Хладњак са два канала

Технички опис:

Лингхенг двоструки систем хладњака олакшавају двоструко независно контролисање температуре у једној јединици.
Са ±0,1℃ стабилност по колу , ови системи су пројектовани за:

Синхронизовано хлађење PVD/CVD комора

Управљање температуром у више зона у алата за трављење
Са 40% мањом заузетом површином и провереном компатибилношћу у индустрији (AMAT/LAM/TEL), они преиспитују прецизно хлађење на огранином простору.

Кључне предности:

Ефикасност два у један
» Замењује двоструке хладњаке са независним колима
→ 40% čistije prostora uštede + 30% smanjenje investicija

Precizno dvostruko upravljanje
» ±0,1℃ stabilnost po kolu (ΔT<0. 2℃)
→ Obezbeđuje <3% varijaciju debljine filma u CVD/PVD

Fab-Ready integracija
» Unapred učitani AMAT/LAM/TEL protokoli
→ 90% kompatibilnost sa 300mm alatom, 65% manje vremena bez rada

Energy TwinDrive™
» 35% niža potrošnja energije u odnosu na konvencionalne parove
→ SEMI S23 sertifikovano, >$18k godišnje uštede

Nula međusobnog kontaminiranja
» Prilagodljivi tokovi  + Zavarani spojevi laserski
→ Kompatibilan sa UPW/fluorinerom/EGW

Osnovne komponente i rad:

Komponenta	Tehnologija
Kompresor	Hermetički kompresor invertora sa zaštitom od tečnog udara (±0. 1℃ kontrola)
Kondenzator	Nehrđajući čelik, <5% gubitka toplote
Isparivač	Pločasti dizajn, 35% veća efikasnost, buka ≤55dB
Грејач	Direktno zagrevanje uronjenog tipa, ravnomernost ±0,3℃
Валтв експанзије	Elektronski ventil sa kontrolom pregrevanja ±1℃
Pumpa	Magnetni pump (verzija sa fluoriranim fluidom), fluktuacija protoka <2%

Princip hlađenja:

Adaptivni PID ciklus hlađenja :
1️⃣ Komprimovanje → Povećanje pritiska rashladnog sredstva
2️⃣ Kondenzacija → Odvođenje toplote i tečenje
3️⃣ EEV regulacija → Stvaranje niskog pritiska
4️⃣ Isparivanje → Precizno apsorbovanje toplote sa opreme
5️⃣ Kontrola toka invertora → Održava ±0. 1℃ stabilnost