EN
Single Channel Chillers
Katatagan ng temperatura : ±0.1℃
Saklaw ng temperatura : -40˚C～+80˚C
Kapasidad ng paglamig : -40℃@6 KW/20℃@25 KW
Naglalaman ng pangkontrol ng temperatura na batay sa inverter , pinahuhusay ng sistema ang kahusayan sa enerhiya habang binabawasan ang konsumo ng kuryente. Nagbibigay ng ±0.1℃ na kaligtasan para sa mga aplikasyon na nangangailangan ng tumpak na kontrol kabilang ang:
Mga tool sa pag-etch ng semiconductor & CMP (Chemical Mechanical Polishing)
Mga instrumento sa laboratoryo & mataas na tumpak na kagamitan sa pagsubok
Mga medikal na device para sa aesthetic & solid-state lasers
Mga sistema ng kontrol sa temperatura ng mold
- Buod
- Mga Inirerekomendang Produkto
Teknikal na paglalarawan:
Lingheng Single Channel Chillers nagbibigay diretsong pamamahala ng thermal kasama ang integrated compact design.
Inihanda para sa siksik na paglamig ng kagamitang standalone , ang aming mga yunit ay may ±0.1℃ PID control at
teknolohiya ng inverter compressor para sa mahahalagang aplikasyon tulad ng:
Mga kasangkapan sa metrology ng semiconductor
Mga sistema ng laser processing
Mga medical analyzer
Mga setup ng test bench
Nagtatampok ng hiwalay na fluid circuit na nagpapahintulot sa cross-contamination, samantalang ang PCW-free construction ay nagbaba ng 30% sa gastos ng pag-install.
Mga Pangunahing Bentahe:
Kahusayan sa Cryogenic : Gumagana sa -40℃ na may transition ng temperatura na <3 minuto
Sirkulasyon na Walang Nawala : Mga tubo na laser-welded na may <0.1% na taunang pagkawala ng likido
Kasikatan ng Inverter : 35% na paghem ng enerhiya kumpara sa mga modelo na may takdang bilis (na sertipikado ng SEMI S23)
Dynamic Ramp Performance : Nakakamit ng ±5℃/min na bilis ng pagbabago ng temperatura
Multi-Protocol Integration : SECS/GEM at OPC-UA ay handa na para sa ASML/TEL/LAM tool integration 
Core Components & Operation
Komponente |
TEKNOLOHIYA |
Makinang pamamagitan |
Hermetic inverter compressor na may liquid slugging protection (±0. 1℃ control) |
Kondensador |
Stainless steel, <5% thermal loss |
Evaporator |
Disenyong plat-type, 35% mas mataas na epektibo, ≤55dB ingay |
Heater |
Tubig na direktang pagpainit, ±0.3℃ pagkakapareho |
Mga balbula ng pagpapalawak |
Babag na elektroniko na may ±1℃ kontrol ng sobrang init |
Bomba |
Pumpong Mag-drive (bersyon ng fluorinated fluid), <2% pagbabago ng daloy |
Prinsipyo ng Refrigerysyon
Adaptibong PID Refrigeration Cycle :
1️⃣ Pag-compress → Pagpapalakas ng presyon ng refrigerant
2️⃣ Pagkondensa → Pagpapawis ng init & paglilipat sa likido
3️⃣ EEV throttling → Paglikha ng mababang presyon
4️⃣ Pag-evaporate → Tumpak na pagkuha ng init mula sa kagamitan
5️⃣ Inverter flow control → Nagpapanatili ng ±0. 1℃ na katatagan
| Mga Parameter ng Produkto na VS100/407/020 | |||
| Modelo ng Produkto | VS100-W-32 | VS020-W-32 | VS407-W-33 |
| Paraan ng paglamig | Water-cooling | ||
| Mode ng Kontrol | Kontrol ng PID | ||
| Saklaw ng kontrol ng temperatura | -20℃~+80℃ | -40℃~+80℃ | |
| Katumpakan | ±0.1℃ | ||
| Kapasidad ng ref |
-20℃@2 KW -10℃@4 KW 0℃@6 KW 20℃@10 KW 80℃@10 KW |
-20℃@5 KW -10℃@10 KW 0℃@15 KW 20℃@25 KW 40℃@25 KW |
-40℃@6 KW -20℃@12 KW 0℃@25 KW 20℃@25 KW 40℃ @25 KW |
| Kapangyarihan | 3KW | ||
| Tank | 20L | 25L | |
| Dami ng daloy ng likidong sirkulasyon | 20L/min（0.75Mpa） | 20L/min(0.7Mpa) | |
| PCW na trapiko | 15L/min@15~25℃ | 30L/min@15~25℃ | 50 L/min@15~25℃ |
| Saklaw ng temperatura | 5~35℃ | ||
| Mga Uri ng Sirkulasyong Likido | Ethylene glycol mixture, pure water, fluorinated liquid | Malinaw na Tubig, Mikstura ng Ethylene Glycol, Purong Tubig, Fluorinated na Solusyon | Mikstura ng Ethylene Glycol, fluorinated na likido |
| Refrigerant | R410a | / | / |
| Interface ng circulating liquid | Rc3/4“ | ||
| Interface ng PCW | Rc1/2” | Rc3/4" | Rc1-1/4" |
| Panlabas na Sukat (mm) | 380W*900D*1300H | 420W*900D*1250H | 500W*1150D*1500H |
| Pinagmulan ng kuryente | 3Ph,208-220V,50Hz | 3Ph,208-220V,50Hz | 3Ph,380-400V,50Hz |
| Pwersa ng Makina | 8kw | 9.7KW | 14kw |
| net Weight | 200kg | 210KG | 360kg |
| Mga Pamantayan sa Disenyo | Semi | ||
