Penyelesaian Penyejukan Tepat dalam Pembuatan Semikonduktor
Bagaimana Penyejuk Canggih Meningkatkan Hasil, Mengurangkan Kos & Memacu Cip Generasi Baharu
“Pada nod 5nm, kehilangan hasil sebanyak 40% dikaitkan dengan ketidakstabilan haba — sistem penyejuk kami mengurangkan ini sebanyak 37%.”
Ketepatan Terma = Keuntungan: Aplikasi Kritikal
1. Sistem Penyejukan Litografi EUV
Masalah Industri: Fluktuasi air sebanyak 0.1°C menyebabkan ralat tindih >3nm
Penyelesaian Kami:
✅ Penyejuk CO₂ GVS
kestabilan ±0.1°C melalui penyejukan superkritikal R744
Pemindahan bebas getaran (<0.1μm) mengelakkan penyimpangan kanta ASML NXE
tindak balas 20ms terhadap lonjakan tenaga laser
2. Sistem Kriogenik Penanaman Ion
Titik Sakit Industri: Penyejukan perlahan menghasilkan kecacatan kekisi, meningkatkan kebocoran peranti sebanyak 40%
Penyelesaian Kami:
✅ Unit Kriogenik Kaskad Siri-U (-80°C)
penyejukan pantas dalam 8 minit ke -50°C dengan penyejukan kaskad
Pengurusan suhu yang dikawal oleh algoritma PID
Peredaran dielektrik mengelakkan lengkungan voltan tinggi
3. Kawalan Suhu CVD Berzom Pelbagai
Titik Sakit Industri: Drift dinding ruang menyebabkan variasi ketebalan filem ±5%
Penyelesaian Kami:
✅ Penyejuk Kekal VT Tiga-Saluran
Kawalan bebas ±0.1°C untuk saluran gas/ruang/pam vakum
Ramalan fluks haba bersepadu dengan Applied Materials Endura™
Gelung tertutup menghalang pencemaran silang
Melebihi Penyejukan: Enjin Nilai Strategik
♻️ Kestabilan Tenaga
Pemulihan haba buangan (85°C → penjanaan UPW) mengurangkan penggunaan tenaga fabrik sebanyak 23%
Penyepaduan Industry 4.0
Penjejakan jejak karbon per-wafer dengan laporan pelepasan masa nyata
️ Operasi Sifar Pencemaran
|
Risiko |
Penyejuk Konvensional |
Penyelesaian Kami |
|
Kebocoran PFAS |
Denda Peraturan |
Semula Jadi R744 (Patuh REACH) |
Fabrikasi Masa Depan: Sedia Generasi Baharu
Penjajaran Peta Jalan Teknologi
|
Nod |
Keperluan Muncul |
Tindak Balas Kami |
|
3nm |
Keseragaman haba berzom-berzom |
Kawalan kecerunan prediktif |
|
2nm |
Kestabilan pada tahap kuantum |
Peredaman keayunan berasaskan AI |
|
GWP |
<150 piawaian wajib |
Bahan penyejuk R744 (GWP=1) |
1.Peningkatan Kewibawaan Teknikal
Rujukan peralatan ASML/Applied Materials™ dengan notasi tanda dagangan
Istilah piawaian industri: "R744 superkritikal" (bukan "kitaran CO₂"), "penyejukan bertingkat"
2.Pengekalan Integriti Data
Pengekalan ketat pada metrik kritikal: ±0.1°C, <0.1μm, pengurangan tenaga 23%
Simbol matematik: >3nm (bukan "lebih 3nm"), julat ±5%)
3.Kerangka Masalah-Penyelesaian
Titik kesakitan ditukarkan ke suara aktif: "menyebabkan ralat tindihan >3nm"
Penyelesaian diberi awalan ✅ untuk pemindai visual
4.Kejituan Peraturan
Penyataan jelas kepatuhan REACH
PFAS (menggantikan " Berfluorin pendingin ") mengikut terminologi EPA
5.Kredibiliti Pelan Jangkaan
Kemajuan nod (5nm→3nm→2nm) yang menunjukkan evolusi teknikal
Penggabungan polisi karbon (piawaian GWP)
emoji dikekalkan untuk kongsi secara digital
Format jadual yang bersih untuk data perbandingan
EN
