EN
Einstæð kylniefni
Hitastöðugleiki : ±0,1℃
Temperatúrubreið : -40˚C～+80˚C
Kælingarþétt : -40℃@6 KW/20℃@25 KW
Lögun hitastjórnun með breytileika (inverter-based temperature control) , hækkar þetta kerfið orkueffektivitæti með því að minnka rafnotkun. Býður upp á ±0,1℃ stöðugleika fyrir nákvæmni-kröfudýra forrit, þar á meðal:
Geislavörutæki og CMP (efnafræðileg vélræði polírsla)
Vélræði í rannsóknarstofu og háþróaðar prófunartæki
Lækningatæki fyrir heilbrigðisforrit og fasta-efni ljósræði
Kerfi til að stýra hitastigi moldar
- Yfirlit
- Málvirkar vörur
Tækni útskýring:
Lingheng einstækur rásarkælikenni veitir markvissa hitastjórnun með samþætta smáskapandi hönnun.
Hannaður fyrir nákvæm kæling á sjálfstæðum búnaði , búnaðurinn okkar hefur ±0,1℃ PID stýringu og
breytiefniþjöppuhnútur fyrir mikilvægar forritanir þar meðal:
Sensilíkamælitæki
Laser vinnslukerfi
Læknisfræðileg greiningartæki
Prófunarborðssetningar
Aðskilin vökvaæði koma í veg fyrir milliáverkan, meðan smiðji án PCW minnkar uppsetningarkosti um 30%.
Aðalþegaratriði:
Kúldeðlisfræðileg frægð : Vinnur við -40℃ með <3 mínútna hitastigabreytingu
Cirkulation án tapa : Lásersveigð rör með <0,1% árlegan vökvaþarpi
Virkni invertera : 35% orkuspörun á móti breytilega hraðaútgáfum (SERT S23 staðfest)
Dynamískt afköst á halla : Nákvæmni á ±5℃/mín úr breytingu á hitastigi
Margþræð samþætting : SECS/GEM og OPC-UA tilbúin fyrir ASML/TEL/LAM tæki 
Aðalhlutar og rekstri
Svið |
TEKNÓLOGI |
Þjöppun |
Herméttiskur þrýstingurviðnæmur með vernd gegn vötnslöggju (±0. 1℃ stýring) |
Samþættingaraust |
Rústfríur stáll, <5% heitagetra |
Þýðir |
Plötu hönnun, 35% hærri árangur, ≤55dB hljóð |
Hitastofa |
Beinheitun undir heitu, ±0,3℃ jafnvægi |
Þrýstingssnúningur |
Rafmagnsþrýstingur með ±1℃ stýringu á hita |
Púska |
Mag-drive dæla (útfærsla með flúraðri vökvi), <2% straumsviðrýming |
Kæliferli
Aðlagaður PID kæliferill :
1️⃣ Þéttun → Þrýstingur á kæliefni
2️⃣ Þéttun → Hitaleiðing og vökvaformun
3️⃣ Smalstreymisstýring → Lágþrýstingurmyndun
4️⃣ Uppþypping → Nákvæm hitanlegun frá tækjum
5️⃣ Vafastýring → Heldur á ±0. 1℃ stöðugleika
| VS100/407/020 Vöruparametra | |||
| Vöru líkan | VS100-W-32 | VS020-W-32 | VS407-W-33 |
| Kælingaraðferð | Vatnskæling | ||
| Stjórnunar mód | PID stjórn | ||
| Hitastjórnunarstuðull | -20℃~+80℃ | -40℃~+80℃ | |
| Nákvæmni | ±0.1℃ | ||
| Kælifærni |
-20℃@2 KW -10℃@4 KW 0℃@6 KW 20℃@10 KW 80℃@10 KW |
-20℃@5 KW -10℃@10 KW 0℃@15 KW 20℃@25 KW 40℃@25 KW |
-40℃@6 KW -20℃@12 KW 0℃@25 KW 20℃@25 KW 40℃ @25 KW |
| Aflið | 3kw | ||
| Tangi | 20L | 25L | |
| Umlóðarvökvi | 20L/min（0.75Mpa） | 20L/min(0.7Mpa) | |
| PCW umferð | 15L/min@15~25℃ | 30L/mín@15~25℃ | 50 L/mín@15~25℃ |
| Temperatúrubreið | 5~35℃ | ||
| Tegundir hnigandi vökva | Blanda af etylen glycol, hrein vatn, flúraður vökvi | Hreint vatn, Blanda af etyglikól, Hreint vatn, Flúrað lausn | Blanda af etyglikól, flúraður vökvi |
| Kölnustofn | R410A | / | / |
| Viðmót fyrir hnigandi vökvann | Rc3/4“ | ||
| PCW viðmót | Rc1/2” | Rc3/4" | Rc1-1/4" |
| Ytri víddir (mm) | 380B*900D*1300H | 420B*900D*1250H | 500B*1150D*1500H |
| Inngangur af støðu | 3Ph,208-220V,50Hz | 3Ph,208-220V,50Hz | 3Ph,380-400V,50Hz |
| Virkja vél | 8KW | 9,7 kW | 14 kW |
| nettvætt | 200kg | 210kg | 360kg |
| Hönnunarstaðlar | SEMI | ||
