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CO2 냉각장치
온도 안정성 : ±0.1℃
온도 범위 :-20˚C～+80˚C
냉각 용량 :-20℃@2 KW/20℃@10 KW
정밀 온도 제어를 소형 압축기 냉각장치를 통해 제공하며, :
반도체 웨이퍼 제조 및 테스트
신에너지 배터리/모터 드라이브 검증
정밀 장비 냉각
특수 테스트용 공기 냉각 응용
- 개요
- 추천 제품
기술 설명:
린헝 CO₂ 초청정 냉각기
활용 천연 냉매(GWP=1, ODP=0) 제공하는 것에 중점을 둡니다 ±0.1℃ 정밀 온도 제어 고급 반도체 공정에 적합합니다. 가능하게 합니다 -40℃ ~ +100℃ 광범위 작동 범위 초임계 순환 기술을 통해 미션 크리티컬 애플리케이션과 호환됩니다:
포토리소그래피
각인
원자층 증착 (ALD)
완전 밀폐형 유로 class 100 클린룸 기준을 충족하며 F-가스 없는 설계 탄소세 부담을 완화하여 공정 우수성과 ESG 준수를 동시에 달성합니다.
주요 장점：
환경 지속가능성
GWP=1 - 글로벌 기후 목표와 완전히 부합하며 탄소세 부담을 완화
천연 냉매 - 불화가스 회수/폐기 요구사항 제거
0 ODP - 국제 규제(예: 키갈리 개정안) 준수
±0.1℃ 정밀 제어 - 첨단 노드 지원(TSMC 5nm 불화 냉매 단계적 퇴출 규정 준수)
오염 없는 운전 - CO₂ 잔여물 <1ppb, Class 1000 클린룸 인증
cOP 30% 향상 - 초임계 사이클 인버터 기술(LIAT 1.0 기준 대비 검증 완료)
안전 성능:
무독성 및 불연성 - 불소계 냉매 누출 위험 제거
공장 리스크 감소 - 환경 위해 지수 68% 감소 (SEMI S10 기준)
핵심 구성품 및 작동:
구성 요소 |
기술 |
압축기 |
액체 슬러깅 보호 기능이 있는 완전 밀폐형 인버터 압축기 (±0.5℃ 제어) |
콘덴서 |
스테인리스강, 열 손실 5% 미만 |
증발기 |
티타늄 플레이트 방식, 효율 35% 향상, 소음 ≤55dB |
히터 |
직접 가열 방식, ±0.3℃ 균일도 |
팽창 밸브 |
±1℃ 과열 조절 기능이 있는 전자 밸브 |
펌프 |
자기구동 펌프(불소계 유체 버전), 유량 변동 2% 미만 |
냉각 원리:
1. 압축 → 냉매 가압
2. 응축 → 방열 및 액화
3. EEV 쓰로틀링 → 저압 미스트 생성
4. 증발 → 장비로부터의 정밀 열 흡수
5. 인버터 유량 제어 → ±0 유지 1℃ 안정성
| GVS010 제품 매개변수 | |
| 제품 모델 | GVS010-W-32F |
| 냉각 방법 | 수냉식 냉각 타입 |
| 제어 모드 | PID 제어 |
| 온도 제어 범위 | -20℃~+80℃ |
| 정밀도 | ±0.1℃ |
| 냉장 용량 |
-20℃@2 KW -10℃@4 KW 0℃@6 KW 20℃@10 KW 80℃@10 KW |
| 전력 | 3KW |
| Tank | 20L |
| 순환액 유량 | 20L/min(0.75MPa) |
| PCW 교통 | 15L/min@15~25℃ |
| 온도 범위 | 5~35℃ |
| 순환 유체 종류 | 에틸렌글리콜 혼합액, 순수 물, 플루오르화 용액 |
| 냉매 | R744（CO2） |
| 순환 유체 인터페이스 | Rc3/4” |
| PCW 인터페이스 | Rc1/2" |
| 외형 치수(mm) | 380W*900D*1250H |
| 입력 전원 공급 | 3상, 208-220V, 50Hz |
| 기계의 전력 | 8KW |
| 순중량 | 200KG |
| 설계 표준 | 반도체 |
