EN
Цхолери ЦО2
Температурна стабилност : ± 0,1°C
Температурни опсег : -20 ̊C+80 ̊C
Квалитет хлађења : -20°C@2 KW/20°C@10 KW
Додавање прецизне топлотне контроле кроз компактне компресорске хладнице за :
Производња и испитивање полупроводничких вафера
Уколико је потребно, додајте бројку.
Прецизно хлађење опреме
Употреба за хлађење ваздухом специфична за испитивање
- Преглед
- Препоручени производи
Технички опис:
Лингхенг ЦО2 ултрачисти хладилник
Употреба природни хладњак (ГВП=1, ОДП=0) да испоручи точна топлотна контрола ± 0,1°C за напредне полупроводничке процесе. Омогућава -40℃ до +100℃ рад у широком опсегу путем транскритичног циклуса технологије, компатибилно са применама од критичног значаја:
Фотолитографија
Ецкинг
Атомска слојна депозиција (АЛД)
Пълно запечаћени пут протока испуњава стандарде класе 100 чисте собе, док Проекција без Ф-гаса уколико је потребно, уколико је потребно, може се користити и други начини за решење проблема.
Главне предности:
Окружна одрживост:
ГПП=1 - Потпуно у складу са глобалним климатским циљевима, ублажавање изложености порезу на угљеник
Природни хладњак - елиминише захтеве за опоравак/уклађивање флуорисаних гасова
0 ОДП - У складу са међународним прописима (нпр. Kigali Amendment)
уколико је потребно, за контролу прецизности - Омогућава напредне чворове (TSMC 5nm флуорисани хладњак у складу са отказивањем употребе)
Рад без загађења - Остатак CO₂ <1ppb, сертификован за чисте просторије класе 1000
30% већи COP - Транскритични циклус инвертор технологија (потврђено у односу на LIAT 1.0 основу)
Безбедносне карактеристике:
- Нетоксичан и незапаљив - Устрањује ризике од цурења флуорисаног хладњака
Смањење ризика од Фаб - 68% нижи индекс опасности за животну средину (по СЕМИ С10)
Основне компоненте и рад:
Компонента |
Технологија |
Компресор |
Херметички инвертерски компресор са заштитом од течности (уређивање ± 0,5°C) |
Кондензатор |
Нехрђајући челик, топлотни губитак < 5% |
Изпаривач |
Титанова плоча, 35% већа ефикасност, бука ≤ 55 дБ |
Грејач |
Потопљено директно загревање, равномерност ±0,3°C |
Прошириони вентил |
Електронски вентил са ±1°C контролом прегревања |
Пумпа |
Маг-драјв пумпа (верзија флуорисане течности), флуктуација протока < 2% |
Принцип хлађења:
1. у вези са Компресија → притисак хладилника
2. Уколико је потребно. Кондензација → распршивање топлоте и ликефација
3. Уколико је потребно. Утврђивање EEV → генерација магле ниског притиска
4. Уколико је потребно. Изпареност → Прецизна апсорпција топлоте од опреме
5. Појам Регулација проток инвертера → Одржи ± 0. 1стабилност у °C
| ГВС010 Параметри производа | ГВС405 Параметри производа | ||
| Модел производа | GVS010-W-32F | ГВС405-В-32Ф | ГВД010-В-32Ф |
| Метода хлађења |
Уколико је потребно, може се користити и за регенерирање. |
||
| Режим управљања |
Контрола ПИД-а |
||
| Диапазон контроле температуре | -20℃~+90℃ | -40℃~+90℃ | -20°C до +90°C |
| Прецизност |
±0.1℃ |
||
| Квалитет хлађења |
-20°C@2 KW -10°C@4 KW 0°C@6 KW 20°C@10 KW 80°C@10 KW |
-40°C@4КВ |
4кВт@-10°С 10 kW @+20°C |
| Сила | 3КВ | 3КВ | |
| Танк | 20 л | 20 л | |
| Брзина протока циркулационе течности | 20Л/мин ((0,75МПа) | 20Л/мин ((0,5МПа) | 20Л/мин ((0,7МПа) |
| Трафик ПЦВ | 15 л/мин@15 ~ 25°C | 15 ЛПМ @15 25 °[email protected] 0.4Мпа | |
| Температурни опсег | 5~35℃ | ||
| Типови циркулационе течности | Мешавина етилен гликола, чиста вода, флуорисана раствора | ||
| Хладнични материјал | Р744(ЦО2) | ||
| Интерфејс циркулисајуће течности |
Рц3/4 |
||
| Интерфејс ПЦВ | Рц1/2 | Рц1-1/4 | Рц1/2 |
| Внешње димензије (мм) | 380W*900D*1250H | 500В*1160Д*1650Х |
600В*900Д*1300Х ((мм) |
| Улазни напон | 3Фх,208-220В,50ХЗ | 3Фх,208-220В,50/60ХЗ | |
| Мощност машине | 8КВ | 15,4кВт | |
| нето тежина | 200 кг | ||
| Стандарди пројектовања | Половина | Половина | СЕМИ С2、 Ф47 |
