Tveggja rása kælir

Tækni útskýring:

Lingheng tveggja hringja kæliskæður býða upp á tvenns konar sjálfstæða hitastigsstýringu í einu tæki.
Lögun ±0,1℃ , eru þessi kerfi hönnuð fyrir:

Samstillt kæling á PVD/CVD herbergjum

Margföld hitastjórnun í etxslu tækjum
Með 40% minni rými og sannfæranlega samhæfni (AMAT/LAM/TEL), endursköpun á nákvæmri kælingu á rýmisvænn hátt.

Aðalþegaratriði:

Tvær í einni skilvirkni
» Bennur tvöfaldar kælur með sjálfstæðum kringjum
→ 40% hreinlegra rými vinnin og 30% lægri fjáreignakostnaður

Nákvæm tvöföld stjórnun
» ±0,1℃ stöðugleiki á hverjum kring (ΔT<0, 2℃)
→ Tryggir <3% mismun á efniþykkt í CVD/PVD

Samþætting tilbúin til framleiðslu
» Forskrifuð AMAT/LAM/TEL prótóköl
→ 90% samhverfni við 300mm tæki, 65% minni óvinnutími

Orka tvíeiningukeyrslan Energy TwinDrive™
» 35% lægra orkunotkun en hefðbundnar einingar
→ Certified SAMI S23, >$18k árleg sparnaður

Engin milliáverun
» Hægt að sérsníða straumvegi  + Lásveiddar samrunur
→ Samhverfur við UPW/flúorveitu/EGW

Kjarnahópar og starfsemi:

Svið	TEKNÓLOGI
Þjöppun	Herméttiskur þrýstingurviðnæmur með vernd gegn vötnslöggju (±0. 1℃ stýring)
Samþættingaraust	Rústfríur stáll, <5% heitagetra
Þýðir	Plötu hönnun, 35% hærri árangur, ≤55dB hljóð
Hitastofa	Beinheitun undir heitu, ±0,3℃ jafnvægi
Þrýstingssnúningur	Rafmagnsþrýstingur með ±1℃ stýringu á hita
Púska	Mag-drive dæla (útfærsla með flúraðri vökvi), <2% straumsviðrýming

Kæliferli:

Aðlagaður PID kæliferill :
1️⃣ Þéttun → Þrýstingur á kæliefni
2️⃣ Þéttun → Hitaleiðing og vökvaformun
3️⃣ Smalstreymisstýring → Lágþrýstingurmyndun
4️⃣ Uppþypping → Nákvæm hitanlegun frá tækjum
5️⃣ Vafastýring → Heldur á ±0. 1℃ stöðugleika