EN
Þrístæð kylniefni
Hitastöðugleiki : ±0,1℃
Temperatúrubreið : -40˚C～+80˚C
Kælingarþétt : -40℃@6 KW /20℃@25 KW
Ishlæði með hágæðaþjappa með þjappum frá vörumerkjum fyrir framræðandi stöðugleika. Veitir ±0,1℃ stöðugleika á útflæði fyrir lítgerar forritanir eins og:
Kæling á búnaði til ljóþvottar/ættingar
Hitastjórnun á búnaði til PVD/CVD
Hitastýring á vefjum fyrir efna- og lyfjagerð
Kæling á samskiptum í lyfjaiðnaði samkvæmt GMP-reglum
- Yfirlit
- Málvirkar vörur
Tækni útskýring:
Lingheng þrívalla köluker veita nákvæma kælingu fyrir margar áhlaup (±0,1℃) í einni einingu. Með stillanlega útgöngu fyrir stöðugt umhverfi, veita þau:
✅ Stjórna örugga : Áætluð starfsemi, sjálfvirkju við kompensasjon, sjálfstæða greiningu
✅ Þrenna öryggi : Ofhita/yfirvinnslu/vandvæði við vatnsskort
✅ Iðnaðs tenging : Inntak/úttak, RS232/RS485, Ethernet/IP
Hannað fyrir hálfleiðara klasi tól og PV framleiðslulínur með 30% orkusparnaði.
Aðalþegaratriði:
TripleSync™ samþætting
» 3 sjálfstæð hringrásir í einu búnaði
→ 55% minni skurð á hreinsalurum
Nákvæmni eins og klosar
» ±0,1℃ stöðugleiki með <±0,03℃ milli hringrása
→ Gerir mögulegt að samstilla ferli í mörgum herbergjum
Kerfisjúk tölubalans
» Rýmislega kæling (heildarafköst 30 kW)
→ 28% orkuspörun á breytilegum hleðslu
Fjölda verkfæra samhæfanlegt
» Plug-and-play með ASML/AMAT/TEL hópverkfæri
→ Styður 300mm fab og PV TOPCon línur
Yfirhreinsaður titánvættur
» Hægt að sérsníða sýrsluleiðir með byggingareiningaþéttingu
→ <0,1 ppb vökvaafleifar (samþykktur fyrir flokk 10)
Kjarnahópar og starfsemi:
Svið |
TEKNÓLOGI |
Þjöppun |
Herméttiskur þrýstingurviðnæmur með vernd gegn vötnslöggju (±0. 1℃ stýring) |
Samþættingaraust |
Rústfríur stáll, <5% heitagetra |
Þýðir |
Plötu hönnun, 35% hærri árangur, ≤55dB hljóð |
Hitastofa |
Beinheitun undir heitu, ±0,3℃ jafnvægi |
Þrýstingssnúningur |
Rafmagnsþrýstingur með ±1℃ stýringu á hita |
Púska |
Mag-drive dæla (útfærsla með flúraðri vökvi), <2% straumsviðrýming |
Kæliferli:
Aðlagaður PID kæliferill :
1️⃣ Þéttun → Þrýstingur á kæliefni
2️⃣ Þéttun → Hitaleiðing og vökvaformun
3️⃣ Smalstreymisstýring → Lágþrýstingurmyndun
4️⃣ Uppþypping → Nákvæm hitanlegun frá tækjum
5️⃣ Vafastýring → Heldur á ±0. 1℃ stöðugleika
| VT410 vöru eiginleikar | |
| Vörunafn | Skjal |
| Vöru líkan | VT410-W-33 |
| Kælingaraðferð | Vatnskæling |
| Stjórnunar mód | PID stjórn |
| Hitastjórnunarstuðull | CH1:-45~+60℃ |
| CH2:+30~+90℃ | |
| CH3:+10~+55℃ | |
| Nákvæmni | ±0.1℃ |
| Kælingarþétt | CH1:6kW@-40˚C |
| CH2:30kW@+30℃ | |
| CH3:28kW@+20℃ | |
| Aflið | CH1:4kW |
| CH2:14kW | |
| CH3:4kW | |
| Tangi | Samnefndur útþenslumyndir fyrir CH1/CH2 30L + heitt vatn tankur 25L |
| Aðferðarvökvi | CH1:17 L/mín @ 0,9MPa |
| CH2:17 L/mín @ 0,9MPa | |
| CH3:25 L/min @ 0,76MPa | |
| PCW umferð | CH1: 50 L/min@15~25℃@0,3MPa |
| CH2: 20 L/min@15~25℃@0,3MPa | |
| CH3: 50 L/min@15~25℃@0,3MPa | |
| Temperatúrubreið | 5~35 ℃ |
| Tegund umlóðar | FC3283 |
| Viðmót fyrir hnigandi vökvann | CH1/CH2/CH3: Rc 3/4" |
| PCW viðmót | CH1/CH2/CH3: Rc1" |
|
Ytri mál （mm） |
600W*1370D*2000H |
| Inngangur af støðu | 3Ph,380-400V,50Hz |
| Heildarafköst vélarar | 41,1 KW |
| Nettvætt | 600 kg |
| Hönnunarstaðlar | SEMI |
