EN
Dual Channel Chiller
Katatagan ng temperatura : ±0.1℃
Saklaw ng temperatura : -20˚C～+80˚C
Kapasidad ng paglamig : -20℃@2 KW/20℃@10 KW
Sistema ng dual-circuit na presisyon sa paglamig nagbibigay ng pagganap ng dalawang hiwalay na chiller sa isang yunit. Nakakamit ang ±0.1℃ na katatagan bawat circuit para sa kritikal na aplikasyon ng semiconductor:
PVD/CVD tool temperature control
Pamamahala ng temperatura sa proseso ng pag-etch
Naipakita sa industriya na kompatibilidad kasama ang AMAT, LAM, AMEC, TEL, at iba pang pangunahing kagamitan sa Fab.
- Buod
- Mga Inirerekomendang Produkto
Teknikal na paglalarawan:
Lingheng Dual-Circuit Chillers nagbibigay ng dalawahang independenteng kontrol sa temperatura sa isang yunit.
Naglalaman ng ±0.1℃ na katatagan bawat circuit , ang mga sistemang ito ay idinisenyo para sa:
Nasuspinde na paglamig ng PVD/CVD chambers
Pamamahala ng temperatura sa maraming zone sa mga kasangkapan sa pag-etch
Gamit ang 40% mas maliit na puwang at naipakita nang patunay na kompatibilidad sa industriya (AMAT/LAM/TEL), binabago nila ang paraan ng mahusay na paglamig na nakatuon sa espasyo.
Mga Pangunahing Bentahe:
Doble sa Isa na Mahusay
» Pumapalit sa dalawahang chillers na may mga independenteng circuit
→ 40% na mas maliit na espasyo sa silid + 30% na mas mababang CAPEX
Tumpak na Dobleng Kontrol
» ±0.1℃ na katatagan bawat circuit (ΔT<0. 2℃)
→ Tinitiyak ang <3% na pagkakaiba ng kapal ng pelikula sa CVD/PVD
Handa nang I-integrate sa Fab
» Mga protocol na pre-loaded na AMAT/LAM/TEL
→ 90% na tugma sa 300mm na kagamitan, 65% na mas mababang oras ng hindi paggamit
Energy TwinDrive™
» 35% na mas mababang konsumo ng enerhiya kumpara sa mga tradisyunal na pares
→ Sertipikado ng SEMI S23, >$18k na taunang pagtitipid
Walang Cross-Contamination
» Maaaring i-customize ang daloy ng landas + mga sumpit na welded ng laser
→ Tugma sa UPW/fluorinert/EGW 
Mga Pangunahing Bahagi & Operasyon:
Komponente |
TEKNOLOHIYA |
Makinang pamamagitan |
Hermetic inverter compressor na may liquid slugging protection (±0. 1℃ control) |
Kondensador |
Stainless steel, <5% thermal loss |
Evaporator |
Disenyong plat-type, 35% mas mataas na epektibo, ≤55dB ingay |
Heater |
Tubig na direktang pagpainit, ±0.3℃ pagkakapareho |
Mga balbula ng pagpapalawak |
Babag na elektroniko na may ±1℃ kontrol ng sobrang init |
Bomba |
Pumpong Mag-drive (bersyon ng fluorinated fluid), <2% pagbabago ng daloy |
Prinsipyo ng Pagpapalamig:
Adaptibong PID Refrigeration Cycle :
1️⃣ Pag-compress → Pagpapalakas ng presyon ng refrigerant
2️⃣ Pagkondensa → Pagpapawis ng init & paglilipat sa likido
3️⃣ EEV throttling → Paglikha ng mababang presyon
4️⃣ Pag-evaporate → Tumpak na pagkuha ng init mula sa kagamitan
5️⃣ Inverter flow control → Nagpapanatili ng ±0. 1℃ na katatagan
| Mga Parameter ng Produkto na VD100 | |
| Modelo ng Produkto | VD100-W-32 |
| Paraan ng paglamig | Water-cooling |
| Mode ng Kontrol | Kontrol ng PID |
| Saklaw ng kontrol ng temperatura | -20℃~+80℃ |
| Katumpakan | ±0.1℃ |
| Kapasidad ng ref |
CH1/ CH2: -20℃@2 KW - 10℃@4 KW 0℃@6 KW 20℃@10 KW 80℃@10 KW |
| Kapangyarihan |
CH1:3KW CH2:3KW |
| Tank |
CH1: 20 L CH2: 20 L |
| Dami ng daloy ng likidong sirkulasyon |
CH1:20 L/min（0.75 MPa） CH2:20 L/min（0.75 MPa） |
| PCW na trapiko | CH1: 15 L/min@15~25 ℃ CH2: 15 L/min@15~25 ℃ |
| Saklaw ng temperatura | 5~35℃ |
| Mga Uri ng Sirkulasyong Likido | Ethylene glycol mixture, pure water, fluorinated liquid |
| Refrigerant | R410a |
| Interface ng circulating liquid | Rc3/4“ x 2 |
| Interface ng PCW | Rc1/2” x 2 |
| Panlabas na Sukat (mm) | 600W*920D*1300H |
| Pinagmulan ng kuryente | 3Ph,208-220V,50Hz |
| Pwersa ng Makina | 16kw |
| net Weight | 350kg |
| Mga Pamantayan sa Disenyo | Semi |
