Система обогрева двигателя

Техническое описание:

Применение обогреваемых курток :

1. Газопроводы

Опасные технологические газы :
Трихлорид бора (BCl₃), трифторид хлора (ClF₃), тетраэтилортосиликат (TEOS)
Дихлорсилан (DCS/SiH₂Cl₂), гексафторид вольфрама (WF₆)
Валидация процесса контроль точки росы и предотвращение конденсации в газовых линиях

2. Процессы химического осаждения из паровой фазы

Химическое осаждение из паровой фазы при пониженном давлении (LPCVD)
Плазмохимическое осаждение из паровой фазы (PECVD)
Функция: стабилизация температуры пара прекурсора (±1℃)

3. Травление металла

Систем плазменной гравировки :
Травление алюминия (химические составы Cl₂/BCl₃)
Травление вольфрама (смеси SF₆/WF₆)
Функция: Поддержание стабильности реакционной способности газа

Преимущества обогреваемой куртки:

Категория преимуществ	Технические характеристики
Контроль точности	±0,5 ℃ стабильность с помощью ПИД-регуляторов (сертифицировано по ISO 15805)
Обеспечение безопасности	Двойная система безопасности: • Термостат KSD30 • Тепловой предохранитель (соответствует IEC 60691)
Эко-изоляция	Слой изоляции без ПФС: • Потери тепла <5% (ISO 8301) • Корпус из нержавеющей стали
Умный мониторинг	Мониторинг тока в реальном времени: • Значения тока по зонам → HMI/SCADA • Ведение журналов данных по протоколу MODBUS-TCP

Контроллеры температуры PID

Система обогрева Heating Jacket использует ПИД-регуляторы температуры для точного терморегулирования, при этом каждый регулятор работает на отдельном сегменте шины RS485 с уникальной сетевой адресацией. Эти ПИД-модули функционируют как автономные модули управления, так и как интегрированные узлы в составе распределенной сетевой архитектуры. Используя протокол Modbus RTU через интерфейсы RS485, все контроллеры обмениваются данными с центральным шкафом управления HMI в обоих направлениях, обеспечивая синхронизированное управление температурой в нескольких зонах и агрегацию данных в реальном времени без необходимости использования центрального ПЛК.

Панель управления hmi

Установка утепленных грязевых рубашек и ПИД-регуляторов температуры на вакуумные или газовые трубопроводы является относительно децентрализованной, что делает невозможным эффективный контроль температуры и состояния всех нагревательных рубашек в режиме реального времени. Для обеспечения мониторинга состояния всех нагревательных рубашек в режиме реального времени мы внедрили панель управления HMI, объединяющую все нагревательные рубашки в единую платформу, обеспечивая централизованный контроль и управление коммуникациями.

Система централизованного мониторинга

Все интерфейсы — включая экраны мониторинга, дисплеи текущих аварийных сигналов, журналы исторических аварийных сигналов, записи событий, диаграммы анализа тенденций и формы отчетов — могут быть настроены на главной системе (с использованием SCADA-платформ, таких как InTouch или iFix) для комплексного мониторинга системы нагревательных рубашек.