Жартылай өткізгіштер өндірісіне арналған дәл салқындату шешімдері
Прогрессивті чиллерлер чиптердің келесі буынын қуаттап, шығынды азайтып, өнімділікті қалай арттырады
“5 нм түйіндерде термиялық тұрақсыздықпен 40% өнім бұзылады — біздің чиллер жүйелеріміз оны 37%-ға азайтады.”
Термиялық дәлдік = Кәсіпкерлік тиімділік: Маңызды қолданулар
1. EUV литография салқындату жүйелері
Саладағы негізгі проблема: 0,1°C су температурасының тербелісі 3 нм-ден астам қабат ақауларына әкеледі
Біздің Шешімі:
✅ GVS CO₂ чиллерлері
суперкритикалық R744 салқындатқыш арқылы ±0,1°C тұрақтылық
Тербеліс жоқ тарату (<0,1 мкм) ASML NXE объективтің бұрмалануын болдырмау
лазер энергиясының ырғағына 20 мс жауап беру
2. Ионды енгізу криогендік жүйелері
Салаға тән қиыншылық: Баяу суыту 40% құрылғы кетуіне әкеліп соғатын торлық ақауларды тудырады
Біздің Шешімі:
✅ U-Series Cascade Cryogenic Units (-80°C)
каскадты суытудың 8 минуттық тез суытуы -50°C дейін
PID алгоритмімен басқарылатын температураны басқару
Диэлектрлік айналым жоғары кернеулі доғаны болдырмау үшін қажет
3. Көп аймақты CVD температуралық бақылау
Салаға тән қиыншылық: Камера қабырғасының ауытқуы ±5% қабат қалыңдығының ауытқуына әкеліп соғады
Біздің Шешімі:
✅ VT Үш каналды чиллерлер
Газ желілері/камера/вакуумдық сорғылар үшін тәуелсіз ±0,1°C бақылау
Қолданбалы материалдар Endura™-мен интегралданған жылу ағынын болжау
Тұйықталған цикл қоспасыздандыруды болдырмау
Суытудан тыс: Стратегиялық мән қозғалтқыштары
♻️ Энергетикалық тұрақтылық
Жылу қалдықтарын қайта өңдеу (85°C → UPW генерациясы) цехтың энергия пайдалануын 23% азайтады
Индустрия 4.0 интеграциясы
Әрбір пластина бойынша көміртегі ізін бақылау және нақты уақытта шығарындылар туралы есеп беру
️ Ластанбау әрекеті
|
Көзімізде |
Дәстүрлі чиллерлер |
Біздің шешіміміз |
|
PFAS-тің сыртқа шығуы |
Аймақтық салынатын айыппұл |
Табиғи R744 (REACH стандартына сай) |
Болашаққа дайын фабрикалар: Келесі ұрпақ дайындығы
Технологиялық жоспарлау бағыты
|
Түйін |
Пайда болып жатқан талап |
Біздің жауап |
|
3 нм |
Көп аймақты жылу біркелкілігі |
Болжауыш градиентті басқару |
|
2 нм |
Кванттық деңгейдегі тұрақтылық |
АI-негізіндегі тербеліс басу |
|
GWP |
<150 міндетті стандарт |
R744 салқындатқыш зат (GWP=1) |
1.Техникалық оқулықты дамыту
ASML/Пайдалану Материалдары™ брендінің тауарлық белгісін көрсету
Стандартталған өнеркәсіптік терминдер: «суперкритикалық R744» («CO₂ циклі» емес), «каскадты салқындату»
2.Деректер бүтіндігін сақтау
Ақпараттық көрсеткіштерді қатаң сақтау: ±0,1°C, <0,1 мкм, 23% энергия үнемдеу
Математикалық белгілер: >3 нм ("3 нм жоғары" емес), ±5% ауытқу
3.Проблема-шешім құрылымы
Әрекет етуші тұлғаға айналдырылған көтеріңкі нүктелер: "3 нм дейінгі қателерге әкеліп соғады"
Визуалды сканерлеу үшін ✅ белгісімен басталатын шешімдер
4.Реттеу дәлдігі
REACH сәйкестігі туралы тұжырымдама
PFAS ("фторлы" сөзін ауыстырады) Фторлы салқындатқыш заттар ") - EPA терминологиясы бойынша
5.Жол картасының сенімділігі
Техникалық дамуді көрсететін нүктелердің дамуы (5 нм→3 нм→2 нм)
Көміртегі саясатының интеграциясы (GWP стандарттары)
цифрлық тарату үшін эмодзилер сақталынады
Салыстырмалы деректер үшін таза кесте пішімдеу
EN
