EN
Чиллеры на диоксиде углерода (CO2)
Стабильность температуры : ±0,1 ℃
Диапазон температур : -20 ˚C～+80 ˚C
Мощность охлаждения : -20 ℃@2 кВт/20 ℃@10 кВт
Обеспечивает точный тепловой контроль с помощью компактных чиллеров с компрессором для :
Изготовление и тестирование полупроводниковых пластин
Проверка аккумуляторов и электродвигателей в новых энергетических системах
Охлаждение прецизионного оборудования
Специфические воздушные охлаждающие системы
- Обзор
- Рекомендуемые продукты
Техническое описание:
Lingheng CO₂ Ultra-Clean Chiller
Использование природный хладагент (GWP=1, ODP=0) чтобы обеспечить прецизионный тепловой контроль ±0,1℃ для передовых полупроводниковых процессов. Обеспечивает широкий диапазон работы от -40℃ до +100℃ с использованием транскритического цикла, совместим с критически важными приложениями:
Фотолитография
Гравировка
Атомно-слоевое осаждение (ALD)
Полностью герметичный потоковый тракт соответствует стандартам чистых помещений класса 100, в то время как Конструкция без использования фторсодержащих газов минимизирует воздействие углеродного налога — обеспечивая одновременно высокое качество процесса и соответствие ESG-требованиям.
Ключевые преимущества:
Экологическая устойчивость:
GWP=1 - Полностью соответствует глобальным климатическим целям, снижает воздействие углеродного налога
Естественный хладагент - Устранение требований по восстановлению/утилизации фторсодержащих газов
Нулевой ПОВ - Соответствует международным нормативам (например, Поправка Киали)
±0,1℃ точность контроля - Поддержка передовых техпроцессов (TSMC 5 нм, совместимость с отказом от фторсодержащих хладагентов)
Работа без загрязнения - Остаток CO₂ <1 ч./млрд., сертифицирован для чистых помещений класса 1000
на 30% выше COP - Технология инвертора транскритического цикла (подтверждено относительно базового уровня LIAT 1.0)
Показатели безопасности:
Безопасный и негорючий - Исключает риски утечки фторированных хладагентов
Снижение риска на производстве - На 68% более низкий индекс экологической опасности (по SEMI S10)
Основные компоненты и принцип работы:
Компонент |
ТЕХНОЛОГИЯ |
Компрессор |
Герметичный инверторный компрессор с защитой от гидроудара (управление ±0,5℃) |
Конденсатор |
Нержавеющая сталь, <5% потерь тепла |
Испаритель |
Пластинчатый теплообменник из титана, эффективность на 35% выше, уровень шума ≤55 дБ |
Обогреватель |
Погружной прямой нагрев, однородность ±0,3 ℃ |
Расширительный клапан |
Электронный клапан с контролем перегрева ±1 ℃ |
Насос |
Магнитоприводной насос (версия с фторированным теплоносителем), колебание потока <2% |
Принцип охлаждения:
1. Сжатие → Повышение давления хладагента
2. Конденсация → Отвод тепла и сжижение
3. Дросселирование EEV → Образование низкодавленческого тумана
4. Испарение → Точное поглощение тепла от оборудования
5. Инверторное регулирование потока → Поддерживает ±0. 1℃ стабильность
| Параметры продукта GVS010 | |
| Модель продукта | GVS010-W-32F |
| Метод охлаждения | Типы охлаждения с водяным охлаждением |
| Режим Управления | ПИД-регулирование |
| Диапазон регулирования температуры | -20℃~+80℃ |
| Прецизионный | ±0.1℃ |
| Холодопроизводительность |
-20℃@2 кВт -10℃@4 кВт 0℃@6 кВт 20℃@10 кВт 80℃@10 кВт |
| Мощность | 3КВт |
| Танк | 20л |
| Расход циркулирующей жидкости | 20 л/мин (0,75 МПа) |
| PCW Трафик | 15 л/мин @ 15~25 ℃ |
| Диапазон температур | 5~35℃ |
| Типы циркулирующей жидкости | Смесь этиленгликоля, чистая вода, фторированное решение |
| Хладагент | R744 (CO2) |
| Интерфейс циркулирующей жидкости | Rc3/4” |
| Интерфейс PCW | Rc1/2” |
| Габаритные размеры (мм) | 380W*900D*1250H |
| Входное питание | 3Ph,208-220V,50Hz |
| Мощность машины | 8КВт |
| вес без упаковки | 200КГ |
| Стандарты проектирования | Полу |
