트리플 채널 냉각기

온도 안정성 : ±0.1℃

온도 범위 : -40˚C～+80˚C

냉각 용량 : -40℃@6 KW /20℃@25 KW
산업용 등급 압축기 냉각 장치 뛰어난 안정성을 자랑하는 프리미엄 브랜드 압축기를 탑재. 제공 ±0.1℃ 출구 온도 안정성 다음과 같은 핵심 응용 분야를 포함하여:

광결정식/에칭 장비 냉각

PVD/CVD 장비 열 관리

화학 및 제약 반응기 온도 조절

GMP 규정 준수 제약 공정 냉각

개요
추천 제품

기술 설명:

링헝 트리플 서킷 냉각기 단일 장치에서 다중 부하 정밀 냉각(±0.1℃)을 실현합니다. 안정적인 환경을 위한 구성 가능 출력을 특징으로 하며, 다음과 같은 기능을 제공합니다:
✅ 스마트 제어 : 예약 운전, 자동 보상, 자기 진단 기능
✅ 트리플 안전 기능 : 과열/과부하/물 부족 경보
✅ 산업용 커넥티비티 : I/O, RS232/RS485, 이더넷/IP
반도체 클러스터 장비 및 PV 생산 라인을 대상으로 설계되어 에너지 절약 효과가 기존 대비 30% 향상되었습니다.

原理图5-英.png

주요 장점:

트리플싱크™ 통합
» 단일 섀시에 3개의 독립 회로
→ 클린룸 공간 55% 감소

클러스터급 정밀도
» ±0.1℃ 안정성, ±0.03℃ 미만의 회로 간 그라디언트
→ 다중 챔버 공정 동기화 가능

동적 부하 균형
» 스마트 냉각 분배(총 용량 30kW)
→ 가변 부하 시 28% 에너지 절약

다중 도구 호환성
» ASML/어메트/TEL 클러스터 장비와 플러그 앤 플레이 지원
→ 300mm 팹 및 PV TOPCon 라인 지원

초고순도 티타늄 생태계
» 모듈식 씰링 기술로 유로 경로를 맞춤형 설계 가능
→ 0.1ppb 미만의 잔류 물질 (Class 10 기준 준수)

结构图.png

핵심 구성품 및 작동:

구성 요소	기술
압축기	액체 슬러깅 보호 기능이 있는 밀폐형 인버터 컴프레서 (±0. 1℃ 제어)
콘덴서	스테인리스강, 열 손실 5% 미만
증발기	플레이트형 설계, 효율성이 35% 높음, 소음 ≤55dB
히터	직접 가열 방식, ±0.3℃ 균일도
팽창 밸브	±1℃ 과열 조절 기능이 있는 전자 밸브
펌프	자기구동 펌프(불소계 유체 버전), 유량 변동 2% 미만

냉각 원리:

적응형 PID 냉동 사이클 :
1️⃣ 압축 → 냉매 가압
2️⃣ 응축 → 열 방출 및 액화
3️⃣ EEV 쓰로틀링 → 저압 생성
4️⃣ 증발 → 장비에서의 정밀한 열 흡수
5️⃣ 인버터 유량 제어 → ±0 유지 1℃ 안정성

VT410 제품 사양
제품명	냉장고
제품 모델	VT410-W-33
냉각 방법	수냉식
제어 모드	PID 제어
온도 제어 범위	CH1:-45~+60℃

	CH2:+30~+90℃

	CH3:+10~+55℃
정밀도	±0.1℃
냉각 용량	CH1:6KW@-40˚C

	CH2:30KW@+30℃

	CH3:28kW@+20℃
전력	CH1:4kW

	CH2:14kW

	CH3:4kW
Tank	CH1 / CH2 공용 확장 탱크 30L + 온수 탱크 25L
순환 유체 흐름	CH1:17L/분 @0.9MPa

	CH2:17L/분 @0.9MPa

	CH3:25L/분 @0.76MPa
PCW 교통	CH1:50L/분@15~25℃@0.3MPa

	CH2: 20 L/분@15~25℃@0.3MPa

	CH3: 50 L/분@15~25℃@0.3MPa
온도 범위	5~35 ℃
순환 유체 타입	FC3283
순환 유체 인터페이스	CH1/CH2/CH3: Rc 3/4"
PCW 인터페이스	CH1/CH2/CH3: Rc1"
외부 차원 (mm)	600W1370D2000H
입력 전원 공급	3Ph,380-400V,50Hz
전체 기계 전원	41.1 KW
순중량	600kg
설계 표준	반도체