EN
CO2 hladnjaci
Температурна стабилност : ±0,1℃
Температурни опсег : -20˚C～+80˚C
Квалитет хлађења : -20℃@2 KW/20℃@10 KW
Osiguravajući preciznu kontrolu toplotnog režima putem kompaktnih hladnjaka sa kompresorima za :
Izrada i testiranje poluprovodničkih pločica
Validacija baterije/e-pogona za nova energija
Hlađenje precizne opreme
Primene vazdušnog hlađenja po meri
- Преглед
- Препоручени производи
Технички опис:
Lingheng CO₂ ултрачист чилер
Употреба природни хладњак (GWP=1, ODP=0) да испоручи ±0,1℃ прецизно контролисање температуре за напредне полупроводничке процесе. Омогућава -40℃ до +100℃ рад у широком опсегу путем транскритичног циклуса технологије, компатибилно са применама од критичног значаја:
Фотолитографија
Graviranje
Нанос у танким слојевима (ALD)
Potpuno zaptovana cirkulaciona putanja odgovara standardima čiste prostorije klase 100, dok Konstrukcija bez F-gasa smanjuje izloženost porezu na CO2 — postiže se savršenstvo procesa i usklađenost sa ESG standardima.
Ključne prednosti:
Ekološka održivost:
GWP=1 - Potpuno usklađeno sa globalnim klimatskim ciljevima, smanjuje izloženost porezu na CO2
Prirodni rashladni sredstva - Uklanja potrebu za oporavkom/odlaganjem fluoriranih gasova
Nula ODP - У складу са међународним прописима (нпр. Амандман из Кигалеја)
±0,1℃ прецизност контроле - Омогућава напредне чворове (TSMC 5nm флуорисани хладњак у складу са отказивањем употребе)
Рад без загађења - Остатак CO₂ <1ppb, сертификован за чисте просторије класе 1000
30% већи COP - Транскритични циклус инвертор технологија (потврђено у односу на LIAT 1.0 основу)
Безбедносне карактеристике:
- Нетоксичан и незапаљив - Елиминише ризик од цурења флуорисаних хладњака
Smanjenje fab rižika - 68% niži indeks opasnosti po životnu sredinu (prema SEMI S10)
Osnovne komponente i rad:
Компонента |
Технологија |
Компресор |
Hermetički kompresor sa zaštitom od tečnosti (±0,5℃ kontrola) |
Кондензатор |
Nehrđajući čelik, <5% gubitka toplote |
Изпаривач |
Titanijumska ploča, 35% veća efikasnost, buka ≤55dB |
Грејач |
Direktno zagrevanje uronjenog tipa, ravnomernost ±0,3℃ |
Прошириони вентил |
Elektronski ventil sa kontrolom pregrevanja ±1℃ |
Пумпа |
Magnetni pump (verzija sa fluoriranim fluidom), fluktuacija protoka <2% |
Princip hlađenja:
1. Kompresija → Povećanje pritiska rashladnog sredstva
2. Kondenzacija → Odvođenje toplote i tečnost
3. EEV regulacija → Stvaranje mlaza pri niskom pritisku
4. Isparanje → Precizno upijanje toplote od opreme
5. Invertorska regulacija protoka → Održava ±0. 1℃ stabilnost
| GVS010 Параметри производа | |
| Модел производа | GVS010-W-32F |
| Метода хлађења | Hlađenje vodom |
| Режим управљања | ПИД контрола |
| Диапазон контроле температуре | -20℃~+80℃ |
| Прецизност | ±0.1℃ |
| Квалитет хлађења |
-20 ℃@2 KW -10℃@4 KW 0℃@6 KW 20℃@10 KW 80℃@10 KW |
| Сила | 3КВ |
| Танк | 20 л |
| Protok cirkulišućeg fluida | 20L/min（0,75Mpa） |
| PCW saobraćaj | 15 L/min@15~25℃ |
| Температурни опсег | 5~35℃ |
| Врсте циркулирајућих течности | Мешавина етилен гликола, чиста вода, флуорисана раствора |
| Хладнични материјал | R744（CO2） |
| Interfejs cirkulišućeg fluida | Rc3/4” |
| Interfejs PCW-a | RC1/2” |
| Спољашње димензије (мм) | 380W*900D*1250H |
| Улазни напон | 3Ph,208-220V,50Hz |
| Мощност машине | 8КВ |
| нето тежина | 200 кг |
| Стандарди пројектовања | Половина |
