Precisie Koeloplossingen voor Halfgeleiderproductie
Hoe Geavanceerde Koelinstallaties de Opbrengst Verhogen, Kosten Verlagen & de Volgende Generatie Chips Aandrijven
“Bij 5nm nodes leidt 40% opbrengstverlies tot thermische instabiliteit — onze koelsystemen verminderen dit met 37%.”
Thermische Precisie = Winstgevendheid: Kritische Toepassingen
1. EUV-lithografie Koelsystemen
Probleem in de Industrie: 0,1°C water temperatuurschommeling veroorzaakt >3nm overlayfouten
Onze Oplossing:
✅ GVS CO₂ Koelinstallaties
±0,1°C stabiliteit via superkritische R744 koeltechnologie
Zero-vibratie overdracht (<0,1μm) voorkomt ASML NXE lensvervorming
20ms reactie op laserenergiepieken
2. Ionenimplantatie cryogene systemen
Probleem in de industrie: Langzaam afkoelen veroorzaakt roosterdefecten, waardoor lekstroom in apparaten met 40% stijgt
Onze Oplossing:
✅ U-Series Cascade cryogene units (-80°C)
8 minuten snelle afkoeling tot -50°C met cascadekoeling
Temperatuurbeheer gecontroleerd via PID-algoritme
Diëlektrische circulatie voorkomt hoogspanningsoverslagen
3. Temperatuurregeling met meerdere zones voor CVD
Probleem in de industrie: Wanddrijf van de kamer veroorzaakt een variatie van ±5% in filmdikte
Onze Oplossing:
✅ VT Drietrapskoelunits
Onafhankelijke regeling van ±0,1°C voor gasleidingen/kamer/vacuümpompen
Voorspelling van warmtestroom geïntegreerd met Applied Materials Endura™
Gesloten circuit voorkomt cross-contaminatie
Buiten koeling: Strategische waarde motoren
️ Energie duurzaamheid
Herstel van afvalwarmte (85°C → UPW-productie) vermindert energieverbruik in de fabriek met 23%
Industry 4.0 Integratie
Carbon footprint tracking per wafer met real-time emissierapportage
️ Operatie zonder verontreiniging
|
Risico |
Traditionele koelinstallaties |
Onze oplossing |
|
PFAS-lekken |
Regelgevende boetes |
Natuurlijk R744 (REACH-conform) |
Toekomstbestendige fabrieken: Next-gen-klaarheid
Technologische routebeschrijving alignering
|
Knooppunt |
Opkomende eis |
Ons antwoord |
|
3nm |
Thermische uniformiteit in meerdere zones |
Voorspellende gradiëntregeling |
|
2nm |
Stabiliteit op quantumniveau |
AI-gestuurde fluctuatie-demping |
|
GWP |
<150 verplichte standaard |
R744 koudemiddel (GWP=1) |
1.Technische autoriteit versterking
ASML/Applied Materials™-apparatuurverwijzingen met handelsmerkteken
Gestandaardiseerde branche-termen: "supercritical R744" (niet "CO₂ cycle"), "cascade refrigeration"
2.Behoud van gegevensintegriteit
Strikte behoud van kritieke meetwaarden: ±0,1°C, <0,1μm, 23% energiebesparing
Wiskundige symbolen: >3nm (niet "over 3nm"), ±5% variatie
3.Probleem-oplossingskader
Pijnpunten omgezet naar actieve voice: "veroorzaakt >3nm overlayfouten"
Oplossingen voorafgegaan door ✅ voor visueel scannen
4.Regelgevende precisie
Duidelijke verklaring over REACH-conformiteit
PFAS (vervangt " Gefluoreerd koelmiddelen ") volgens EPA-terminologie
5.Roadmapgeloofwaardigheid
Node-evolutie (5nm→3nm→2nm) die de technische vooruitgang laat zien
Integratie van koolstofbeleid (GWP-standaarden)
emojis behouden voor digitale deelbaarheid
Duidelijke tabelopmaak voor vergelijkende gegevens
EN
