EN
Одноканальные чиллеры
Стабильность температуры : ±0,1 ℃
Диапазон температур : -40 ˚C～+80 ˚C
Мощность охлаждения : -40 ℃@6 кВт/20 ℃@25 кВт
Показывая инверторное регулирование температуры , эта система повышает энергоэффективность и снижает потребление электроэнергии. Обеспечивает ±0,1 ℃ стабильность для применений, критичных к точности, включая:
Инструменты для травления полупроводников и CMP (химико-механическая полировка)
Лабораторные приборы и высокоточное испытательное оборудование
Эстетические медицинские устройства и твердотельные лазеры
Системы контроля температуры пресс-форм
- Обзор
- Рекомендуемые продукты
Техническое описание:
Lingheng Одноканальные чиллеры обеспечивают целевое тепловое управление благодаря интегрированной компактной конструкции.
Спроектировано для точное охлаждение автономного оборудования , наши устройства оснащены ПИД-регулированием ±0,1℃ и
инверторным компрессором для критически важных приложений, включая:
Средства измерения для производства полупроводников
Лазерные технологические системы
Медицинские анализаторы
Стенды для испытаний
Изолированный гидроконтур предотвращает перекрестное загрязнение, а конструкция без использования ПХВ снижает затраты на установку на 30%.
Ключевые преимущества:
Криогенное совершенство : Работает при -40℃ с временем перехода температуры менее 3 минут
Циркуляция без потерь : Трубопроводы с лазерной сваркой и годовыми потерями жидкости менее 0,1%
Эффективность инвертора : Экономия энергии на 35% по сравнению с моделями с фиксированной скоростью (по сертификату SEMI S23)
Динамическое регулирование температуры : Скорость изменения температуры ±5℃/мин
Интеграция нескольких протоколов : SECS/GEM и OPC-UA готовы для интеграции с оборудованием ASML/TEL/LAM 
Основные компоненты и работа
Компонент |
ТЕХНОЛОГИЯ |
Компрессор |
Герметичный инверторный компрессор с защитой от гидроудара (±0. 1контроль ℃) |
Конденсатор |
Нержавеющая сталь, <5% потерь тепла |
Испаритель |
Пластинчатая конструкция, на 35% более высокая эффективность, уровень шума ≤55 дБ |
Обогреватель |
Погружной прямой нагрев, однородность ±0,3 ℃ |
Расширительный клапан |
Электронный клапан с контролем перегрева ±1 ℃ |
Насос |
Магнитоприводной насос (версия с фторированным теплоносителем), колебание потока <2% |
Принцип охлаждения
Адаптивный рефрижераторный цикл PID :
1️⃣ Сжатие → Повышение давления хладагента
2️⃣ Конденсация → Отвод тепла и сжижение
3️⃣ Дросселирование EEV → Генерация низкого давления
4️⃣ Испарение → Точное поглощение тепла от оборудования
5️⃣ Регулирование потока инвертора → Поддерживает ±0. 1℃ стабильность
| Параметры продукта VS100/407/020 | |||
| Модель продукта | VS100-W-32 | VS020-W-32 | VS407-W-33 |
| Метод охлаждения | Водяное охлаждение | ||
| Режим Управления | ПИД-регулирование | ||
| Диапазон регулирования температуры | -20℃~+80℃ | -40℃~+80℃ | |
| Прецизионный | ±0.1℃ | ||
| Холодопроизводительность |
-20℃@2 кВт -10℃@4 кВт 0℃@6 кВт 20℃@10 кВт 80℃@10 кВт |
-20℃@5 кВт -10℃@10 кВт 0℃@15 кВт 20℃@25 кВт 40℃@25 кВт |
-40℃@6 кВт -20℃@12 кВт 0℃@25 кВт 20℃@25 кВт 40℃@25 кВт |
| Мощность | 3КВт | ||
| Танк | 20л | 25Л | |
| Расход циркулирующей жидкости | 20 л/мин (0,75 МПа) | 20 л/мин (0,7 МПа) | |
| PCW Трафик | 15 л/мин @ 15~25 ℃ | 30 л/мин @ 15~25 °C | 50 л/мин @ 15~25 °C |
| Диапазон температур | 5~35℃ | ||
| Типы циркулирующей жидкости | Смесь этиленгликоля, чистая вода, фторированная жидкость | Чистая вода, смесь этиленгликоля, чистая вода, фторированная жидкость | Смесь этиленгликоля, фторированная жидкость |
| Хладагент | R410a | / | / |
| Интерфейс циркулирующей жидкости | Rc3/4“ | ||
| Интерфейс PCW | Rc1/2” | Rc3/4" | Rc1-1/4" |
| Габаритные размеры (мм) | 380W*900D*1300H | 420W*900D*1250H | 500W*1150D*1500H |
| Входное питание | 3Ph,208-220V,50Hz | 3Ph,208-220V,50Hz | 3Ph,380-400В,50Гц |
| Мощность машины | 8КВт | 9.7КВт | 14 кВт |
| вес без упаковки | 200КГ | 210КГ | 360кг |
| Стандарты проектирования | Полу | ||
