EN
UPW Hitari
Hitastöðugleiki : ±0,1℃
Temperatúrubreið : -20˚C～+80˚C
Hitaafl ：48KW-192KW
Hreinleika vatn (UPW) Hitastillingarhluti , Fyrir nákvæma hitastýringu í lykilferlum í framleiðslu hálfleiðara, notar þetta ítarlega hitastillingarkerfi háhreint kvarts-umhverfis halgenlampa til að hita án snertingar og tryggja þannig núllmetallmengun.
- Yfirlit
- Málvirkar vörur
UMFAÐUR ÞÉTTA
Framleiðsla hlutafalls : Hreinsun á silíkónskífur eða samsetjum efnum
Lítíum batterí og sólhlöðuvélaveitanir : Hreinsunarkerfi fyrir framleiðslulínur
Skjáborðaframleiðsla : Hreinsun á LCD gluggaefnum
Umhverfisvænur kostur : Skiptir út freón-bundinni hreinsun með últraprímuðum vatnslausnum
Helstu einkenni
Fyrirferðarmikil efni bygging
Háhreinheitarkvarts hitareyði
Flúorharðbitapípulagnir
Hálgjarafur án snertingar notar bleikimplasttækni
Rýmisvæða hönnun
Yfirágandi smáleifar gerir rýmisnotkun að lágmarki
Intelligent Temperature Control
Háafköst bleikimplögg leyfa fljóta hitun
Sjálfvirk hitastigastýring byggð á rauntímastraumsviðri
Afköst og Öryggi
≥95,8% hitunareiðlæti
Öll öryggisákvæði með viðvörunarkerfi fyrir:
Aðstæður óvenjulegs straums
Ofurhitastig
Vernda gegn ofurhitun
Leitra að leka
Villa í nemi
Villa í heitakring
| Líkan | SWH-48 | SWH-72L | SWH-96L | SWH-144L | SWH-192L | |
| Hitunartegund | Notar hita með frágeisla | |||||
| Framkvæmdir | Aflið | 48kw | 72KW | 96kW | 144kW | 192 kW |
| Venjulegur uppsveifni (△T55℃) | 12LPM | 18LPM | 24LPM | 36LPM | 48LPM | |
| Lágmarks uppsveifni fyrir hitun | 4-6LPM | 8-12LPM | ||||
| Stilla hitastigssvið | 20-100℃ | |||||
| Nákvæmni yfirvöku á hiti | ±1℃(Eftir aðstæður) | |||||
| Sýni á flæði | 0-60LPM | |||||
| Samsetning | Hitastofa | Halogeinskima, óbein hitunaraðferð án snertingar við vökvi | ||||
| Hitar efni | Hreint gegnsætt kvars | |||||
| Háð samskipti og hlutum í vökva og rörum | Háreinheit kvarts og háreinheit PFA-rör | |||||
| Öryggisviðbrögð falla í gegn | Óvenjulegur straumur, há hitastig, þurrkur, leka, aðskilnaður ásensara, halógen lampaþráður, o.fl. | |||||
| Ytri samskiptafall | RS-232C, RS-485, Modbus TCP/IP | |||||
| Ytri inntak/úttaf fall | 8 inntak, 14 úttak merki | |||||
| Annað | Ytri stærðir(mm) | 450B*900D *1625H | 450B*1000D *1725H | 700B*1000D *1725H | 700B*1000D *1850H | 800B*1000D *2000H |
| Virkjunarsupply | AC 380V 50/60Hz þrefasa fimm víra | |||||
