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三重チャンネル熱交換器
温度精度（アイドル時） ：±0.2 ℃
温度範囲 :
チャンネル1および2：+40°Cから+180°C
チャンネル3：+30°Cから+80°C
PIDアルゴリズムを備えた高度なPLC制御 実現する ±0.2℃精度の温度制御 プロセス流体の。このシステムは、重要な熱管理用途にわたって採用されています：
半導体製造装置
新エネルギー試験プラットフォーム
医療診断装置
産業用レーザーシステム
- 概要
- おすすめ製品
1.熱交換能力 :
チャンネル1および2：6 kW @+50°C / 21 kW @+100°C / 36 kW @+150°C
チャンネル3：16 kW @+70°C
本システムは3つの独立した温度制御回路を備えており、3方向バルブ（CH1&2）と2方向バルブ（CH3）によるPID制御を活用して、複数のプロセス流体に対して高精度かつ独立した熱管理を実現します。半導体製造、新エネルギー分野の試験、医療機器、産業用レーザーシステムなど、複雑な熱管理が求められる場面に最適です。
2. 技術仕様
リンヘン製トリプルサーキット熱交換器は、直感的な操作が可能な完全に中国語対応の7インチHMIタッチスクリーンを搭載しています。これにより、パラメータの明確な可視化、リアルタイムでの温度推移グラフ表示、5000件以上の故障履歴の保存が可能となり、操作性、監視、メンテナンス診断が容易になります。ユーザーインターフェースはカスタマイズ可能で、顧客の特定ニーズに対応できます。
通信には、Modbus-RTUプロトコルに準拠した標準的なRS485ポートを採用しています。出力流体温度（±0.2℃の精度）、装置の故障コード、リアルタイムの流量、システムステータスアラートなど、18以上の重要なデータポイントを確実に上位のSCADA／MESシステムに送信し、インテリジェントな監視と制御を実現します。
3. 主な利点
トリプルサーキット統合 ：1台の装置で3つの独立したプロセスループを同時に制御可能であり、装置の統合性と空間利用率を大幅に向上させます。
高効率プレート熱交換器 ：内部の乱流を最適化した銅ブレージング／ニッケルブレージングステンレス鋼製プレート熱交換器を採用しており、高い熱効率、低い汚損影響、そして秒単位の温度応答を実現します。
強力な熱伝達能力 ：コンプレッサー不要の設計により、チャンネル1および2で150°Cにおいて最大36kWの熱伝達が可能で、厳しい高温度・高負荷のプロセス要件に対応します。
高度な通信互換性 ：複数の産業用プロトコル（例：SECS/GEM、OPC UA）および標準Modbus-RTUをサポートしており、AMAT、LAM、TELなどの主要半導体製造装置とのプラグアンドプレイ方式による統合が可能です。
総合的な安全保護 ：レベル、流量、温度、圧力、漏れ検出などに対応する10種類以上の監視・保護機能（警告およびアラーム）を備えた多段階安全システムを採用し、装置およびプロセスの安全かつ安定した運転を確保します。
4. 従来型装置との原理比較
特徴 |
プレート式熱交換器（本製品） |
シェルアンドチューブ熱交換器 |
熱伝達駆動力 |
高ΔT勾配＋強力な乱流 |
主に温度差に依存 |
流路 |
多チャンネル並列流 |
単一パスの蛇行流 |
目詰まりの影響 |
低目詰まり抵抗 |
スケーリングしやすい |
温度応答 |
第2段階の規制 |
分単位での応答 |
密集性 |
コンパクトな構造で、単位体積あたりの表面積が大きい |
比較的大型 |
5. 主要仕様概要
処理流体 ：チャンネル1および2：JHT 270；チャンネル3：60％EGまたはDI水
タンク容量 ：各チャンネルごとに50Lの独立貯槽（CH3には18LのDIタンクを含む）
ヒーターのパワー : チャンネル1および2：12KW；チャンネル3：6KW
ポンプ : チャンネル1および2：磁気駆動ポンプ（可変周波数、2.2KW）；チャンネル3：水平遠心ポンプ（可変周波数、1.2KW）
安全装置 : 低／高液面警告、高／低温アラーム、流量異常、漏れ検出、EMO停止などに対応
通信インターフェース : RS485（Modbus-RTU）
電源 : 190–230 VAC、3相、50／60 Hz、定格出力36.1 KW、最大電流100.3A
全体寸法 : 約750–800 (W) x 900 (D) x 1350 (H) mm
認証/規格 : SEMI S2、F47に準拠 
| 熱交換 HPT030-W-32-2F2/W-R2-AN-ZW | |||||||
| チャンネル通路 | チャンネル通路 1 | チャンネル通路 2 | チャンネル通路 3 | ||||
| 温度範囲温度範囲 | +40°C から +180°C | +40°C から +180°C | +30°C から +80°C | ||||
| 流体流体 | JHT 270 | JHT 270 | 60% EG、DI水 | ||||
| タンク貯水槽 | 50 L | 50 L | 50 L | ||||
| 温度制御精度（（アイドル時）静的制御精度） | ± 0.2℃ | ± 0.2℃ | ± 0.2℃ | ||||
| 温度制御 温度制御方法 | 3方向弁PID制御 | 3方向弁PID制御 | 2方向弁PID制御 | ||||
| 熱交換器 熱交換器 | 冷却能力 熱交換 | 6 KW @+50°C 21 KW @+100°C 36 KW @+150°C | 6 KW @+50°C 21 KW @+100°C 36 KW @+150°C | 16 KW @+70°C | |||
| PCW 冷却水 | 15 LPM @15~25℃ | 15 LPM @15~25℃ | 15 LPM @15~25℃ | ||||
| 熱交換器 熱交換器の種類 | プレート熱交換器 銅ろう付けステンレス鋼製プレート交換 | プレート熱交換器 銅ろう付けステンレス鋼製プレート交換 | プレート熱交換器 ニッケル溶接ステンレス鋼製プレート交換 | ||||
| ヒーター ヒーター | 12 kW（4 kW × 3）または6 kW × 2） | 12 kW（4 kW × 3）または6 kW × 2） | 6 kW（3 kW × 2） | ||||
| DIタンク イオン交換装置 | NA | NA | 18 L | ||||
| ポンプ 水ポンプ | ポンプタイプ | 磁気駆動ポンプ（周波数変換） | 磁気駆動ポンプ（周波数変換） | 横型遠心ポンプ（インバータ制御） | |||
| 動力 | 2.2 KW, IE2 | 2.2 KW, IE2 | 1.2 kW | ||||
| ポンプ容量 | 30 LPM @0.5MPa | 30 LPM @0.5MPa | 20 LPM @0.5MPa | ||||
| 安全装置／設備の安全 | 警告（停止なし） | 1. 循環流体タンクの液面が低く、流体の補充が必要であることを示しています。 | リザーバー低液面警告 | ||||
| 2. 循環流体タンク内の液面が高くなっています。 | リザーバー高液面警告 | ||||||
| 3. 循環流体の温度が設定値に達していません。 | リザーバー低温警告 | ||||||
| 4. 循環流体の流量が顧客の設定値より低いです。 | 循環流体低流量警告 | ||||||
| 5. 循環流体の還流温度が規定値より高くなっています。 | 循環流体還流高温警告 | ||||||
| アラームアラーム（電源オフ） | 1. チャーシスに漏れがあります。 | 水漏れ検出 FLT | |||||
| 2. EMO非常停止 | EMO非常停止 FLT | ||||||
| 3. 電源の位相順序エラー | 位相異常エラー FLT | ||||||
| 4. 循環流体タンクの液面が低い | タンク低液面 FLT | ||||||
| 5. 循環流体タンクの過熱保護動作 | リザーバー高温 FLT | ||||||
| 6. 水ポンプ周波数変換器故障 | ポンプインバーター異常 FLT | ||||||
| 7. 水ポンプが高圧または低圧で連続運転中です。*(1.0 MPaを超える、または0.1 MPa未満) | ポンプ高圧／低圧 FLT | ||||||
| 8. 循環流体の流量が低下*(3L/分未満) | 循環流体リターン低流量 FLT | ||||||
| 9. 循環ポンプ回路ブレーカ保護 | ポンプブレーカートリップ FLT | ||||||
| 10. 循環流体の出口温度が規定値を超えた。 | 循環流体 高温 FLT | ||||||
| 11. 温度センサー不具合 | 温度センサー誤差 FLT | ||||||
| 配管サイズ 入出力寸法 | 流体媒体 | 戻る | Rc 3/4" x 2 | Rc 3/4" x 2 | Rc 3/4" x 2 | ||
| 電源 | Rc 3/4" x 2 | Rc 3/4" x 2 | Rc 3/4" x 2 | ||||
| PCW 冷却水 | 戻る | RC 1/2" | RC 1/2" | RC 1/2" | |||
| 電源 | RC 1/2" | RC 1/2" | RC 1/2" | ||||
| 乾燥空気 干燥空気 | 入り口 | φ6mm | |||||
| 電源接続 | コネクタ（メス） クローケーブル締結コネクタ 125A (3P+PE)（ケーブル端子 メス） 品番: TYP2719(125A/IP67) 締結式ケーブル固定プラグ（オス） クローケーブル締結プラグ 125A (3P+PE)（機器用オスコネクタ） 品番: TYP973(125A/IP67) | ||||||
| EMO AMP コネクタ定義 | EMO AMP 一般 4芯ソケット 206430-1（4ピン丸口） メスヘッド付き | AMP定義：ピン2、ピン3は緊急停止アラームです。 | |||||
| 底部オーバーフロートレイ排水 チャシス排水ポート | RC 1/2" プラグキャップ付き | ||||||
| 排水口 システム媒体用排水ポート | 1/2" ボールバルブ プラグキャップ付き | 1/2" ボールバルブ プラグキャップ付き | 1/2" ボールバルブ プラグキャップ付き | ||||
| 認証 認証および規格 | SEMI S2, F47 | ||||||
| インターフェース 通信 | RS 485 | ||||||
| 定格出力 定格電力 | 36.1 kW | ||||||
| 最大電流 | 100.3 A | ||||||
| 平均電流 | 36.3 A *このデータは、シミュレートされた循環流体温度を表します。@+25℃ 電気ヒーター出力比率：20％ | ||||||
| ブレーカー（成形ケース回路ブレーカー） | 125 A（シュナイダー EZD シリーズ） | ||||||
| 全体寸法 | 750～800 W * 900 D × 1350 H（暫定見積もり） | ||||||
| 電源 | 190～230 VAC、3相、50 Hz／60 Hz | ||||||
