Dubbelloop Koelinstallatie

Technische beschrijving:

Lingheng Dubbelcircuit Koelmachines bieden dubbele onafhankelijke temperatuurregeling in één unit.
Met ±0,1℃ stabiliteit per circuit , deze systemen zijn ontwikkeld voor:

Gesynchroniseerde koeling van PVD/CVD kamers

Multi-zone thermische beheersing in etsapparatuur
Met 40% kleinere voetafdruk en in de praktijk bewezen compatibiliteit (AMAT/LAM/TEL) definiëren zij opnieuw wat ruimte-efficiënte precisiekoeling is.

Belangrijkste voordelen:

Twee-in-één-efficiëntie
» Vervangt dubbele koelinstallaties door onafhankelijke circuits
→ 40% ruimtebesparing in cleanroom + 30% lagere investeringskosten

Precisie dubbelregeling
» ±0,1℃ stabiliteit per circuit (ΔT<0, 2℃)
→ Zorgt voor <3% variatie in filmdikte bij CVD/PVD

Fab-Ready integratie
» Vooraf geladen AMAT/LAM/TEL protocollen
→ 90% 300mm toolcompatibiliteit, 65% minder downtime

Energy TwinDrive™
» 35% lager energieverbruik t.o.v. conventionele paren
→ SEMI S23 gecertificeerd, >$18k jaarlijkse besparing

Geen kruisbesmetting
» Aanpasbare stroombanen  + gelaste lasnaden
→ Compatibel met UPW/fluorinert/EGW

Kerncomponenten & Bediening:

CompoNent	TECHNOLOGIE
Compressor	Hermetische invertercompressor met vloeistofslagbescherming (±0. 1℃ controle)
Condensator	Roestvrij staal, <5% thermische verliezen
Verdampfer	Plaatontwerp, 35% hogere efficiëntie, ≤55dB geluid
Verwarming	Ondergedompeld directverwarming, ±0,3℃ uniformiteit
Expansieventiel	Elektronische klep met ±1℃ oververhittingsregeling
Pomp	Mag-drive pomp (gefluoreerde vloeistofversie), <2% debietfluctuatie

Koelprincipe:

Adaptieve PID-koelcyclus :
1️⃣ Compressie → Verhitting van koudemiddel
2️⃣ Condensatie → Warmte-afvoer en vloeistofvorming
3️⃣ EEV-regeling → Laagdrukcreatie
4️⃣ Verdamping → Precisie-warmteopname vanaf de apparatuur
5️⃣ Invertermatige stroomregeling → Handhaaft ±0. 1℃ stabiliteit