EN
CO2 Koelunits
Temperatuurstabiliteit : ±0,1℃
Temperatuurbereik : -20˚C～+80˚C
Koelcapaciteit : -20℃@2 KW/20℃@10 KW
Precisie temperatuurregeling via compacte compressor koelunits voor :
Halfgeleider wafer fabricage & testen
Nieuwe energie batterij/e-drive validatie
Precisie-apparatuur koelen
Luchtgekoelde toepassingen voor specifieke tests
- Overzicht
- Aanbevolen producten
Technische beschrijving:
Lingheng CO₂ Ultra-Schone Koeler
Gebruiken natuurlijk koelmiddel (GWP=1, ODP=0) om te leveren ±0,1°C precisie thermische regeling voor geavanceerde halfgeleiderprocessen. Maakt mogelijk -40℃ tot +100℃ breed bereik van werking via transkritische cyclus technologie, compatibel met missie-kritische toepassingen:
Fotolithografie
Graveerwerk
Atomic Layer Deposition (ALD)
Volledig afgesloten stromingspad voldoet aan klasse 100 cleanroomnormen, terwijl F-gasvrije ontwerp vermindert de belastingdruk op koolstofbelasting — en bereikt zowel procesuitstekendheid als ESG-conformiteit.
Belangrijkste voordelen：
Duurzaamheid van het milieu:
GWP=1 - Volledig in lijn met mondiale klimaatdoelstellingen, verminderde blootstelling aan koolstofbelasting
Natuurlijk koelmiddel - Elimineert vereisten voor het herstellen/afvoeren van gefluoreerde gassen
Nul ODP - In overeenstemming met internationale regelgeving (bijv. het amendement van Kigali)
±0,1℃ precisieregeling - Maakt gebruik van geavanceerde nodes (TSMC 5nm, in lijn met afschaffing van gefluoreerde koelmiddelen)
Bedrijf zonder verontreiniging - CO₂-residu <1ppb, gecertificeerd voor schoonruimteklasse 1000
30% hogere COP - Transkritische cyclus invertertechnologie (geverifieerd t.o.v. LIAT 1.0 basislijn)
Veiligheidsprestaties:
Niet-toxisch en niet-vlampuntig - Elimineert risico's van lekken van gefluoreerde koudemiddelen
Fabrieksrisico reductie - 68% lager milieu-gevaarsindex (volgens SEMI S10)
Kerncomponenten & Bediening:
CompoNent |
TECHNOLOGIE |
Compressor |
Hermetische invertercompressor met vloeistofslagbescherming (±0,5℃ regeling) |
Condensator |
Roestvrij staal, <5% thermische verliezen |
Verdampfer |
Titanium plaat-type, 35% hogere efficiëntie, ≤55dB geluid |
Verwarming |
Ondergedompeld directverwarming, ±0,3℃ uniformiteit |
Expansieventiel |
Elektronische klep met ±1℃ oververhittingsregeling |
Pomp |
Mag-drive pomp (gefluoreerde vloeistofversie), <2% debietfluctuatie |
Koelprincipe:
1. Compressie → Koelmiddelverdichting
2. Condensatie → Warmte-afvoer en verlaging
3. EEV-regeling → Verneveling bij lage druk
4. Verdamping → Precisiewarmte-afname van apparatuur
5. Invertermatige stroomregeling → Handhaaft ±0, 1℃ stabiliteit
| GVS010 Productparameters | |
| Product Model | GVS010-W-32F |
| Koelmethode | Watergekoelde koelingsmethode |
| Besturingsmodus | PID-regeling |
| Temperatuurregeling | -20℃~+80℃ |
| Precisie | ±0.1℃ |
| Koelcapaciteit |
-20℃@2 kW -10℃@4 kW 0℃@6 kW 20℃@10 kW 80℃@10 kW |
| Vermogen | 3KW |
| Tank | 20L |
| Stroomsnelheid circulerend vloeistof | 20L/min (0,75MPa) |
| PCW-verkeer | 15 L/min @ 15~25 ℃ |
| Temperatuurbereik | 5~35℃ |
| Soorten circulerende vloeistof | Ethyleneglycolmengsel, puur water, gefluoreerde oplossing |
| Koelmiddel | R744 (CO2) |
| Circulatievloeistofaansluiting | Rc3/4” |
| PCW-aansluiting | Rc1/2” |
| Buitenafmetingen (mm) | 380B*900D*1250H |
| Ingangspanning | 3Ph,208-220V,50Hz |
| Machinaal vermogen | 8KW |
| nettogewicht | 200KG |
| Ontwerpnormen | Semi |
