CO2 냉각장치
온도 안정성 : ±0.1℃
온도 범위 :-20˚C～+80˚C
냉각 용량 :-20℃@2 KW/20℃@10 KW
정밀 온도 제어를 소형 압축기 냉각장치를 통해 제공하며, :
반도체 웨이퍼 제조 및 테스트
신에너지 배터리/모터 드라이브 검증
정밀 장비 냉각
특수 테스트용 공기 냉각 응용
- 개요
- 추천 제품
- 산업용 열 관리 분야 15년 이상의 경험
- 엄격한 공장 품질 검사
- 전 세계 기술 지원
01LIAT CO₂ 냉각기 선택 이유
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친환경 자연 유출 CO₂ 냉매 저 GWP, 제로 ODP |
고정밀 ±0.1℃의 온도 안정성으로 신뢰할 수 있는 성능 제공 |
안전하고 신뢰할 수 있음 고압 설계 및 다중 안전 보호 기능 |
콤팩트 한 디자인 소형 설계로 설치가 용이하고 공간 절약 효과 | 사용자 정의 다양한 모델 및 OEM/ODM 솔루션 제공 |
글로벌 지원
24시간 기술 지원 및 신속한 서비스 대응 |
02 강력한 성능
성과 하이라이트 |
성과 하이라이트 |
성능 곡선 | 주요 장점 |
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• 친환경 냉각 방식 • 초고정밀 온도 제어 • 높은 에너지 효율 • 클래스 100 청정실 호환성 • 안정적인 연속 작동 • 지능형 원격 모니터링 • 소형 산업용 디자인 • 간편한 유지보수 |
• 친환경 냉각 방식 |
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구조 설계 |
외형 치수(단위: mm) |
핵심 부품 |
냉각 시스템 |
작동 원리 |
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• 소형 산업용 캐비닛 |
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초임계 CO₂ 냉각 사이클은 천연 냉매 R744를 사용하여 높은 냉각 효율을 제공함과 동시에 온실가스 배출을 최소화하고 장기적인 규제 준수를 보장합니다.
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① 압축기가 CO₂ 냉매를 압축합니다. |
03성능 설명
고급 초임계 CO₂ 냉각 시스템은 높은 냉각 효율을 제공하면서 환경 영향을 크게 줄입니다.
지능형 PID 제어와 결합된 이 시스템은 뛰어난 온도 안정성을 유지하여 반도체 제조, 실험실 연구 및 기타 정밀 제조 환경에서 일관된 성능을 실현합니다.
04적용 분야
 반도체 웨이퍼 제조 |
 광리소그래피 시스템 |
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에칭 장비 
원자층 증착 (ALD) 
배터리 테스트 
정밀 전자 장비 
실험실 장비
05기술 사양
구조 설계 |
핵심 부품 |
냉각 시스템 |
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• 소형 산업용 캐비닛 • 클린룸 호환 구조 • 모듈식 설계 • 간편한 유지보수 • 최적화된 공기 흐름 관리 |
• 기밀 인버터 압축기 • 스테인리스강 응축기 • 티타늄 판형 열교환기 • 전자식 팽창 밸브 • 자기 구동 펌프 • PLC 지능형 컨트롤러 |
초임계 CO₂ 냉각 사이클은 천연 냉매 R744를 사용하여 높은 냉각 효율을 제공함과 동시에 온실가스 배출을 최소화하고 장기적인 규제 준수를 보장합니다. |
06작동 원리
① 압축기가 CO₂ 냉매를 압축합니다.
② 가스 쿨러를 통해 열이 방출됩니다.
③ 팽창 밸브가 냉매 유량을 정밀하게 조절합니다.
④ 증발기가 공정 열을 흡수합니다.
⑤ 지능형 PID 제어가 공정 온도의 안정성을 지속적으로 유지합니다.
07사양
| 모델 | GVS010-W-32F | GVD010-W-32F | |||
| 채널 | 1 | 2 | |||
| 온도 범위 | -20℃에서 +90℃까지 | -20℃에서 +90℃까지 | -20℃에서 +90℃까지 | ||
| 액체로 세척하세요 | 불소 유체 | ||||
| 탱크 부피 | 20 L | 20 L | 20 L | ||
| 온도 안정성(대기 상태) | ± 0.1 ℃ | ||||
| 온도 조절 | PID 제어 | ||||
| 압축기 | 종류 | 인버터 압축기 | |||
| 전력 | 3 킬로와트 | 3 킬로와트 | 3 킬로와트 | ||
| 냉매 | CO₂(R744) | ||||
| 열교환기 |
냉각 용량 |
-10°C에서 4kW / +20°C에서 10kW | -10°C에서 4kW | +20°C에서 10kW(채널당) | |
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PCW 요구사항 |
15L/분 @ 15~25℃, 0.3~0.4MPa | 15LPM @15~25°C @0.3~0.4MPa(채널당) | |||
| 종류 | 판형 열교환기 | 판형 열교환기 | |||
| 히터 파워 | 3KW | 3 킬로와트 | 3 킬로와트 | ||
| 펌프 | 종류 | 자기구동 펌프(인버터식) | 자기구동 펌프(인버터식) | ||
| 전력 | 1.5 kw | 1.5 kw | 1.5 kw | ||
| 용량 | 0.7MPa에서 20LPM | 0.7MPa에서 20LPM(채널당) | |||
| 인증 | SEMI S2, S8, CE | SEMI S2, S8, CE | |||
| 통신 | RS485/에테르캣 | ||||
| 정격 전력 | 7.7kw | 15.4kW | |||
| 정격 전류 | 20.2A | 40.4A | |||
| 작동 전류 | 11.7A*유체 온도 +20°C에서 측정, 히터 출력 약 15% | 23.6A*유체 온도 +20°C에서 측정, 히터 출력 약 15% | |||
| 기 | 32A | 63a | |||
| 치수 | 380W×900D×1250H(mm) | 600W×900D×1300H(mm) | |||
| 전원 공급 장치 | 3상, 208~220V, 50/60Hz | ||||
08 왜 LIAT를 선택해야 할까요?
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09자주 묻는 질문
CO₂ 냉각기란? ₂ 차일러?
A co 2 냉각기는 자연 냉매 R744(CO₂)를 사용하는 냉각 시스템으로, 환경 친화적이고 에너지 효율적이며 고정밀 산업용 냉각을 제공합니다. 2 환경 친화적이고 에너지 효율적이며 고정밀 산업 냉각을 제공하기 위한 것입니다.
왜 CO₂ 냉매를 선택해야 하나요?
CO₂는 GWP가 단 1에 불과하고, ODP는 제로이며, 우수한 열전달 성능을 갖추고 있어 점점 더 엄격해지는 글로벌 환경 규제를 충족합니다.
CO₂ 냉각기(치러)를 사용하는 산업은 무엇인가요?
반도체 제조, 배터리 테스트, 실험실, 의료 기기, 정밀 전자 장비, 광학 기기 제조, 과학 연구 등입니다.
LIAT에서 시스템을 맞춤 제작할 수 있나요?
네. 냉각 용량, 작동 온도, 컨트롤러, 통신 프로토콜, 냉매 회로, 기계적 구조 등 모든 사양을 맞춤 제작할 수 있습니다.
이 시스템은 청정실 적용에 적합한가요?
네. 완전 밀폐형 냉각 설계로 반도체 청정실과 같은 오염에 민감한 환경에서도 사용이 가능합니다.
견적 요청은 어떻게 하나요?
필요한 냉각 용량, 작동 온도, 용도 및 설치 조건을 알려주시면, 당사 엔지니어가 24시간 이내에 가장 적합한 솔루션을 추천해 드립니다.
