Soluções de Resfriamento de Precisão para Fabricação de Semicondutores
Como os Chillers Avançados Aumentam o Rendimento, Reduzem Custos e Alimentam os Próximos Chips de Geração
“Em nós de 5nm, 40% de perda de rendimento está associada à instabilidade térmica — nossos sistemas de refrigeração reduzem isso em 37%.”
Precisão Térmica = Rentabilidade: Aplicações Críticas
1. Sistemas de Resfriamento para Litografia EUV
Ponto Crítico da Indústria: Flutuação de 0,1°C na água causa erros de overlay superiores a 3nm
Nossa Solução:
✅ Chillers de CO₂ GVS
estabilidade de ±0,1°C por meio de refrigeração supercrítica com R744
Transmissão sem vibração (menor que 0,1μm) evita distorção da lente ASML NXE
resposta em 20ms a picos de energia do laser
2. Sistemas Criogênicos para Implantação Iônica
Ponto Crítico da Indústria: Resfriamento lento induz defeitos na rede cristalina, aumentando em 40% a corrente de fuga no dispositivo
Nossa Solução:
✅ Unidades Criogênicas em Cascata Série U (-80°C)
resfriamento rápido em 8 minutos até -50°C com refrigeração em cascata
Gerenciamento de temperatura controlado por algoritmo PID
A circulação dielétrica evita arcos de alta tensão
3. Controle de Temperatura CVD de Multi-Zonas
Ponto Crítico da Indústria: Deriva nas paredes da câmara causa variação de ±5% na espessura do filme
Nossa Solução:
✅ Chillers VT de Três Canais
Controle independente de ±0,1°C para linhas de gás/câmara/bombas de vácuo
Previsão de fluxo térmico integrada com Applied Materials Endura™
Circuito selado evita contaminação cruzada
Além do Resfriamento: Motores de Valor Estratégico
️ Sustentabilidade Energética
Recuperação de calor residual (85°C → geração de UPW) reduz o consumo energético da fábrica em 23%
Integração da Indústria 4.0
Rastreamento de pegada de carbono por wafer com relatório em tempo real de emissões
️ Operação Zero Poluição
|
Risco |
Chillers Tradicionais |
Nossa Solução |
|
Vazamento de PFAS |
Penalidades Regulatórias |
R744 Natural (Conforme REACH) |
Fabs Preparadas para o Futuro: Prontidão para a Próxima Geração
Alinhamento com o Caminho Tecnológico
|
Nó |
Requisito Emergente |
Nossa Resposta |
|
3nm |
Uniformidade térmica multi-zonal |
Controle preditivo de gradiente |
|
2nm |
Estabilidade em nível quântico |
Amortecimento de flutuações com base em IA |
|
PEP |
<150 padrão obrigatório |
Refrigerante R744 (GWP=1) |
1.Aprimoramento da Autoridade Técnica
Referências a equipamentos ASML/Applied Materials™ com nota de marca registrada
Termos técnicos padronizados: "R744 supercrítico" (não "ciclo de CO₂"), "refrigeração em cascata"
2.Preservação da integridade dos dados
Mantém rigorosamente as métricas críticas: ±0,1°C, <0,1μm, redução de 23% no consumo de energia
Símbolos matemáticos: >3nm (não "acima de 3nm"), variação de ±5%
3.Estrutura Problema-Solução
Pontos críticos convertidos na voz ativa: "causa erros de overlay >3nm"
Soluções com prefixo ✅ para facilitar a leitura visual
4.Precisão regulatória
Declaração explícita de conformidade com o REACH
PFAS (substituindo " Fluorados refrigerantes ") segundo terminologia da EPA
5.Credibilidade do Roadmap
Progressão dos nós (5nm→3nm→2nm) mostrando a evolução técnica
Integração de políticas de carbono (padrões GWP)
emojis mantidos para compartilhamento digital
Formatação limpa de tabela para dados comparativos
EN
