UPW грејач
Температурна стабилност : ±0,1℃
Температурни опсег : -20˚C~+80˚C
Топлина :48KW-192KW
Modul za grejanje ultrčiste vode (UPW) , Projektovan za preciznu termalnu kontrolu u kritičnim procesima proizvodnje poluprovodnika, ovaj napredni sistem grejanja koristi halogene lampe u kvarc kućištu za grejanje bez kontakta, čime se izbegava bilo kakvo metalno kontaminiranje.
- Преглед
- Препоручени производи
Обхват примене
Производња полупроводника : Чишћење силицијумских плоча или композитних материјала
Индустрија литијум-батерија и соларних фотоволтајских система : Системи за чишћење производних линија
Индустрија дисплејних панела : Чишћење стаклених супстрата ЛЦД-а
Еко-пријатељска алтернатива : Замена чишћења фреоном чишћењем ултрапуром водом
Кључне карактеристике
Врхунски материјал за конструкцију
Нагревни елементи од кварца високе чистоће
Флуорополимерни цевоводни системи
Технологија загревања халогеном лампом без контакта
Dizajn optimizovan za prostor
Ултра танки профил минимизира простор
Inteligentna kontrola temperature
Халогене лампе велике снаге омогућавају брзо загревање
Аутоматска регулација температуре на основу варијација тока у реалном времену
Перформансе и сигурност
≥95,8% ефикасност загревања
Комплетна заштита са алармима за:
Аномалије тока
Прејаче услове
Заштита од рада без воде
Детекција пропуста
Neispravnost senzora
Kvarovi grejača
| Модел | SWH-48 | SWH-72L | SWH-96L | SWH-144L | SWH-192L | |
| Метода за грејање | Primenjuje grejanje infracrvenim zračenjem | |||||
| Извршавање | Сила | 48 kW | 72kw | 96KW | 144KW | 192kw |
| Standardni protok (△T55℃) | 12LPM | 18LPM | 24LPM | 36LPM | 48LPM | |
| Minimalni protok za grejanje | 4-6LPM | 8-12LPM | ||||
| Opseg postavljene temperature | 20-100℃ | |||||
| Точност контроле температуре | ±1℃ (Zavisi od uslova) | |||||
| Opseg prikaza protoka | 0-60LPM | |||||
| Состав | Грејач | Halogeno crevo, indirektna metoda grejanja bez kontakta sa tečnošću | ||||
| Materijal grejača | Kvarc visoke čistoće, transparentan | |||||
| Delovi u kontaktu sa tečnošću i materijali cevovoda | Kvarc visoke čistoće, transparentan i crevo od PFA visoke čistoće | |||||
| Funkcija sigurnosne reakcije | Neprikladan protok, visoka temperatura, suvo grejanje, curenje, prekid senzora, topljenje halogenog vlakna itd. | |||||
| Funkcija spoljašne komunikacije | RS-232C, RS-485, Modbus TCP/IP | |||||
| Функција спољашњег уноса/излаза | 8 улазних, 14 излазних сигнала | |||||
| Други | Внешње димензије (мм) | 450W*900D *1625H | 450W*1000D *1725H | 700W*1000D *1725H | 700W*1000D *1850H | 800W*1000D *2000H |
| Податак енергије | AC 380V 50/60Hz трофазни петожични | |||||