Þrístæð kylniefni

Hitastöðugleiki : ±0,1℃

Temperatúrubreið : -40˚C～+80˚C

Kælingarþétt : -40℃@6 KW /20℃@25 KW
Ishlæði með hágæðaþjappa með þjappum frá vörumerkjum fyrir framræðandi stöðugleika. Veitir ±0,1℃ stöðugleika á útflæði fyrir lítgerar forritanir eins og:

Kæling á búnaði til ljóþvottar/ættingar

Hitastjórnun á búnaði til PVD/CVD

Hitastýring á vefjum fyrir efna- og lyfjagerð

Kæling á samskiptum í lyfjaiðnaði samkvæmt GMP-reglum

Yfirlit
Málvirkar vörur

Tækni útskýring:

Lingheng þrívalla köluker veita nákvæma kælingu fyrir margar áhlaup (±0,1℃) í einni einingu. Með stillanlega útgöngu fyrir stöðugt umhverfi, veita þau:
✅ Stjórna örugga : Áætluð starfsemi, sjálfvirkju við kompensasjon, sjálfstæða greiningu
✅ Þrenna öryggi : Ofhita/yfirvinnslu/vandvæði við vatnsskort
✅ Iðnaðs tenging : Inntak/úttak, RS232/RS485, Ethernet/IP
Hannað fyrir hálfleiðara klasi tól og PV framleiðslulínur með 30% orkusparnaði.

原理图5-英.png

Aðalþegaratriði:

TripleSync™ samþætting
» 3 sjálfstæð hringrásir í einu búnaði
→ 55% minni skurð á hreinsalurum

Nákvæmni eins og klosar
» ±0,1℃ stöðugleiki með <±0,03℃ milli hringrása
→ Gerir mögulegt að samstilla ferli í mörgum herbergjum

Kerfisjúk tölubalans
» Rýmislega kæling (heildarafköst 30 kW)
→ 28% orkuspörun á breytilegum hleðslu

Fjölda verkfæra samhæfanlegt
» Plug-and-play með ASML/AMAT/TEL hópverkfæri
→ Styður 300mm fab og PV TOPCon línur

Yfirhreinsaður titánvættur
» Hægt að sérsníða sýrsluleiðir með byggingareiningaþéttingu
→ <0,1 ppb vökvaafleifar (samþykktur fyrir flokk 10)

结构图.png

Kjarnahópar og starfsemi:

Svið	TEKNÓLOGI
Þjöppun	Herméttiskur þrýstingurviðnæmur með vernd gegn vötnslöggju (±0. 1℃ stýring)
Samþættingaraust	Rústfríur stáll, <5% heitagetra
Þýðir	Plötu hönnun, 35% hærri árangur, ≤55dB hljóð
Hitastofa	Beinheitun undir heitu, ±0,3℃ jafnvægi
Þrýstingssnúningur	Rafmagnsþrýstingur með ±1℃ stýringu á hita
Púska	Mag-drive dæla (útfærsla með flúraðri vökvi), <2% straumsviðrýming

Kæliferli:

Aðlagaður PID kæliferill :
1️⃣ Þéttun → Þrýstingur á kæliefni
2️⃣ Þéttun → Hitaleiðing og vökvaformun
3️⃣ Smalstreymisstýring → Lágþrýstingurmyndun
4️⃣ Uppþypping → Nákvæm hitanlegun frá tækjum
5️⃣ Vafastýring → Heldur á ±0. 1℃ stöðugleika

VT410 vöru eiginleikar		VT210-W-32
Vörunafn	Skjal
Vöru líkan	VT410-W-33	VT210-W-33
Kælingaraðferð	Vatnskæling
Stjórnunar mód	PID stjórn
Hitastjórnunarstuðull	CH1:-45~+60℃	CH1: +10°C til +80°C

	CH2:+30~+90℃	CH2: +30°C til +90°C

	CH3:+10~+55℃	CH3: +30°C til +90°C
Nákvæmni	±0.1℃
Kælingarþétt	CH1:6kW@-40˚C	CH1: 15 kW við 20°C

	CH2:30kW@+30℃	CH2: 20 kW við +60°C

	CH3:28kW@+20℃	CH3: 20 kW við +60°C
Aflið	CH1:4kW

	CH2:14kW

	CH3:4kW
Tangi	Samnefndur útþenslumyndir fyrir CH1/CH2 30L + heitt vatn tankur 25L
Aðferðarvökvi	CH1:17 L/mín @ 0,9MPa	25 L–30 L/ mín. við 0,65 MPa

	CH2:17 L/mín @ 0,9MPa

	CH3:25 L/min @ 0,76MPa
PCW umferð	CH1: 50 L/min@15~25℃@0,3MPa

	CH2: 20 L/min@15~25℃@0,3MPa

	CH3: 50 L/min@15~25℃@0,3MPa
Temperatúrubreið	5~35 ℃
Tegund umlóðar	FC3283
Viðmót fyrir hnigandi vökvann	CH1/CH2/CH3: Rc 3/4"	CH1/CH2/CH3: Rc 3/4"
PCW viðmót	CH1/CH2/CH3: Rc1"	CH1/CH2/CH3: Rc1-1/4″
Ytri mál （mm）	600W1370D2000H	1100W1400D1600H
Inngangur af støðu	3Ph,380-400V,50Hz
Heildarafköst vélarar	41,1 KW
Nettvætt	600 kg
Hönnunarstaðlar	SEMI