EN
Једноканали хладњаци
Температурна стабилност : ±0,1℃
Температурни опсег : -40˚C～+80˚C
Квалитет хлађења : -40℃@6 KW/20℃@25 KW
Са главним ликом управљање температуром засновано на инвертору , овај систем побољшава енергетску ефикасност и смањује потрошњу енергије. Обезбеђује ±0,1℃ стабилност за примене које захтевају прецизност, укључујући:
Алат за етчинг полупроводника и CMP (хемијско-механичко полирање)
Лабораторијски инструменти и тестирајућа опрема високе прецизности
Естетички медицински уређаји и ласери на чврстом стању
Системи за контролу температуре алата
- Преглед
- Препоручени производи
Технички опис:
Лингхенг једноканали чилери обезбеђују прецизно управљање термичким процесима уз интегрисан компактан дизајн.
Проектиран за прецизно хлађење самосталних уређаја , наше јединице имају ПИД контролу од ±0,1℃ и
инвертор компресор технологију за критичне примене као што су:
Алати за метрологију полупроводника
Ласерски системи за обраду
Медицински анализатори
Поставке тестирања
Изоловани флуидни коло спречава унакрсно загађење, док изградња без PCW-а смањује трошкове инсталације за 30%.
Главне предности:
Криогена екцеленција : Рад на -40℃ са временом прелаза температуре <3 минута
Циркулација без губитака : Цевовод заварен ласером са годишњим губитком флуида <0,1%
Ефикасност инвертора : Штедња енергије од 35% у односу на моделе са фиксном брзином (сертификовано по SEMI S23)
Динамички рад при промени температуре : Постизање брзине промене температуре ±5℃/мин
Интеграција више протокола : Готово за интеграцију са алатима ASML/TEL/LAM (SECS/GEM & OPC-UA) 
Кључни компоненти и рад
Компонента |
Технологија |
Компресор |
Hermetički kompresor invertora sa zaštitom od tečnog udara (±0. 1℃ kontrola) |
Кондензатор |
Nehrđajući čelik, <5% gubitka toplote |
Изпаривач |
Pločasti dizajn, 35% veća efikasnost, buka ≤55dB |
Грејач |
Direktno zagrevanje uronjenog tipa, ravnomernost ±0,3℃ |
Прошириони вентил |
Elektronski ventil sa kontrolom pregrevanja ±1℃ |
Пумпа |
Magnetni pump (verzija sa fluoriranim fluidom), fluktuacija protoka <2% |
Princip hlađenja
Adaptivni PID ciklus hlađenja :
1️⃣ Komprimovanje → Povećanje pritiska rashladnog sredstva
2️⃣ Kondenzacija → Odvođenje toplote i tečenje
3️⃣ EEV regulacija → Stvaranje niskog pritiska
4️⃣ Isparivanje → Precizno apsorbovanje toplote sa opreme
5️⃣ Kontrola toka invertora → Održava ±0. 1℃ stabilnost
| Параметри производа VS100/407/020 | |||
| Модел производа | VS100-W-32 | VS020-W-32 | VS407-W-33 |
| Метода хлађења | Водно хлађење | ||
| Режим управљања | ПИД контрола | ||
| Диапазон контроле температуре | -20℃~+80℃ | -40℃~+80℃ | |
| Прецизност | ±0.1℃ | ||
| Квалитет хлађења |
-20 ℃@2 KW -10℃@4 KW 0℃@6 KW 20℃@10 KW 80℃@10 KW |
-20℃@5 KW -10℃@10 KW 0℃@15 KW 20℃@25 KW 40℃@25 KW |
-40℃@6 KW -20℃@12 KW 0℃@25 KW 20℃@25 KW 40℃ @25 KW |
| Сила | 3КВ | ||
| Танк | 20 л | 25 л | |
| Protok cirkulišućeg fluida | 20L/min（0,75Mpa） | 20 L/min (0,7 MPa) | |
| PCW saobraćaj | 15 L/min@15~25℃ | 30 L/min @ 15~25 ℃ | 50 L/min @ 15~25 ℃ |
| Температурни опсег | 5~35℃ | ||
| Врсте циркулирајућих течности | Мејшавина етилен гликола, чиста вода, флуорисана течност | Чиста вода, мешавина етилен гликола, чиста вода, флуорисана течност | Мешавина етилен гликола, флуорисана течност |
| Хладнични материјал | Р410А | / | / |
| Interfejs cirkulišućeg fluida | Rc3/4“ | ||
| Interfejs PCW-a | RC1/2” | Rc3/4" | Rc1-1/4" |
| Спољашње димензије (мм) | 380W*900D*1300H | 420W*900D*1250H | 500W*1150D*1500H |
| Улазни напон | 3Ph,208-220V,50Hz | 3Ph,208-220V,50Hz | 3Ph,380-400V,50Hz |
| Мощност машине | 8КВ | 9,7 kW | 14кВ |
| нето тежина | 200 кг | 210 кг | 360 кг |
| Стандарди пројектовања | Половина | ||
