Систем за загревање јакни

Технички опис:

Primene grejnih košulja :

1. Gasne linije za isporuku

Opasni procesni gasovi :
Bor trihlorid (BCl₃), Hlor trifluorid (ClF₃), Tetraetil ortosilikat (TEOS)
Dihlorosilan (DCS/SiH₂Cl₂), Volfram heksafluorid (WF₆)
Validacija procesa : Загревање гасних цеви за контролу тачке росе и спречавање кондензације

2. CVD procesi

Hemijska depozicija para iz niskog pritiska (LPCVD)
Plazma-poboljšana CVD (PECVD)
Funkcija: Stabilizacija temperature prekursorne pare (±1℃)

3. Hemijsko trljanje metala

Sistemi za plazamsko lešenje :
Hemijsko trljanje aluminijuma (Cl₂/BCl₃ hemija)
Hemijsko trljanje volframa (SF₆/WF₆ smeše)
Funkcija: Održavanje konstantne gasne reaktivnosti

Предности јакне са загревањем:

Kategorija prednosti	Tehničke karakteristike
Прецизна контрола	±0,5℃ stabilnost putem PID kontrolera (sertifikovano prema ISO 15805 standardu)
Garancija bezbednosti	Dvostruki sigurnosni mehanizmi: • KSD30 termostat • Termalni osigurač (u skladu sa IEC 60691 standardom)
Еко-изолација	Слој изолације без ПФАС-а: • Губитак топлоте <5% (ISO 8301) • Кожух од нерђајућег челика у привлачном дизајну
Pametno praćenje	Надзор струје у реалном времену: • Вредности струје по зонама → HMI/SCADA • Чување података по MODBUS-TCP протоколу

ПИД контролери температуре

Систем грејног јакна користи ПИД контролере температуре за прецизну регулацију топлоте, при чему сваки контролер ради на посебном сегменту RS485 мреже са јединственом адресом. Ови ПИД модули функционишу и као самостални контролни модули и као интегрисани чворови у оквиру дистрибуиране мрежне архитектуре. Сви контролери комуницирају би-дирекционално са централном контролном таблом HMI-а коришћењем Modbus RTU протокола преко RS485 интерфејса, како би омогућили синхронизовано управљање температуром у више зона и агрегацију података у реалном времену, без потребе за централним PLC-ом.

Hmi kontrolni panel

Инсталација загреваних јакни и ПИД контролера температуре на вакуумским или гасним цевоводима је релативно децентрализована, чиме је немогуће ефективно пратити температуру у реалном времену и радно стање свих јакни истовремено. Да би се омогућило праћење стања свих јакни у реалном времену, имплементиран је систем контроле преко HMI панела који све јакне интегрише у јединствену платформу, постижући централизовану контролу и управљање комуникацијом.

Систем централизованог праћења

Сви интерфејси – укључујући екране за праћење, приказ аларма у реалном времену, историјат аларма, записе историјата догађаја, графиконе анализе трендова и обрасце извештаја – могу се конфигурисати на главном систему (коришћењем SCADA платформи као што су InTouch или iFix) како би се постигло комплексно праћење система загреваних јакни.