EN
Drievoudige Koelinstallatie
Temperatuurstabiliteit : ±0,1℃
Temperatuurbereik : -40°C～+80°C
Koelcapaciteit : -40℃@6 KW /20℃@25 KW
Industriële compressorkoeler uitgerust met compressoren van premiummerken voor uitzonderlijke stabiliteit. Levert ±0,1℃ uitlaattemperatuurstabiliteit voor kritische toepassingen, waaronder:
Koeling van fotolithografie\/etching-apparatuur
Thermisch beheer van PVD\/CVD-tools
Temperatuurregeling voor chemische en farmaceutische reactoren
GMP-conforme farmaceutische proceskoeling
- Overzicht
- Aanbevolen producten
Technische beschrijving:
Lingheng Driekanaalskoelers leveren multi-load precisiekoeling (±0,1°C) in één enkele unit. Met configureerbare uitgangen voor stabiele omgevingen, bieden zij:
✅ SLIMME BESTURING : Geplande bediening, automatische compensatie, zelfdiagnose
✅ Drievoudige veiligheid : Oververhitting/overbelasting/watergebrek alarmen
✅ Industriële connectiviteit : I/O, RS232/RS485, Ethernet/IP
Ontworpen voor halfgeleider cluster tools en PV productielijnen met 30% energiebesparing.
Belangrijkste voordelen:
TripleSync™ Integratie
» 3 onafhankelijke circuits in één chassis
→ 55% verminderde cleanroom footprint
Cluster-Grade Precisie
» ±0,1℃ stabiliteit met <±0,03℃ inter-circuit gradient
→ Maakt multi-chamber proces synchronisatie mogelijk
Dynamische Lastbalansering
» Slimme koelverdeling (totale capaciteit 30 kW)
→ 28% energiebesparing bij variabele belastingen
Veelhoekschappelijke compatibiliteit
» Plug-and-play met ASML/AMAT/TEL clustertools
→ Ondersteunt 300mm fabs & PV TOPCon lijnen
Ultraheldere Titanium Ecosysteem
» Aanpasbare stromingspaden met modulaire afsluiting
→ <0,1 ppb vloeistofresidu (in lijn met klasse 10)
Kerncomponenten & Bediening:
CompoNent |
TECHNOLOGIE |
Compressor |
Hermetische invertercompressor met vloeistofslagbescherming (±0. 1℃ controle) |
Condensator |
Roestvrij staal, <5% thermische verliezen |
Verdampfer |
Plaatontwerp, 35% hogere efficiëntie, ≤55dB geluid |
Verwarming |
Ondergedompeld directverwarming, ±0,3℃ uniformiteit |
Expansieventiel |
Elektronische klep met ±1℃ oververhittingsregeling |
Pomp |
Mag-drive pomp (gefluoreerde vloeistofversie), <2% debietfluctuatie |
Koelprincipe:
Adaptieve PID-koelcyclus :
1️⃣ Compressie → Verhitting van koudemiddel
2️⃣ Condensatie → Warmte-afvoer en vloeistofvorming
3️⃣ EEV-regeling → Laagdrukcreatie
4️⃣ Verdamping → Precisie-warmteopname vanaf de apparatuur
5️⃣ Invertermatige stroomregeling → Handhaaft ±0. 1℃ stabiliteit
| VT410 Productparameters | |
| Productnaam | Koeler |
| Product Model | VT410-W-33 |
| Koelmethode | Waterkoeling |
| Besturingsmodus | PID-regeling |
| Temperatuurregeling | CH1:-45~+60℃ |
| CH2:+30~+90℃ | |
| CH3:+10~+55℃ | |
| Precisie | ±0.1℃ |
| Koelcapaciteit | CH1:6 kW@-40℃ |
| CH2:30 kW@+30℃ | |
| CH3:28 kW@+20℃ | |
| Vermogen | CH1:4 kW |
| CH2:14 kW | |
| CH3:4 kW | |
| Tank | CH1 / CH2 gedeelde expansietank 30L + warmwatertank 25L |
| Circulerende vloeistofstroom | CH1:17 L/min @ 0,9MPa |
| CH2:17 L/min @ 0,9MPa | |
| CH3:25 L/min @ 0,76MPa | |
| PCW-verkeer | CH1: 50 L/min@15~25℃@0,3MPa |
| CH2: 20 L/min@15~25℃@0,3MPa | |
| CH3: 50 L/min@15~25℃@0,3MPa | |
| Temperatuurbereik | 5~35 ℃ |
| Type circulerend medium | FC3283 |
| Circulatievloeistofaansluiting | CH1/CH2/CH3: Rc 3/4" |
| PCW-aansluiting | CH1/CH2/CH3: Rc1" |
|
Externe afmetingen (mm) |
600B*1370D*2000H |
| Ingangspanning | 3Ph,380-400V,50Hz |
| Totale machine vermogen | 41,1 kW |
| Nettogewicht | 600 kg |
| Ontwerpnormen | Semi |
