Чиллеры на диоксиде углерода (CO2)

Стабильность температуры : ±0,1 ℃

Диапазон температур : -20 ˚C～+80 ˚C

Мощность охлаждения : -20 ℃@2 кВт/20 ℃@10 кВт

Обеспечивает точный тепловой контроль с помощью компактных чиллеров с компрессором для :

Изготовление и тестирование полупроводниковых пластин

Проверка аккумуляторов и электродвигателей в новых энергетических системах

Охлаждение прецизионного оборудования

Специфические воздушные охлаждающие системы

Обзор
Рекомендуемые продукты

Техническое описание:

Lingheng CO₂ Ultra-Clean Chiller
Использование природный хладагент (GWP=1, ODP=0) чтобы обеспечить прецизионный тепловой контроль ±0,1℃ для передовых полупроводниковых процессов. Обеспечивает широкий диапазон работы от -40℃ до +100℃ с использованием транскритического цикла, совместим с критически важными приложениями:

Фотолитография

Гравировка

Атомно-слоевое осаждение (ALD)
Полностью герметичный потоковый тракт соответствует стандартам чистых помещений класса 100, в то время как Конструкция без использования фторсодержащих газов минимизирует воздействие углеродного налога — обеспечивая одновременно высокое качество процесса и соответствие ESG-требованиям.

co2泵.png CO2冷却.png

Ключевые преимущества:

Экологическая устойчивость:

GWP=1 - Полностью соответствует глобальным климатическим целям, снижает воздействие углеродного налога

Естественный хладагент - Устранение требований по восстановлению/утилизации фторсодержащих газов

Нулевой ПОВ - Соответствует международным нормативам (например, Поправка Киали)

Техническое превосходство:

±0,1℃ точность контроля - Поддержка передовых техпроцессов (TSMC 5 нм, совместимость с отказом от фторсодержащих хладагентов)

Работа без загрязнения - Остаток CO₂ <1 ч./млрд., сертифицирован для чистых помещений класса 1000

на 30% выше COP - Технология инвертора транскритического цикла (подтверждено относительно базового уровня LIAT 1.0)

Показатели безопасности:

Безопасный и негорючий - Исключает риски утечки фторированных хладагентов

Снижение риска на производстве - На 68% более низкий индекс экологической опасности (по SEMI S10)

Основные компоненты и принцип работы:

Компонент	ТЕХНОЛОГИЯ
Компрессор	Герметичный инверторный компрессор с защитой от гидроудара (управление ±0,5℃)
Конденсатор	Нержавеющая сталь, <5% потерь тепла
Испаритель	Пластинчатый теплообменник из титана, эффективность на 35% выше, уровень шума ≤55 дБ
Обогреватель	Погружной прямой нагрев, однородность ±0,3 ℃
Расширительный клапан	Электронный клапан с контролем перегрева ±1 ℃
Насос	Магнитоприводной насос (версия с фторированным теплоносителем), колебание потока <2%

流程图.png

Принцип охлаждения:

1. Сжатие → Повышение давления хладагента
2. Конденсация → Отвод тепла и сжижение
3. Дросселирование EEV → Образование низкодавленческого тумана
4. Испарение → Точное поглощение тепла от оборудования
5. Инверторное регулирование потока → Поддерживает ±0. 1℃ стабильность

GVS系列简图_英.png

Параметры продукта GVS010		Параметры продукта GVS405
Модель продукта	GVS010-W-32F	GVS405-W-32F	GVD010-W-32F
Метод охлаждения	Типы охлаждения с водяным охлаждением
Режим Управления	ПИД-регулирование
Диапазон регулирования температуры	-20℃~+90℃	-40℃~+90℃	от −20 °C до +90 °C
Прецизионный	±0.1℃
Холодопроизводительность	-20℃@2 кВт -10℃@4 кВт 0℃@6 кВт 20℃@10 кВт 80℃@10 кВт	-40℃@4кВт	4 кВт при −10 °C 10 кВт при +20 °C


Мощность	3КВт		3КВт
Танк	20л		20л
Расход циркулирующей жидкости	20 л/мин (0,75 МПа)	20 л/мин (0,5 МПа)	20 л/мин (0,7 МПа)
PCW Трафик	15 л/мин @ 15~25 ℃		15 л/мин при 15–25 °C и давлении 0,3–0,4 МПа
Диапазон температур	5~35℃
Типы циркулирующей жидкости	Смесь этиленгликоля, чистая вода, фторированное решение


Хладагент	R744 (CO2)
Интерфейс циркулирующей жидкости	Rc3/4”
Интерфейс PCW	Rc1/2”	Rc1–1/4″	Rc1/2”
Габаритные размеры (мм)	380W900D1250H	500 Вт × 1160 Д × 1650 В	600 Ш × 900 Г × 1300 В (мм)
Входное питание	3Ph,208-220V,50Hz		трёхфазное, 208–220 В, 50/60 Гц
Мощность машины	8КВт		15,4 кВт
вес без упаковки	200КГ
Стандарты проектирования	Полу	Полу	SEMI S2, F47