Drievoudige Koelinstallatie

Temperatuurstabiliteit : ±0,1℃

Temperatuurbereik : -40°C～+80°C

Koelcapaciteit : -40℃@6 KW /20℃@25 KW
Industriële compressorkoeler uitgerust met compressoren van premiummerken voor uitzonderlijke stabiliteit. Levert ±0,1℃ uitlaattemperatuurstabiliteit voor kritische toepassingen, waaronder:

Koeling van fotolithografie\/etching-apparatuur

Thermisch beheer van PVD\/CVD-tools

Temperatuurregeling voor chemische en farmaceutische reactoren

GMP-conforme farmaceutische proceskoeling

Overzicht
Aanbevolen producten

Technische beschrijving:

Lingheng Driekanaalskoelers leveren multi-load precisiekoeling (±0,1°C) in één enkele unit. Met configureerbare uitgangen voor stabiele omgevingen, bieden zij:
✅ SLIMME BESTURING : Geplande bediening, automatische compensatie, zelfdiagnose
✅ Drievoudige veiligheid : Oververhitting/overbelasting/watergebrek alarmen
✅ Industriële connectiviteit : I/O, RS232/RS485, Ethernet/IP
Ontworpen voor halfgeleider cluster tools en PV productielijnen met 30% energiebesparing.

原理图5-英.png

Belangrijkste voordelen:

TripleSync™ Integratie
» 3 onafhankelijke circuits in één chassis
→ 55% verminderde cleanroom footprint

Cluster-Grade Precisie
» ±0,1℃ stabiliteit met <±0,03℃ inter-circuit gradient
→ Maakt multi-chamber proces synchronisatie mogelijk

Dynamische Lastbalansering
» Slimme koelverdeling (totale capaciteit 30 kW)
→ 28% energiebesparing bij variabele belastingen

Veelhoekschappelijke compatibiliteit
» Plug-and-play met ASML/AMAT/TEL clustertools
→ Ondersteunt 300mm fabs & PV TOPCon lijnen

Ultraheldere Titanium Ecosysteem
» Aanpasbare stromingspaden met modulaire afsluiting
→ <0,1 ppb vloeistofresidu (in lijn met klasse 10)

结构图.png

Kerncomponenten & Bediening:

CompoNent	TECHNOLOGIE
Compressor	Hermetische invertercompressor met vloeistofslagbescherming (±0. 1℃ controle)
Condensator	Roestvrij staal, <5% thermische verliezen
Verdampfer	Plaatontwerp, 35% hogere efficiëntie, ≤55dB geluid
Verwarming	Ondergedompeld directverwarming, ±0,3℃ uniformiteit
Expansieventiel	Elektronische klep met ±1℃ oververhittingsregeling
Pomp	Mag-drive pomp (gefluoreerde vloeistofversie), <2% debietfluctuatie

Koelprincipe:

Adaptieve PID-koelcyclus :
1️⃣ Compressie → Verhitting van koudemiddel
2️⃣ Condensatie → Warmte-afvoer en vloeistofvorming
3️⃣ EEV-regeling → Laagdrukcreatie
4️⃣ Verdamping → Precisie-warmteopname vanaf de apparatuur
5️⃣ Invertermatige stroomregeling → Handhaaft ±0. 1℃ stabiliteit

VT410 Productparameters		VT210-W-32
Productnaam	Koeler
Product Model	VT410-W-33	VT210-W-33
Koelmethode	Waterkoeling
Besturingsmodus	PID-regeling
Temperatuurregeling	CH1:-45~+60℃	Kanaal 1: +10 ℃ ~ +80 ℃

	CH2:+30~+90℃	Kanaal 2: +30 ℃ ~ +90 ℃

	CH3:+10~+55℃	Kanaal 3: +30 ℃ ~ +90 ℃
Precisie	±0.1℃
Koelcapaciteit	CH1:6 kW@-40℃	Kanaal 1: 15 kW bij 20 °C

	CH2:30 kW@+30℃	Kanaal 2: 20 kW bij +60 °C

	CH3:28 kW@+20℃	Kanaal 3: 20 kW bij +60 °C
Vermogen	CH1:4 kW

	CH2:14 kW

	CH3:4 kW
Tank	CH1 / CH2 gedeelde expansietank 30L + warmwatertank 25L
Circulerende vloeistofstroom	CH1:17 L/min @ 0,9MPa	25 l–30 l/min bij 0,65 MPa

	CH2:17 L/min @ 0,9MPa

	CH3:25 L/min @ 0,76MPa
PCW-verkeer	CH1: 50 L/min@15~25℃@0,3MPa

	CH2: 20 L/min@15~25℃@0,3MPa

	CH3: 50 L/min@15~25℃@0,3MPa
Temperatuurbereik	5~35 ℃
Type circulerend medium	FC3283
Circulatievloeistofaansluiting	CH1/CH2/CH3: Rc 3/4"	CH1/CH2/CH3: Rc 3/4"
PCW-aansluiting	CH1/CH2/CH3: Rc1"	Kanaal 1/Kanaal 2/Kanaal 3: Rc1-1/4"
Externe afmetingen (mm)	600B1370D2000H	1100B1400D1600H
Ingangspanning	3Ph,380-400V,50Hz
Totale machine vermogen	41,1 kW
Nettogewicht	600 kg
Ontwerpnormen	Semi