30kW na kabuuang kapasidad)
→ 28% na paghem ng enerhiya sa mga variable na karga

Multi-Tool Compatibility
» Plug-and-play kasama ang ASML/AMAT/TEL cluster tools
→ Sumusuporta sa 300mm fabs & PV TOPCon lines

Ultraclean Titanium Ecosystem
» Maaaring i-customize ang flow paths na may modular sealing
→ <0.1ppb fluid residue (Class 10 compliant)

结构图.png

Mga Pangunahing Bahagi & Operasyon:

Komponente	TEKNOLOHIYA
Makinang pamamagitan	Hermetic inverter compressor na may liquid slugging protection (±0. 1℃ control)
Kondensador	Stainless steel, <5% thermal loss
Evaporator	Disenyong plat-type, 35% mas mataas na epektibo, ≤55dB ingay
Heater	Tubig na direktang pagpainit, ±0.3℃ pagkakapareho
Mga balbula ng pagpapalawak	Babag na elektroniko na may ±1℃ kontrol ng sobrang init
Bomba	Pumpong Mag-drive (bersyon ng fluorinated fluid), <2% pagbabago ng daloy

Prinsipyo ng Pagpapalamig:

Adaptibong PID Refrigeration Cycle :
1️⃣ Pag-compress → Pagpapalakas ng presyon ng refrigerant
2️⃣ Pagkondensa → Pagpapawis ng init & paglilipat sa likido
3️⃣ EEV throttling → Paglikha ng mababang presyon
4️⃣ Pag-evaporate → Tumpak na pagkuha ng init mula sa kagamitan
5️⃣ Inverter flow control → Nagpapanatili ng ±0. 1℃ na katatagan

Mga Parameter ng Produkto na VT410		VT210-W-32
Pangalan ng Produkto	Chiller
Modelo ng Produkto	VT410-W-33	VT210-W-33
Paraan ng paglamig	Water-cooling
Mode ng Kontrol	Kontrol ng PID
Saklaw ng kontrol ng temperatura	CH1:-45~+60℃	CH1: +10℃ hanggang +80℃

	CH2:+30~+90℃	CH2: +30℃ hanggang +90℃

	CH3:+10~+55℃	CH3: +30℃ hanggang +90℃
Katumpakan	±0.1℃
Kapasidad ng paglamig	CH1:6KW@-40˚C	CH1: 15 kW sa 20°C

	CH2:30KW@+30℃	CH2: 20 kW sa +60°C

	CH3:28KW@+20℃	CH3: 20 kW sa +60°C
Kapangyarihan	CH1:4KW

	CH2:14KW

	CH3:4KW
Tank	CH1 / CH2 naibahaging tangke ng pagpapalawak 30L + tangke ng mainit na tubig 25L
Daloy ng kumukulong likido	CH1:17 L/min @ 0.9MPa	25L–30L/kabuwanan sa 0.65 MPa

	CH2:17 L/min @ 0.9MPa

	CH3:25 L/min @ 0.76MPa
PCW na trapiko	CH1: 50 L/min@15~25℃@0.3MPa

	CH2: 20 L/min@15~25℃@0.3MPa

	CH3: 50 L/min@15~25℃@0.3MPa
Saklaw ng temperatura	5~35 ℃
Uri ng circulating fluid	FC3283
Interface ng circulating liquid	CH1/CH2/CH3: Rc 3/4"	CH1/CH2/CH3: Rc 3/4"
Interface ng PCW	CH1/CH2/CH3: Rc1"	CH1/CH2/CH3: Rc1-1/4"
Panlabas na sukat (mm)	600W1370D2000H	1100W1400D1600H
Pinagmulan ng kuryente	3Ph,380-400V,50Hz
Kabuuang lakas ng makina	41.1 KW
Net Weight	600 kg
Mga Pamantayan sa Disenyo	Semi