Двоканални хладилник

Технички опис:

Лингхенг Двоструко-Циркут Цхилери обезбеђују двоструку независну контролу температуре у једној јединици.
Са главним ликом стабилност ± 0,1°C по колачу , ови системи су дизајнирани за:

Синхронизовано хлађење ПВД/ЦВД комора

Теплосна контрола више зона у алатима за ецкинг
Са 40% мањим узором и индустријском компатибилношћу (АМАТ/ЛАМ/ТЕЛ), они редефинишу прецизно хлађење које је ефикасно у простору.

Главне предности:

Ефикасност два у једном
Замена двоструких хладњака са независним колама
→ 40% уштеде простора у чистим просторима + 30% смањење CAPEX-а

Прецизна двојна контрола
±0,1°C стабилност по кругу (ΔТ<0. 2℃)
→ Обезбеђује <3% варијације дебљине филма у ЦВД/ПВД

Интеграција са фабричким уређајем
Преднаточени АМАТ/ЛАМ/ТЕЛ протоколи
→ 90% компатибилност са алатом од 300 мм, 65% мање времена одсуства

Енергијски ТвинДрайвTM
35% мање енергије у поређењу са конвенционалним парима
→ Сертификовани од стране СЕМИ С23, годишња уштеда од > 18 000 долара

Нулто међуконтаминација
Направљања протока која се могу прилагодити  + ласерски заваљени зглобови
→ Компатибилан са УПВ/флуоринтертом/ЕГВ

Основне компоненте и рад:

Компонента	Технологија
Компресор	Херметички инверторски компресор са заштитом од упадање течности (±0. 1°C контрола)
Кондензатор	Нехрђајући челик, топлотни губитак < 5%
Изпаривач	Дизајн од типа плоча, 35% већа ефикасност, ≤55dB бука
Грејач	Потопљено директно загревање, равномерност ±0,3°C
Прошириони вентил	Електронски вентил са ±1°C контролом прегревања
Пумпа	Маг-драјв пумпа (верзија флуорисане течности), флуктуација протока < 2%

Принцип хлађења:

Адаптивни ПИД циклус хлађења :
1️ Компресија → Пресуризација хладњака
2️ Кондензација → Дисипација топлоте и ликвификација
3️ Гроцтолинг ЕЕВ → Генерација ниског притиска
4️ Испаравање → Прецизна апсорпција топлоте из опреме
5️ Контрола протока инвертора → Одржава ±0. 1стабилност у °C