UPW Heater

Стабильность температуры : ±0,1 ℃

Диапазон температур : -20˚C～+80˚C

Мощность нагрева ：48 кВт-192 кВт

Модуль нагрева ультрачистой воды (UPW) , Предназначен для точного термоконтроля в критически важных процессах производства полупроводников, эта передовая система нагрева использует галогенные лампы, заключенные в кварцевую оболочку высокой чистоты, для бесконтактного нагрева, обеспечивая нулевое содержание металлических загрязнений.

Обзор
Рекомендуемые продукты

Область применения

Производства полупроводников : Очистка кремниевых пластин или композитных материалов

Индустрия литиевых батарей и солнечных фотоэлектрических панелей : Системы очистки производственных линий

Индустрия дисплейных панелей : Очистка стеклянных подложек ЖК-дисплеев

Экологичная альтернатива : Замена очистки на основе фреона на решения с использованием ультрачистой воды

Ключевые особенности

Строительство из высококачественных материалов

Нагревательные элементы из кварца высокой чистоты

Системы трубопроводов из фторопластов

Технология бесконтактного нагрева с галогенными лампами

Оптимизированный дизайн для экономии места

Сверхтонкий профиль минимизирует занимаемое пространство

Интеллектуальное управление температурой

Галогеновые лампы высокой мощности обеспечивают быстрый нагрев

Автоматическая регулировка температуры в зависимости от текущих изменений потока

Производительность и безопасность

≥95,8% эффективность нагрева

Комплексные меры безопасности с сигнализацией о:

Аномалиях потока

Перегреве

Защите от сухого хода

Обнаружение утечек

Неисправность датчика

Неисправности цепи нагревателя

Модель		SWH-48	SWH-72L	SWH-96L	SWH-144L	SWH-192L
Метод нагрева		Использование метода инфракрасного излучения для нагрева
Производительность	Мощность	48 кВт	72квт	96кв	144КВт	192кВт
	Стандартный расход (△T55℃)	12 л/мин	18 л/мин	24 л/мин	36 л/мин	48 л/мин
	Минимальная скорость потока при нагревании	4-6 л/мин			8-12 л/мин
	Диапазон заданной температуры	20-100℃
	Точность регулирования температуры	±1 ℃ (в зависимости от условий)
	Диапазон отображения потока	0-60 л/мин
Состав	Обогреватель	Галогенная лампа, косвенный метод нагрева без контакта с жидкостью
	Материал нагревателя	Высокочистый прозрачный кварц
	Контактные с жидкостью детали и материалы трубопровода	Высокочистый прозрачный кварц и трубка из высокочистого PFA
	Функция безопасности	Аномальный поток, высокая температура, перегрев, утечка, отключение датчика, перегорание галогеновой нити и т.д.
	Функция внешней связи	RS-232C, RS-485, Modbus TCP/IP
	Функция внешнего ввода/вывода	8 входов, 14 выходных сигналов
Другой	Внешние размеры ((мм)	450Ш900Г1625В	450Ш1000Г1725В	700Ш1000Г1725В	700Ш1000Г1850В	800Ш1000Г2000В
	Источник питания	AC 380V 50/60Hz трехфазный пятипроводной