Трехканальные чиллеры

Стабильность температуры : ±0,1 ℃

Диапазон температур : -40˚C～+80˚C

Мощность охлаждения : -40℃@6 кВт /20℃@25 кВт
Промышленный компрессорный чиллер оснащенный компрессорами премиум-бренда для исключительной стабильности. Обеспечивает ±0,1 ℃ стабильность температуры на выходе для критически важных применений, включая:

Охлаждение оборудования для фотолитографии/травления

Термоуправление инструментов PVD/CVD

Контроль температуры химических и фармацевтических реакторов

Охлаждение фармацевтических процессов, соответствующее требованиям GMP

Обзор
Рекомендуемые продукты

Техническое описание:

Трехконтурные чиллеры Lingheng обеспечивают точное охлаждение многократной нагрузки (±0,1 ℃) в одном устройстве. Благодаря настраиваемым выходам для стабильной среды, они обеспечивают:
✅ УМНЫЙ КОНТРОЛЬ : Запланированная операция, автоматическая компенсация, самодиагностика
✅ Тройная безопасность : Сигнализация перегрева/перегрузки/недостатка воды
✅ Промышленная связь : Вход/выход, RS232/RS485, Ethernet/IP
Разработаны для полупроводниковых модульных станков и производственных линий PV с экономией энергии на 30%.

原理图5-英.png

Ключевые преимущества:

Интеграция TripleSync™
» 3 независимые цепи в одном шасси
→ Сокращение площади чистого помещения на 55%

Точность кластерного класса
» Стабильность ±0,1 ℃ с градиентом между цепями менее ±0,03 ℃
→ Обеспечивает синхронизацию процессов в нескольких камерах

Динамическое распределение нагрузки
» Интеллектуальное распределение охлаждения (общая мощность 30 кВт)
→ Экономия энергии на переменных нагрузках на 28%

Совместимость с несколькими инструментами
» Подключение «вилка-розетка» с кластерными инструментами ASML/AMAT/TEL
→ Поддержка фабрик с пластинами диаметром 300 мм и производственных линий PV TOPCon

Ультрачистая титановая экосистема
» Настраиваемые пути потока с модульным уплотнением
→ <0,1 пк/мл остаточного содержания жидкости (соответствует классу 10)

结构图.png

Основные компоненты и принцип работы:

Компонент	ТЕХНОЛОГИЯ
Компрессор	Герметичный инверторный компрессор с защитой от гидроудара (±0. 1контроль ℃)
Конденсатор	Нержавеющая сталь, <5% потерь тепла
Испаритель	Пластинчатая конструкция, на 35% более высокая эффективность, уровень шума ≤55 дБ
Обогреватель	Погружной прямой нагрев, однородность ±0,3 ℃
Расширительный клапан	Электронный клапан с контролем перегрева ±1 ℃
Насос	Магнитоприводной насос (версия с фторированным теплоносителем), колебание потока <2%

Принцип охлаждения:

Адаптивный рефрижераторный цикл PID :
1️⃣ Сжатие → Повышение давления хладагента
2️⃣ Конденсация → Отвод тепла и сжижение
3️⃣ Дросселирование EEV → Генерация низкого давления
4️⃣ Испарение → Точное поглощение тепла от оборудования
5️⃣ Регулирование потока инвертора → Поддерживает ±0. 1℃ стабильность

Параметры продукта VT410
Название продукта	Чиллер
Модель продукта	VT410-W-33
Метод охлаждения	Водяное охлаждение
Режим Управления	ПИД-регулирование
Диапазон регулирования температуры	CH1:-45~+60℃

	CH2:+30~+90℃

	CH3:+10~+55℃
Прецизионный	±0.1℃
Мощность охлаждения	CH1:6 кВт@-40°C

	CH2:30 кВт@+30°C

	CH3:28 кВт при +20℃
Мощность	CH1:4 кВт

	CH2:14 кВт

	CH3:4 кВт
Танк	CH1 / CH2 общий расширительный бак 30 л + бак горячей воды 25 л
Поток циркулирующей жидкости	CH1:17 л/мин при 0,9 МПа

	CH2:17 л/мин при 0,9 МПа

	CH3:25 л/мин при 0,76 МПа
PCW Трафик	CH1: 50 л/мин при 15~25℃ при 0,3 МПа

	CH2: 20 л/мин @15~25℃@0,3 МПа

	CH3: 50 л/мин @15~25℃@0,3 МПа
Диапазон температур	5~35 ℃
Тип циркулирующей жидкости	FC3283
Интерфейс циркулирующей жидкости	CH1/CH2/CH3: Rc 3/4"
Интерфейс PCW	CH1/CH2/CH3: Rc1"
Внешние размеры (мм)	600W1370D2000H
Входное питание	3Ph,380-400В,50Гц
Мощность всей машины	41,1 кВт
Вес без упаковки	600 кг
Стандарты проектирования	Полу