히팅 재킷 시스템

기술 설명:

히팅 재킷 응용 분야 :

1. 가스 공급 라인

위험 공정 가스 :
삼염화붕소(BCl₃), 삼불화염소(ClF₃), 테트라에틸 오르토실리케이트(TEOS)
디클로로실란(DCS/SiH₂Cl₂), 텅스텐 헥사플루오라이드(WF₆)
공정 검증 : 이슬점 조절 및 응축 방지를 위한 가스 라인 히팅

2. CVD 공정

저압 화학 기상 증착(LPCVD)
플라즈마 증강 CVD(PECVD)
기능: 프리커서 증기 온도 안정화 (±1℃)

3. 금속 에칭

플라즈마 에칭 시스템 :
알루미늄 에칭 (Cl₂/BCl₃ 화학물질)
텅스텐 에칭 (SF₆/WF₆ 혼합물)
기능: 가스 반응성 일관성 유지

히팅 재킷의 장점:

장점 분류	기술 특성
정밀 제어	pID 컨트롤러를 통한 ±0.5℃ 안정도 (ISO 15805 인증)
안전 보장	이중 안전 인터록: • KSD30 온도 조절 장치 • 열회로 차단기 (IEC 60691 규격 적합)
친환경 단열재	PFAS 불포함 단열층: • 열 손실 <5% (ISO 8301) • 스테인리스 스틸 슬림 외함
스마트 모니터링	실시간 전류 모니터링: • 구역별 전류 값 → HMI/SCADA • MODBUS-TCP 데이터 기록

PID 온도 컨트롤러

히팅 재킷 시스템은 정밀 온도 조절을 위해 PID 온도 컨트롤러를 사용하며, 각 컨트롤러는 고유한 네트워크 주소를 갖는 전용 RS485 버스 구간에서 작동합니다. 이 PID 장치들은 독립형 제어 모듈로서의 기능과 더불어 분산 네트워크 아키텍처 내의 통합 노드로서의 기능도 수행합니다. 모든 컨트롤러는 RS485 인터페이스를 통해 Modbus RTU 프로토콜을 이용하여 양방향 통신을 수행하며, 중앙 HMI 제어 캐비닛과 연동되어 중앙 PLC 없이도 동기화된 다중 구역 온도 관리 및 실시간 데이터 수집이 가능합니다.

Hmi 제어 패널

진공 또는 가스 배관에 열차단 재킷과 PID 온도 컨트롤러를 설치하는 방식은 상대적으로 분산되어 있어 모든 열차단 재킷의 실시간 온도 및 운전 상태를 동시에 효과적으로 모니터링할 수 없습니다. 모든 열차단 재킷의 상태를 실시간으로 모니터링할 수 있도록 하기 위해 HMI 제어 패널을 구축하여 모든 열차단 재킷을 통합 플랫폼에 통합함으로써 중앙 집중식 제어 및 통신 관리를 실현하였습니다.

중앙 집중 모니터링 시스템

모니터링 화면, 실시간 알람 표시, 과거 알람 기록, 이벤트 이력 기록, 추세 분석 차트 및 보고서 양식을 포함한 모든 인터페이스는 SCADA 플랫폼(InTouch 또는 iFix 등)을 사용하는 호스트 시스템에서 구성하여 열차단 시스템의 포괄적인 모니터링이 가능합니다.