EN
CO2 kylniefni
Hitastöðugleiki : ±0,1℃
Temperatúrubreið : -20˚C～+80˚C
Kælingarþétt : -20℃@2 KW/20℃@10 KW
Veitir nákvæma hitastýringu með þéttum kæliröðum fyrir :
Framleiðslu og prófanir á hálfleiðarafrísplötum
Staðfesting á nýja orkugjöfum (batteri/orkuverkvangi)
Kæling á nákvæmum tækjum
Próf á sérstökum loftkölnunaraðferðum
- Yfirlit
- Málvirkar vörur
Tækni útskýring:
Lingheng CO₂ Ytra Hrein Kæliskýla
Nýting náttúrulegt kæliefni (GWP=1, ODP=0) og veita ±0,1°C nákvæm hitastýring fyrir háþróaðar hálfleiðaraferli. Gerir kleift -40°C til +100°C víðspækt rekstri í gegnum transcritical cyklatækni, samhverf við geimsvæði:
Ljóþvottur
Eiturfræði
Atomic Layer Deposition (ALD)
Fullur lokuður straumvegur uppfyllir staðla fyrir hreinsalur 100, á meðan Eg-ósérhæf hönnun minnkar kolletaxaframlög — nákvæmlega bæði háttur í framleiðslu og í samræmi við ESG-reglur.
Lykilsávinningar:
Umhverfisvænt:
GWP=1 - Fullur samræmdur við alþjóðlegar loftslagsmarkmið, minnkar kolletaxaframlög
Náttúrulegt kæliefni - Æskir ekki endurheimtu/afléttingu á flúorðum garði
Núll ODP - Í samræmi við alþjóðlegar reglur (t.d. Kigali-bætingin)
±0,1℃ nákvæmni í stýringu - Gerir mögulegt að ná í háþróaðar tæknur (TSMC 5nm flúorð kæliefni útrýmingu í samræmi við reglur)
Aðgerð án áverka - CO₂ leif <1 ppb, vottað fyrir hreinsalurum af flokki 1000
30% hærri C.O.P. - Yfirheitiskt snúningstæki (staðfest með tilliti til LIAT 1.0 grundvallarlags)
Öryggisafköst:
Óhætt og óbrauðsamt - Fjarlægir áhættu við leka á flúraðum köldumefni
Minnkun á framleiðsluáhættu - 68% lægri umhverfisáhættustuðull (samkvæmt SEMI S10)
Kjarnahópar og starfsemi:
Svið |
TEKNÓLOGI |
Þjöppun |
Herkönnuður þjappa við vatnsskemmdarvernd (stýring á hitastig ±0,5℃) |
Samþættingaraust |
Rústfríur stáll, <5% heitagetra |
Þýðir |
Títaínplötu gerð, 35% hærri hagnýti, ≤55dB háðni |
Hitastofa |
Beinheitun undir heitu, ±0,3℃ jafnvægi |
Þrýstingssnúningur |
Rafmagnsþrýstingur með ±1℃ stýringu á hita |
Púska |
Mag-drive dæla (útfærsla með flúraðri vökvi), <2% straumsviðrýming |
Kæliferli:
1. Þrýstingur → Þrýstingur á kæliefni
2. Þéttun → Hitaspurning og vökvaformun
3. EEV stranglun → Mylgjuhugmyndun við lágþrýsting
4. Uppþymlun → Nákvæm hitaeyðing frá tæki
5. Rafstýrð rásstýring → Heldur á ±0. 1℃ stöðugleika
| GVS010 vöru eiginleikar | GVS405 vöruparametrar | ||
| Vöru líkan | GVS010-W-32F | GVS405-W-32F | GVD010-W-32F |
| Kælingaraðferð |
Kælingarkerfi með vatn |
||
| Stjórnunar mód |
PID stjórn |
||
| Hitastjórnunarstuðull | -20℃~+90℃ | -40℃~+90℃ | –20°C til +90°C |
| Nákvæmni |
±0.1℃ |
||
| Kælifærni |
-20℃@2 KW -10℃@4 KW 0℃@6 KW 20℃@10 KW 80℃@10 KW |
-40℃@4KW |
4 kW við –10°C 10 kW við +20°C |
| Aflið | 3kw | 3kw | |
| Tangi | 20L | 20L | |
| Umlóðarvökvi | 20L/min（0.75Mpa） | 20 L/mín (0,5 MPa) | 20 L/mín (0,7 MPa) |
| PCW umferð | 15L/min@15~25℃ | 15 L/mín við 15–25 °C og 0,3–0,4 MPa | |
| Temperatúrubreið | 5~35℃ | ||
| Tegundir hnigandi vökva | Blanda af etyglikól, hreint vatn, flúrað lausn | ||
| Kölnustofn | R744（CO2） | ||
| Viðmót fyrir hnigandi vökvann |
Rc3/4” |
||
| PCW viðmót | Rc1/2” | Rc1-1/4" | Rc1/2” |
| Ytri víddir (mm) | 380W*900D*1250H | 500 W × 1160 D × 1650 H |
600 B × 900 D × 1300 H (mm) |
| Inngangur af støðu | 3Ph,208-220V,50Hz | 3 fasa, 208–220 V, 50/60 Hz | |
| Virkja vél | 8KW | 15,4 kW | |
| nettvætt | 200kg | ||
| Hönnunarstaðlar | SEMI | SEMI | SEMI S2, F47 |
