Двухканальные чиллеры

Стабильность температуры : ±0,1 ℃

Диапазон температур : -20 ˚C～+80 ˚C

Мощность охлаждения : -20 ℃@2 кВт/20 ℃@10 кВт

Двухконтурная система точного охлаждения обеспечивает производительность двух независимых чиллеров в одном блоке. Обеспечивает стабильность ±0,1 °C на контур для критически важных полупроводниковых применений:

Контроль температуры инструментов PVD/CVD

Термоуправление процесса травления
Проверенная совместимость в промышленности с оборудованием AMAT, LAM, AMEC, TEL и другими ведущими производителями Fab.

Обзор
Рекомендуемые продукты

Техническое описание:

Чиллеры Lingheng с двумя контурами предоставляют два независимых контура управления температурой в одном устройстве.
Показывая стабильность ±0,1 °C на контур , эти системы разработаны для:

Синхронизированного охлаждения камер PVD/CVD

Управления температурными зонами в инструментах для травления
Благодаря на 40% меньшему занимаемому пространству и доказанной совместимости (AMAT/LAM/TEL) они определяют новое понятие эффективного охлаждения с учетом пространственных ограничений.

Ключевые преимущества:

Двухв одном Эффективность
» Заменяет два чиллера независимыми контурами
→ На 40% экономия пространства в чистой комнате + снижение капитальных затрат на 30%

Точное Двойное Управление
» Стабильность ±0,1°С на контур (ΔT<0, 2℃)
→ Обеспечивает <3% вариацию толщины пленки в CVD/PVD

Готовая Интеграция в Fab
» Предустановленные протоколы AMAT/LAM/TEL
→ 90% совместимость с оборудованием 300 мм, на 65% меньше простоев

Энергетический TwinDrive™
» На 35% меньшее энергопотребление по сравнению с традиционными моделями
→ Сертифицирован по стандарту SEMI S23, экономия свыше 18 000 долларов США в год

Отсутствие перекрестного загрязнения
» Настраиваемые пути потока + Соединения с лазерной сваркой
→ Совместимость с UPW/фторорганической жидкостью/EGW

结构图.png

Основные компоненты и принцип работы:

Компонент	ТЕХНОЛОГИЯ
Компрессор	Герметичный инверторный компрессор с защитой от гидроудара (±0. 1контроль ℃)
Конденсатор	Нержавеющая сталь, <5% потерь тепла
Испаритель	Пластинчатая конструкция, на 35% более высокая эффективность, уровень шума ≤55 дБ
Обогреватель	Погружной прямой нагрев, однородность ±0,3 ℃
Расширительный клапан	Электронный клапан с контролем перегрева ±1 ℃
Насос	Магнитоприводной насос (версия с фторированным теплоносителем), колебание потока <2%

Принцип охлаждения:

Адаптивный рефрижераторный цикл PID :
1️⃣ Сжатие → Повышение давления хладагента
2️⃣ Конденсация → Отвод тепла и сжижение
3️⃣ Дросселирование EEV → Генерация низкого давления
4️⃣ Испарение → Точное поглощение тепла от оборудования
5️⃣ Регулирование потока инвертора → Поддерживает ±0. 1℃ стабильность

Параметры продукта VD100
Модель продукта	VD100-W-32
Метод охлаждения	Водяное охлаждение
Режим Управления	ПИД-регулирование
Диапазон регулирования температуры	-20℃~+80℃
Прецизионный	±0.1℃
Холодопроизводительность	CH1/ CH2: -20℃@2 кВт - 10℃@4 кВт 0℃@6 кВт 20℃@10 кВт 80℃@10 кВт


Мощность	CH1:3кВт CH2:3кВт


Танк	CH1: 20 л CH2: 20 л


Расход циркулирующей жидкости	CH1:20 л/мин（0,75 МПа） CH2:20 л/мин (0,75 МПа)


PCW Трафик	CH1: 15 л/мин при 15~25 °C CH2: 15 л/мин при 15~25 °C
Диапазон температур	5~35℃
Типы циркулирующей жидкости	Смесь этиленгликоля, чистая вода, фторированная жидкость
Хладагент	R410a
Интерфейс циркулирующей жидкости	Rc3/4“ x 2
Интерфейс PCW	Rc1/2” x 2
Габаритные размеры (мм)	600W920D1300H
Входное питание	3Ph,208-220V,50Hz
Мощность машины	16КВт
вес без упаковки	350 кг
Стандарты проектирования	Полу