EN
Hitunautafatningur kerfi
Hitastöðugleiki : ±0. 5℃
Þetta vörur hefur eftirfarandi efni til að velja úr samkvæmt raunverulegum þörfum:
Silikóni skýja Materical
Full PTFE Efni
PTFE Húðefni Efni
Útvíkkað PTFE Efni
- Yfirlit
- Málvirkar vörur
Tækni útskýring:
Hittingarsýslu kerfið heldur nákvæmlega á hitastigi í tæmingar/gasleiðslu
rörum í framfarinum framleiðsluferli. Hún er sérsniðin fyrir sérstæðar kröfur
bransans, kemur í veg fyrir ófullnægjandi kondens í hlutverk og aflegrun
á innri röruveggjum - sem er mikilvægt til að koma í veg fyrir straumsherneiðingu og eyðslu
afleiðsluorku í tæmingar/afleiðslu kerfum á halvleiðara tæki. Samanstendur af þremur helstæðum hlutum:
Hléðuvélur (sporbaugsmerkt hönnun)
PID-stýringar (±0,5℃ stöðugleiki)
Sýrsluskápar
þessi lausn gerir kleift að fylgjast með í gegnumstrættur í rauntíma og hitastjórnun fyrir rostfríu stál gasleiðslur.
Hittingar á notkunarsvæðum :
1. Gasleiðslur
Áhættuleg framleiðsluelti :
Brantrifluoríð (BCl₃), Klórtrefluoríð (ClF₃), Tetraethyl Ortosíköt (TEOS)
Diklorsilat (DCS/SiH₂Cl₂), Túngsténhexafluoríð (WF₆)
Staðfesting á ferli : Hitting á gasrörum til að stýra raka punkti og koma í veg fyrir kondens
2. CVD Ferli
Lágþrýstingur efnafræðilegur óræktarferill (LPCVD)
Plöskuvæðað CVD (PECVD)
Aðgerð: Forskiptni hitastabilisering (±1℃)
3. Málmetað etching
Plöskuvæðakerfi til etchingar :
Etching á ál (Cl₂/BCl₃ efnafræði)
Etching á vinstæli (SF₆/WF₆ blöndur)
Aðgerð: Viðhalda á samræmi við endiræðni gasa
Áherslur á hittingarsýslu:
Framfærsla flokkur |
Tækni einkenni |
Nákvæm stjórnun |
±0,5℃ stöðugleiki með PID stýringum (ISO 15805 vottuð) |
Öryggi trygging |
Tvöföld tryggingarleysing: |
Umhlutavirkur hitavarnir |
Hitavarnslag án PFAS: |
|
Núverandi staðalhitaupplýsingar: |
PID hitastig stýring
Hrattvarm kerfið notar PID hitastýringar til nákvæmrar hitastýringar, þar sem hver einstök stýringarheiti virkar á sérstakri RS485 netshluta með einstakt netamerki. Þessar PID-einingar virka bæði sem sjálfstæð stýrihlutar og sem samþættir hnútar innan dreifðs netkerfis. Með því að nota Modbus RTU samskiptareglu yfir RS485 viðmót, eru allar stýringar í samskiptum í báðar áttir við miðlunaraðalshljóðkerfið til að gera mögulega samstillta marglyklunar hitastýringu og rauntíma gagnasöfnun án þess að þurfa miðplötu PLC.
HMI Stýripanel
Uppsetning á heitakjólum og PID hitastýringarstöðum á lofttæmingar- eða gasveiðikeri er frekar ómiðjuð, sem gerir það ómögulegt að fylgjast með raunhæmum hita- og starfslægum staðfærðum allra heitakjóla í raunhænum tíma. Til að gera mögulega að fylgjast með staðfærð allra heitakjóla í raunhænum tíma höfum við innleitt HMI stýriker, sem sameinar alla heitakjóla í sameinuðan reiknirit, og náð þannig miðju stýringu og samskiptastjórn.
Miðju fylgistöð
Allar viðmót – þar á meðal fylgiskjái, skjár fyrir raunhæmar viðvörunir, eldri skrár af viðvörnum, atburðasögu, skýrslugerðir fyrir trendanalýsi og skýrslubréf – er hægt að stilla á vélakerfið (með því að nota SCADA kerfi eins og InTouch eða iFix) til að ná fullum fylgi á heitakjólakerfinu.
Kerfis kostir:
• Bætt stjórnunarkerfi - Bætir heildar stöðluðum afköstum
• Fyrirheitin viðhald - Minnkar stöðluða og viðhaldsflækjur
• Kostnaðaruppspretting - Lækkar uppsetningu, rekstrakostnað og útvíkkunarkostnað
• Fjölda tækja fyrir ferilag skoðun - Gerir mögulegt að skoða á milli fjölda tölvu
• Deiling á auðlindum - Kemur í veg fyrir að nota diskauðlindir á miðjuðan hátt
• Endurtekin öryggisafritun - Býður upp á endurtekna öryggisafritun
• Fjölföld tilkynning um viðvörunarmerki - Styður SMS/þjónustuviðvörunir og tölvupósttilkynningar
• Nálgæð gögnagreining - Leyfir fyrirspurnir í gögnum og sýnir myndrænt á trendum
• Sjálfvirk skýrslugerð - Býr til kerfis tilkynningar sjálfkrafa
• Stjórnun netkerfis - Gerir mögulegt að stjórna yfirferðarkerfi á miðstöð
| Innri efni | PTFE Teflon efni |
| Hitunarelement | PTFE nikkel krómar hitareyki |
| Þéttun | Háþolkt þolinsviður úr glasvéf |
| Ytri efni | PTFE Teflon efni |
| Fastur snerpa | Lyktótt og hitaþolinlegt Velcro |
