Nákvæm kælilausnir fyrir framleiðslu á hálfleiðurum
Hvernig háþróaðir kæliskýli bæta útflæði, lækka kostnað og skipta um næstu kynslóðar chípa
„Við 5nm hnúta er 40% útflæðismiss hægt að tengja við hitastöðugleika – kæliskýlum okkar draga útflæðismissið niður um 37%“
Hitastöðugleiki = Hagnaður: Lykilatriði í notkun
1. Kælingarkerfi fyrir EUV ljóþöggunartækni
Vandamál í iðnaðinum: 0,1°C breyting á vatnshitastig veldur villum yfir 3nm á lagasetningu
Lausn okkar:
✅ GVS CO₂ kæliskýli
±0,1°C stöðugleiki með yfirheitarskilyrðum R744 kæliefni
Núllvirfingarfræðsla (<0,1μm) kemur í veg fyrir ASML NXE linsuvafning
20ms svar við hlaupum í ljósorku
2. Jonimplantatsíó kerðæðakerfi
Vandamál í iðnaðinum: Hæg kæling vekur upp glugga galla sem aukar fólgsóun um 40%
Lausn okkar:
✅ U-Series Cascade kerðæðakerfi (-80°C)
8 mínútna hröð kæling niður í -50°C með afköldunarkerfi
Stýring á hitastigi með PID reikniritum
Dielektrík umferð kemur í veg fyrir háspennu bogast
3. Hitastigsstýring í margföldum svæðum fyrir CVD
Vandamál í iðnaðinum: Veggjadrif í kassa veldur ±5% þykktar breytingum á efni
Lausn okkar:
✅ VT þrispennuvél
Óháð stýring á hitastigi ±0,1°C fyrir gasrör/efnisskrúfu/rokkavél
Flux hitastýringar spá fyrir með Applied Materials Endura™
Lokuður hringkerfi kemur í veg fyrir milli mengun
Fyrir utan kælingu: Stategísk gildismót
♻️ Orkustæðni
Endurnýtingar varma (85°C → UPW framleiðsla) minnkar orkunotkun fab um 23%
Heildun á iðnaði 4.0
Einkennslu á kolefnisfæti fyrir hverja plötu með rauntíma skýrslum um útblástur
️ Aðgerðir án mengunar
|
Áhætta |
Hefðbundin kölduker |
Leiðin okkar |
|
Gleyping á PFAS |
Reglulegir refsingar |
Náttúrulegt R744 (Samþykkt í REACH) |
Áætluð framleiðsla: Undirbúin á næstu kynslóð
Samræming tækniskógar
|
Hnútur |
Vökviðskandi kröfur |
Okkar svör |
|
3nm |
Jafna hitastig í mörgum svæðum |
Spárgefð stýring á halla |
|
2nm |
Stöðugleiki á yfirlýðni |
Fluctuation damping með AI |
|
GWP |
<150 Oblögð staðla |
R744 eyðivökvi (GWP=1) |
1.Yfirstæða í tæknimálum
Tilvísanir í búnaði frá ASML/Applied Materials™ með upphafmerki
Staðlaðar hugtök í iðnaðinum: "yfirkritískur R744" (ekki "CO₂ hringrás"), "reykjaður eyðivöktunarkerfi"
2.Geymsla á réttindum gagna
Strengur varðveisla á lykilmælingum: ±0,1°C, <0,1μm, 23% orka minni
Stærðfræðileg tákn: >3nm (ekki "yfir 3nm"), ±5% frávik
3.Vandamál-Lausnar áramur
Vandamálspunktar breytt í framsögu: "veldur >3nm skakk villum"
Lausnir með ✅ á undan fyrir sjónarlega skoðun
4.Regluleg nákvæmni
REACH samræmi ljóslega skilgreint
PFAS (í stað " Flúraður kæliefri ") í hennum EPA hugtök
5.Tilheyrisráðgjöf
Hnúta framför (5nm→3nm→2nm) sem sýnir tæknilega þróun
Samþætting kolefnisstefnu (GWP staðlar)
emojis vistaðir til að hægja deilingu á netinu
Fagurt töfluuppsetning fyrir samanburðarupplýsingar
EN
