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トリプルチャネルチラー
温度安定性 : ±0.1℃
温度範囲 : -40˚C～+80˚C
冷却能力 : -40℃@6 KW /20℃@25 KW
産業用コンプレッサーチラー 高品質ブランドのコンプレッサーを備え、優れた安定性を実現。 ±0.1℃ 出口温度安定性を提供 以下の重要な用途に最適：
フォトリソ／エッチング装置の冷却
PVD／CVDツールの熱管理
化学・医薬反応器の温度制御
GMP準拠の医薬プロセス冷却
- 概要
- おすすめ製品
技術的説明:
Lingheng トリプルサーキットチラー 単一ユニットで多負荷精密冷却（±0.1℃）を実現。安定した環境のための構成可能な出力を備え、以下のような機能を提供します：
✅ スマートコントロール ：スケジュール運転、自動補償、自己診断機能
✅ トリプルセーフティ ：過熱／過負荷／水不足警報
✅ 産業用ネットワーキング : I/O、RS232/RS485、Ethernet/IP
半導体クラスターツールおよびPV生産ライン向けに設計され、消費電力を30%削減。
主な利点：
トリプルシンク™統合技術
» 1つのシャーシ内で3つの独立回路
→ クリーンルームの設置面積を55%削減
クラスタークラスの高精度
» ±0.1℃の安定性（回路間勾配は±0.03℃未満）
→ 複数チャンバー間のプロセス同期を実現
ダイナミックロードバランシング
» スマート冷却配分（総容量30kW）
→ 可変負荷で28％のエネルギー削減
マルチツール対応
» ASML/AMAT/TELクラスターツールとのプラグアンドプレイ
→ 300mmファブおよびPV TOPConラインをサポート
超高純度チタンエコシステム
» モジュール式シールとフロー経路のカスタマイズ可能
→ 0.1ppb未満の流体残留物（Class 10準拠）
コアコンポーネントおよび動作:
構成部品 |
テクノロジー |
コンプレッサー |
液体スラグ保護機能付き密閉インバーターコンプレッサー（±0. 1℃ 制御） |
コンデンサ |
ステンレス鋼、熱損失5％未満 |
蒸発器 |
プレート型設計、効率が35％向上、騒音≤55dB |
ヒーター |
浸漬直接加熱、±0.3℃均一性 |
膨張弁 |
電子弁付き過熱制御±1℃ |
ポンプ |
マグドライブポンプ（フッ素系流体対応）、流量変動<2% |
冷凍原理：
適応型PID冷凍サイクル :
1️⃣ 圧縮 → 冷媒加圧
2️⃣ 凝縮 → 放熱および液化
3️⃣ EEV絞り → 低圧生成
4️⃣ 蒸発 → 装置からの高精度熱吸収
5️⃣ インバーターフロー制御 → ±0を維持 1℃ 安定性
| VT410 製品パラメータ | |
| 製品名 | チラー |
| 製品モデル | VT410-W-33 |
| 冷却方法 | 水冷 |
| 制御モード | PID制御 |
| 温度制御範囲 | CH1:-45~+60℃ |
| CH2:+30~+90℃ | |
| CH3:+10~+55℃ | |
| 精度 | ±0.1℃ |
| 冷却能力 | CH1:6KW@-40˚C |
| CH2:30KW@+30℃ | |
| CH3:28KW@+20℃ | |
| 電力 | CH1:4kW |
| CH2:14kW | |
| CH3:4kW | |
| タンク | CH1 / CH2 共用拡張タンク 30L + 熱水タンク 25L |
| 循環流体流量 | CH1:17 L/分 @ 0.9MPa |
| CH2:17 L/分 @ 0.9MPa | |
| CH3:25 L/分 @ 0.76MPa | |
| PCW 流量 | CH1: 50 L/分@15~25℃@0.3MPa |
| CH2: 20 L/分@15~25℃@0.3MPa | |
| CH3: 50 L/分@15~25℃@0.3MPa | |
| 温度範囲 | 5~35 ℃ |
| 循環流体タイプ | FC3283 |
| 循環液インターフェース | CH1/CH2/CH3: Rc 3/4" |
| PCWインターフェース | CH1/CH2/CH3: Rc1" |
|
外部寸法 サイズ |
600W*1370D*2000H |
| 入力電源 | 3相、380-400V、50Hz |
| 機械全体のパワー | 41.1 kW |
| 本体重量 | 600kg |
| 設計基準 | セミ |
