EN
Triple Channel Chiller
Katatagan ng temperatura : ±0.1℃
Saklaw ng temperatura : -40˚C～+80˚C
Kapasidad ng paglamig : -40℃@6 KW /20℃@25 KW
Industrial-grade na compressor chiller may kasamang mga compressor ng premium-brand para sa sobrang katatagan. Nagbibigay ng ±0.1℃ na katatagan ng temperatura sa outlet para sa mahahalagang aplikasyon kabilang ang:
Pagpapalamig ng kagamitan sa Photolithography/etching
Pamamahala ng temperatura ng PVD/CVD tool
Pamamahala ng temperatura ng reaktor sa kemikal at pharmaceutical
GMP-compliant na pagproseso ng pharmaceutical na pagpapalamig
- Buod
- Mga Inirerekomendang Produkto
Teknikal na paglalarawan:
Lingheng Triple-Circuit Chillers nagbibigay ng multi-load na tumpak na paglamig (±0.1℃) sa isang yunit. May mga configurable na output para sa matatag na kapaligiran, nagbibigay ito ng:
✅ MATALINHANG KONTROL : Naka-iskedyul na operasyon, awtomatikong kompensasyon, self-diagnostics
✅ Triple na Kaligtasan : Masyadong mainit/overload/kakulangan ng tubig na mga alarma
✅ Konektibidad sa Industriya : I/O, RS232/RS485, Ethernet/IP
Dinisenyo para sa semiconductor cluster tools at PV production lines na may 30% na paghem ng enerhiya.
Mga Pangunahing Bentahe:
TripleSync™ na Pag-integra
» 3 independiyenteng circuit sa isang chassis
→ 55% na pagbawas ng cleanroom footprint
Presyon na Kasingkahulugan ng Cluster
» ±0.1℃ na kaligtasan na may <±0.03℃ inter-circuit gradient
→ Nagpapagana ng multi-chamber process synchronization
Dynamic Load Balancing
» Smart cooling allocation (30kW na kabuuang kapasidad)
→ 28% na paghem ng enerhiya sa mga variable na karga
Multi-Tool Compatibility
» Plug-and-play kasama ang ASML/AMAT/TEL cluster tools
→ Sumusuporta sa 300mm fabs & PV TOPCon lines
Ultraclean Titanium Ecosystem
» Maaaring i-customize ang flow paths na may modular sealing
→ <0.1ppb fluid residue (Class 10 compliant)
Mga Pangunahing Bahagi & Operasyon:
Komponente |
TEKNOLOHIYA |
Makinang pamamagitan |
Hermetic inverter compressor na may liquid slugging protection (±0. 1℃ control) |
Kondensador |
Stainless steel, <5% thermal loss |
Evaporator |
Disenyong plat-type, 35% mas mataas na epektibo, ≤55dB ingay |
Heater |
Tubig na direktang pagpainit, ±0.3℃ pagkakapareho |
Mga balbula ng pagpapalawak |
Babag na elektroniko na may ±1℃ kontrol ng sobrang init |
Bomba |
Pumpong Mag-drive (bersyon ng fluorinated fluid), <2% pagbabago ng daloy |
Prinsipyo ng Pagpapalamig:
Adaptibong PID Refrigeration Cycle :
1️⃣ Pag-compress → Pagpapalakas ng presyon ng refrigerant
2️⃣ Pagkondensa → Pagpapawis ng init & paglilipat sa likido
3️⃣ EEV throttling → Paglikha ng mababang presyon
4️⃣ Pag-evaporate → Tumpak na pagkuha ng init mula sa kagamitan
5️⃣ Inverter flow control → Nagpapanatili ng ±0. 1℃ na katatagan
| Mga Parameter ng Produkto na VT410 | |
| Pangalan ng Produkto | Chiller |
| Modelo ng Produkto | VT410-W-33 |
| Paraan ng paglamig | Water-cooling |
| Mode ng Kontrol | Kontrol ng PID |
| Saklaw ng kontrol ng temperatura | CH1:-45~+60℃ |
| CH2:+30~+90℃ | |
| CH3:+10~+55℃ | |
| Katumpakan | ±0.1℃ |
| Kapasidad ng paglamig | CH1:6KW@-40˚C |
| CH2:30KW@+30℃ | |
| CH3:28KW@+20℃ | |
| Kapangyarihan | CH1:4KW |
| CH2:14KW | |
| CH3:4KW | |
| Tank | CH1 / CH2 naibahaging tangke ng pagpapalawak 30L + tangke ng mainit na tubig 25L |
| Daloy ng kumukulong likido | CH1:17 L/min @ 0.9MPa |
| CH2:17 L/min @ 0.9MPa | |
| CH3:25 L/min @ 0.76MPa | |
| PCW na trapiko | CH1: 50 L/min@15~25℃@0.3MPa |
| CH2: 20 L/min@15~25℃@0.3MPa | |
| CH3: 50 L/min@15~25℃@0.3MPa | |
| Saklaw ng temperatura | 5~35 ℃ |
| Uri ng circulating fluid | FC3283 |
| Interface ng circulating liquid | CH1/CH2/CH3: Rc 3/4" |
| Interface ng PCW | CH1/CH2/CH3: Rc1" |
|
Panlabas na sukat (mm) |
600W*1370D*2000H |
| Pinagmulan ng kuryente | 3Ph,380-400V,50Hz |
| Kabuuang lakas ng makina | 41.1 KW |
| Net Weight | 600 kg |
| Mga Pamantayan sa Disenyo | Semi |
