트리플 채널 열교환기

1.열교환 용량 :

채널 1 및 2: +50°C에서 6kW / +100°C에서 21kW / +150°C에서 36kW

채널 3: +70°C에서 16kW

이 시스템은 세 개의 독립된 온도 제어 회로를 갖추고 있으며, 3방 밸브(CH1&2)와 2방 밸브(CH3)를 이용한 PID 제어를 통해 여러 공정 유체에 대해 고정밀의 독립적인 열 관리를 구현합니다. 반도체 제조, 신에너지 테스트, 의료 장비, 산업용 레이저 시스템과 같은 복잡한 열 관리 환경에 이상적으로 적용됩니다.

2. 기술 설명

링헝(Lingheng) 트리플 서킷 열교환기는 직관적인 전면 한글 인터페이스를 제공하는 7인치 HMI 터치스크린을 장착하고 있습니다. 이를 통해 명확한 파라미터 시각화, 실시간 온도 추세 그래프 표시, 5000건 이상의 고장 이력 저장이 가능하여 조작, 모니터링 및 정비 진단이 용이합니다. 사용자 인터페이스는 고객의 특정 요구사항에 맞게 완전히 맞춤 설정이 가능합니다.

통신을 위해 장치는 Modbus-RTU 프로토콜을 준수하는 표준 RS485 포트를 사용합니다. 이 장치는 출구 유체 온도(±0.2℃ 정확도), 장비 오류 코드, 실시간 유량, 시스템 상태 경보 등 18개 이상의 핵심 데이터 포인트를 신뢰성 있게 상위 SCADA/MES 시스템으로 전송하여 지능형 모니터링 및 제어를 지원합니다.

3. 주요 장점

삼중 회로 통합 : 하나의 장치가 세 개의 독립적인 공정 루프를 동시에 관리함으로써 장비 통합도 및 공간 활용률을 크게 향상시킵니다.

고효율 플레이트 열교환기 : 구리 브레이징/니켈 브레이징 스테인리스강 플레이트 열교환기를 채택하며, 내부 난류 흐름을 최적화하여 높은 열 효율, 낮은 오염 영향, 그리고 초 단위 온도 응답 속도를 제공합니다.

강력한 열전달 용량 : 압축기 없이 설계된 이 장치는 채널 1 및 채널 2에서 최대 36kW의 열전달 용량을 150°C 조건에서 제공하여 엄격한 고온·고부하 공정 요구사항을 충족합니다.

심층 통신 호환성 : AMAT, LAM, TEL 등의 주요 반도체 장비와의 플러그 앤 플레이 통합을 위해 표준 Modbus-RTU 외에도 다수의 산업용 프로토콜(SECS/GEM, OPC UA 등)을 지원합니다.

포괄적인 안전 보호 : 레벨, 유량, 온도, 압력 및 누출 감지에 이르는 10가지 이상의 모니터링 및 보호 기능(경보 및 알람)을 포함하는 다단계 안전 시스템을 채택하여 장비와 공정 모두의 안전하고 안정적인 운영을 보장합니다.

4. 기존 장비와의 원리 비교

5. 주요 사양 요약

공정 유체 : 채널 1 및 2: JHT 270; 채널 3: 60% EG 또는 DI Water

저장 탱크 용량 : 채널당 50L 독립형 리저버 (CH3은 18L DI 탱크 포함)

히터 파워 : 채널 1 및 2: 12KW; 채널 3: 6KW

펌프 : 채널 1 및 2: 자동 펌프(가변 주파수, 2.2KW); 채널 3: 수평 원심 펌프(가변 주파수, 1.2KW)

안전 장치 : 저/고수위 경고, 고/저온 알람, 유량 이상 감지, 누수 감지, EMO 정지 기능 등 포함

통신 인터페이스 : RS485(Modbus-RTU)

전원 공급 장치 : 190–230 VAC, 3상, 50/60 Hz, 정격 출력 36.1 KW, 최대 전류 100.3A

전체 치수 : 약 750–800 (W) x 900 (D) x 1350 (H) mm

인증/규격 : SEMI S2, F47 규격 준수