Хладњаци за одржавање стабилне температуре у производњи полупроводника неопходни су јер прецизност приноса производа високо зависи од промена температуре током процеса производње. Више од 12 година искуства и специјализације у термичком управљању учинило је LIAT-а једним од најбољих у термичком управљању полупроводницима, који је дизајнирао и развио водеће хладњаке за стабилност температуре у индустрији. Као један од водећих произвођача полупроводника, LIAT нуди хладњаке за стабилност температуре полупроводника који су водећи у индустрији по питању стабилности температуре. Ово је одговор на питање како LIAT-ови хладњаци за стабилност температуре полупроводника могу обезбедити исти ниво прецизности и конзистентности код свих својих уређаја за стабилност температуре. У овом блогу се расправља о кључним технологијама и конструкцијама, укључујући строго тестирање и основне технологије, које су дизајниране да обезбеде прецизност и поузданост у веома тачним хладњацима за стабилност температуре полупроводника.
LIAT је развио систем хладњака за стабилност температуре полупроводника који користи сензоре и системе контроле температуре како би постигао жељени ефекат. Овај хладњак садржи напредне сензоре који могу детектовати разлике у температури у опсегу ±0,1° и могу извршити прилагођавања у реалном времену. Интегрисани PLC систем управљања може да реагује на било какве промене излаза хлађења ради исправљања свих девијација. Овај систем обезбеђује да системи хладњака за стабилност температуре полупроводника одржавају прецизну температуру у оквиру дозвољених толеранција, чак и током рада чипова на 5nm процесу и/или напредним 2,5D/3D пакованим чиповима. Посебна пажња посвећена је прецизном инжењерству, што значи да је сваки део система дизајниран да ради и функционише у складу са другим деловима ради одржавања прилагођене контроле и излаза система.
HLA-ov rashladni uređaj zavisi od efikasnosti razmene toplote delova. Sa komponentama visokog kvaliteta otpornim na koroziju i ravnomernom raspodelom toplote, ove komponente su proizvedene tako da gube minimalnu količinu energije, čime se održava visoka radna efikasnost. Dvostruki razmenjivači toplote sa kapacitetom od 8 kW omogućavaju rashladnom uređaju za stabilnost temperature poluprovodnika da brzo pređe na nove radne nivoe potrebne za kontrolu temperature tokom procesa izrade. Druge sisteme za upravljanje toplotom ne mogu održati isti nivo preciznosti u odvođenju toplote tokom proizvodnje poluprovodnika.
Hladnjaci moraju održavati tačnost stabilnosti temperature hladnjaka u dugom vremenskom periodu. Svaki hladnjak se testira, u kombinaciji, prilikom jednostavnih podešavanja i tokom opsežnog testiranja kako bi se izmerila tačnost kontrole i brzina hlađenja unutar Čistе prostorije klase. Kako bi pušten kalibrisani hladnjak sa stabilnom temperaturom, LIAT vrši kalibraciju prema međunarodnim standardima. LIAT održava tačnost hladnjaka kroz periodične kalibracije dugo nakon hlađenja.
Energetska efikasnost, stabilnost i tačnost su odličujuće karakteristike rashladnih uređaja za poluprovodnike sa stabilnom temperaturom. U LIAT-u, rashladni uređaji koriste inverter tehnologiju koja štedi energiju, smanjujući potrošnju energije bez gubitka u performansama. Potpuno metalni kućište povećava čvrstoću i otpornost na elektromagnetske smetnje, sprečavajući spoljašnje smetnje u regulaciji temperature. Precizna kontrola temperature kreće se od -100 do +200 °C, što omogućava rashladnim uređajima za poluprovodnike da obavljaju mnoge funkcije potrebne u proizvodnji poluprovodnika, uključujući trajanje i depoziciju. LIAT stavlja tačnost na prvo mesto i fokusira se na rad u stacionarnom stanju, tako da rashladni uređaj može dugo vreme raditi bez odstupanja u tačnosti.
LIAT-ovi poluprovodnički rashladni uređaji sa stabilnom temperaturom dizajnirani su za povezivanje sa pojedinačnim koracima u procesu proizvodnje poluprovodnika i za poboljšanje tačnosti tih koraka. Ovi rashladni uređaji kompatibilni su i sa naprednim fazama proizvodnje, uključujući čiplete i 3D pakovanje, čime se omogućava efikasno termalno upravljanje u naprednoj izradi poluprovodnika. Rashladni uređaji podržavaju i fluorirane tečnosti kao i sisteme za ultračistu vodu koji su tipični za poluprovodničke fabrike, osiguravajući tako kompatibilnost sa postojećom infrastrukturom fabrike. LIAT je projektovao posebne interfejse za komunikaciju i priključke za cirkulaciju tečnosti na rashladnim uređajima sa stabilnom temperaturom, kako bi se ovi uređaji mogli prilagoditi specifičnim proizvodnim linijama i dodatno poboljšati tačnost određenih koraka u procesu proizvodnje.
Profesionalna R&D podrška i globalna mreža usluga: obećanje LIAT-a da pruži tačna merenja ostvaruje se kroz profesionalne timove za istraživanje i razvoj i zaposlene u mreži usluga kompanije. Sa 40 posvećenih stručnjaka, kompanija neprestano radi na poboljšanju tačnosti svog rashladnog uređaja za održavanje temperature za poluprovodnike. Sa nacionalnim pokrivenošću usluga na sedam različitih lokacija, kompanija efikasno i brzo pruža tehničku podršku i održavanje vezano za rashladni uređaj. Učešće kompanije u sve većem broju partnerstava i izložbi u industriji pomaže joj da bude na čelu u industriji rashladnih uređaja za održavanje temperature po pitanju najbolje tačnosti.
Укратко, ЛИАТ је развио хладњак за стабилност температуре у полупроводницима који је прецизан због свог одличног дизајна. Систем сензора и контроле, компоненте које управљају преносом топлоте, прецизност калибрације система, дизајн система који омогућава ефикасну употребу енергије и интеграцију са другим системима, као и стручна подршка која се пружа. Стабилност контроле температуре и захтеви за прецизнијом контролом температуре побољшавају принос у производњи полупроводника. За произвођаче полупроводника којима је потребна стабилност контроле температуре, ЛИАТ је доказао своју прецизност и представља најбољег у индустрији високих захтева.
EN
Топла вест